真空磁控溅射镀膜设备用户手册

1、 真空磁控溅射镀膜控制系统 用 户 手 册 目 录1.系统简述41.1真空系统41.2 传送系统41.3 加热系统41.4 溅射电源41.5 冷却水41.6 工艺气路52.系统供电52.1 柜体通电前检查52.2 现场设备通电前检查52.3 电源送电顺序52.3.1 PLC控制柜52.3.2 电加热柜62.3.3 泵组柜63.PLC运行程序63.1 环境模式73.2 工作模式73.3 安全连锁93.4 系统报警104.上位机软件操作124.1 上位机画面124.1.1 介绍124.1.1.1 图例12总貌144.1.3 真空154.1.4 传动17加热194.1.6 参数设定214.1.7 溅

2、射电源234.1.8 控制模式254.1.9 分子泵使能操作274.1.10 历史报警284.1.11 框架信息29运行注意事项304.1.12.1 开机注意事项304.1.12.1 停机注意事项315. 工程维护315.1 传输设置315.1.1 传输工程文件325.2 WINGP运行336.变量地址表341.系统简述TFT系统需要实现玻璃在真空环境下自动化的连续镀膜，生产线布置为“回”字型矩形结构，生产线划分为4个区，位于生产线左右侧的上片区和下片区，位于上下片平台间的工艺区和回传区，其中呈”->”方向移动的区域为工艺区，呈”<-“方向移动的区域为回送区。TFT控制系统实现对生

3、产过程中的真空、加热、传动、电源、冷却水、工业气体在镀膜过程中的连续控制。1.1真空系统真空系统设备集中于真空室区域，由抽气设备（机械泵、罗茨泵、分子泵）检测设备（PG表，CG表）、安全阀（分子泵前蝶阀、机械泵罗茨泵间自吸阀、管道阀和破空阀）；通过机械泵 ->罗茨泵->分子泵接力抽气，将腔室内压力由大气变为真空，并在生产过程中保持适合生产的真空环境；1.2 传送系统传送系统共24台操作电机，上下片平台各4台，工艺区11台，回传区5台传动电机，除上下片平台各有2台电机可实现双向传动外，其余电机均为单向传动；其中除M3 M9 可以通过端子通断和模拟量信号协同控制电机转速外，其余电机的传

4、动速度由端子通断直接控制；1.3 加热系统加热系统共66台，在连续生产过程中，逐段加热工艺区腔室内的温度，以确保在玻璃在镀膜过程中的环境温度，加热系统进行PID运算，通过固态继电器的电压脉冲控制加热器的加热频率；1.4 溅射电源在工艺区有4个溅射室，室内配置MF中频溅射电源和DC直流溅射电源，通过电源产生的高电压电离气体分子；1.5 冷却水机械泵、分子泵、溅射电源冷却管路安装有压力检测设备，通过水流开关检测冷却水压力是否符合设备冷却的要求；1.6 工艺气路气路由供气管道，流量计和切断阀组成；2.系统供电2.1 柜体通电前检查Ø 柜间连接线校核；Ø 所有断路器，熔断器处于断开

5、状态；Ø 检查泵组柜，电加热柜一次主排、母排绝缘和是否短路；Ø 检查泵组柜，PLC柜，电加热柜，电源柜是否短路；2.2 现场设备通电前检查Ø 电缆接线的校核；Ø 接线的电源电压等级是否与设备匹配；Ø 机械泵，罗茨泵，传动电机通电前进行三相对地绝缘（电阻>0.5M欧）测试；Ø 其它现场设备是否有短路现象，例如分子泵，阀门等；Ø 控制回路的功能测试；2.3 电源送电顺序2.3.1 PLC控制柜Ø 传动控制柜PLC模块电源供电(220V)QF51->SB54（面板）->QF81;Ø PLC控制

6、柜及PLC模块触摸屏供电(220V)QF51->SB54（面板）->QF82;Ø 检修插座供电(220V)QF51->SB54（面板）->QF86;Ø 传动控制柜I/O模块供电(24V)QF51->SB54->QF71->QF74;Ø PLC控制柜I/O模块供电(24V)QF51->SB54->QF71->QF71.1;Ø 流量计供电(±15V)QF51->SB54->QF61;Ø 温度控制器供电(24V)QF51->SB54->QF64->QF

7、64.1;Ø 中频/直流控制电源(24V)QF51->SB54->QF64->QF66;Ø 阀门，机械泵气镇，油镇供电(24V)QF51->SB54->QF84->QF84.1;Ø 光电开关及真空计电源(24V)QF51->SB54->QF84->QF85;传动电机供电(380V)QF51(泵组控制柜)->QF165(泵组控制柜)->(QF52-QF311)2.3.2 电加热柜Ø 电加热供电(220V)QF51(泵组控制柜)->QF166(泵组控制柜)->(QF54QF185)

8、2.3.3 泵组柜Ø 机械泵供电(380V)QF51->QF111(进片室)QF51->QF114(工艺区)QF51->QF116(出口室)Ø 罗茨泵供电(380V)QF51->QF112(进片室)QF51->QF115(工艺区)QF51->QF118(出口室)Ø 分子泵供电(380V)QF51->(QF111-QF162)Ø 中频溅射电源供电(380V)QF411->(QF412-QF416)直流溅射电源供电(380V)QF411->(QF421-QF432)3.PLC运行程序PLC程序采用三菱GX

9、 Works2 1.31H开发。依据TFT生产工艺，软件设计有以下的工作模式；3.1 环境模式工作环境可设定为大气环境和真空环境；设计大气环境的主要目的用于检查设备的运行状况，如传动是否存在卡架的现象，门阀开关限位是否到位等；真空环境为设备正常工作所达到的必需条件；在大气模式下除分子泵外，所有设备都可以手动测试；注意：在手动模式下传动始终以低速运行，只有在自动运行时，传动才以不同的速度运转；3.2 工作模式工作模式分抽气模式，生产模式，保压模式和停止模式；只有环境模式设置为真空模式后，工作模式才可以进行选择；Ø 抽气模式抽气模式使生产线达到具备生产条件的真空度，抽气模式的运行的规程为

10、：1.所有带限位设备的开限位检查（门、管道阀、分子泵阀、破空阀）；2.确认开限位检查通过后，对以上设备进行关限位检查；3.确认关限位检查通过后,关闭1#,6#门，打开2#,3#,4#,5#室门；4.确认以上门开、关到位后，启动所有机械泵；5.确认所有机械泵启动并热泵完成后（热泵时间5分钟），打开机械泵对应的管道阀；6确认管道阀打开后，在管道真空度满足的条件下，启动罗茨泵；7.确认罗茨泵启动后，在腔室内压力小于50Pa，管道压力小于10Pa，开分子泵阀；8.待分子泵阀全部打开后，满足分子泵启动条件，启动各腔室分子泵；9.分子泵全部开启（部分开启，设备未使能系统会默认为分子泵已开启）等待约8分钟（

11、分子泵由速度0达到全速旋转）后，关闭2,3,4,5#门，程序提示抽气结束；10抽气完成前，系统设计有180秒的等待时间，如在该时间内没有将工作模式由抽气转化为生产模式，则抽气模式将自动转换为保压模式；Ø 生产模式生产模式由抽气模式完成后（提示抽气已完成）才能实现切换，生产模式执行的规程为：1.复核室门是否已关闭，复核破空阀和放气阀是否已关闭；2.待确认以上设备已完成后，复核所有机械泵是否已启动；3.确认机械泵已启动，且已经过完全热泵，复核所有管道阀是否已开启；4.确认管道阀已开启后，复核罗茨泵和分子泵阀是否已开启；5.确认罗茨泵与分子泵阀开启无误，复核所有分子泵是否已运行；6.复核分

12、子泵已运行，且达到全速运转（默认8分钟），确认无误后，系统进入正常生产阶段；按生产工艺的要求，顺序开/关各腔室门，管道阀、破空阀等，顺序启动传动电机，实现自动化生产；Ø 保压模式保压模式可以在抽气模式或者生产模式下切换，保压模式主要工作为依次序停止泵组，停止后不打开放气阀；保压模式运行的规程为：1.首先将传动设置为停止运行；系统关闭1#，6#室门，打开2#,3#,4#,5#室门；关闭破空阀；2.确认1-6#门开关已就位，确认进、出片室破空阀已关闭，停止所有分子泵运行；3.确认所有分子泵已完全停止（丛完全运行到停止约需8-10分钟），关闭分子泵阀；4.确认所有分子泵已全部停止后，关闭分

13、子泵前级阀；5.确认分子泵阀已关闭，关闭管道阀；6. 确认所有管道阀已关闭，系统停止罗茨泵；7.确认罗茨泵已停止，系统关闭机械泵；8.确认机械泵已关闭后，打开管道放气阀，自动放气30秒后，管道放气阀自动关闭；Ø 放气模式停止模式只能在保压模式下切换；停止模式运行的一般规则为：1.确认腔室内加热温度，如腔室内温度大于70度，系统将不允许由保压模式切换为停止模式；2放气模式在放气前执行与保压模式相同的操作；3.确认泵组已完全停止，分子泵阀和管道阀在关闭的条件下，打开破空阀，执行放气程序；4待真空计显示为大气状态，关闭放气阀；3.3 安全连锁系统安全连锁条件为：Ø 分子泵当分子泵

14、出现运行故障，系统停止分子泵运行，关断分子泵前级阀；当分子泵出现水流异常，系统检测到无水信号后如30S水流检测仍无信号，系统停止分子泵运行；Ø 罗茨泵罗茨泵（热继电器17A）出现电流过大，系统停止罗茨泵运行，关断分子泵前蝶阀，停止分子泵运行；Ø 机械泵机械泵（热继电器）出现电流过大，系统停止机械泵运行，然后依次关断分子泵前蝶阀，停止分子泵运行；停止罗茨泵运行；打开机械泵与罗茨泵之间的自吸阀，执行自动放气程序后30S关闭自吸阀；Ø 压力检测在生产过程中，当管道内真空度（压力）因不明原因快速上升超过安全限值（500Pa），系统关断分子泵前蝶阀，停止分子泵运行；

15、6; 溅射靶当出现冷却水中断（信号由1变为0），持续超过30S，如为计算机远程控制，计算机停止相应靶的运行；Ø 系统急停按下面板（工艺区）或者是外部的急停按钮，系统将停止传动的运行；3.4 系统报警当系统内出现设备异常，系统触发蜂鸣器，提示用户关注设备运行异常，系统内设定的报警可分为以下几类：Ø 系统报警系统报警主要提示用户CPU及PLC硬件系统本身存在故障，告知用户关注并及时解决出现的问题，这些问题包括：出现输入输出模块校验出错，请检查所有I/O模块，如发现未供电或者模块红灯闪烁，请检查供电线路或者停电更换该模块；出现电池电量不足，请更换CPU存储器电池；出现自检测出错，

16、请将CPU（RESET键）为复位状态，让后再重新上电；出现CPU运行故障，系统故障代码1001，将CPU运行开关切换至停止（STOP）状态，将CPU置为复位状态，停止3-5秒后，重新将（RESET）置位，然后重新上电；Ø 过程报警包括机械泵（热继），罗茨泵（热继），分子泵故障报警，冷却水报警，直流电源、中频电源故障报警，电机故障报警，门、阀开关过程报警； 机械泵和罗茨泵报警信号取自于交流接触器下端的热继器，出现用电设备电流（罗茨泵17A）超过热继允许范围，产生报警；分子泵报警信号取自于分子泵本身，分子泵出现旋转异常、水冷却异常，分子泵面板橙色灯常亮，产生报警；冷却水报警信号取自于管道

17、中的水流开关，信号1表示水流正常，0信号产生报警；直流电源报警信号取自于电源的启动标志，电源在本地/远程模式下已正常启动，则不产生报警，如已启动，而设备未启动则产生报警；中频电源报警信号取自于电源的报警输出，电源在运行过程中出现报警，输出报警信号；注意：如中频电源未供电，该报警信号一直存在；电机故障信号取自于变频器故障输出，变频器出现输出故障，扭矩过载，产生报警；门阀开关（分子泵阀、管道阀、破空阀，门）超时报警，以上设备均有开、关到位的信号，在指定时间（5S）内设备执行开关动作，如果没有由开->关或者由关->开,系统产生超时报警，提示用户进行处理；Ø 传动异常报警框架在行

18、进过程出现卡架、电机运转异常、框架信息丢失、光电开关未感应等情况产生此报警，该报警为紧急报警，如出现该报警提示用户尽快进行处理；报警产生的条件信号取自于框架在传动辊道上实际运行的速度（需实际测算得来）：其中从进片过渡室->出片过渡室之间的7个腔室，异常报警信号取每个感应光电的信号，如在计算时间内，电机在运转，而光电感应开关一直存在被遮挡的情况，则表示该点的传送存在问题，产生传送异常报警；除以上7个腔室外，其余的异常报警信号取自于框架信息的传送时间，在计算时间内，电机旋转，而框架信息没有传送至下一段，则系统认为传送故障，产生传送异常报警；注意：传送异常报警计算出准确的传送速度，特别是工艺区

19、的溅射速度，因此，最好经常观察并修正相应的补偿系数；电机线速度计算公式：电机转速（1420r/min）/减速比（15:1）*3.1415(圆周)*辊道直径（0.08米）=23.79米/分钟（工频速度）实际测试速度：2.46米（隔离室长度）/133秒*60（秒）=1.08（米/分钟）1.08(米/分钟)/（4.5变频器输出）*50（工频）=12米（分钟）23.79/12=1.9(补偿系数)单个报警点计算公式：1.7（架子长度）/线速度设定值*1.2（放大时间倍数）4.上位机软件操作TFT上位机采用Proface公司APL-3900系列工控机。屏幕显示分辨率为1280*1024。画面编辑采用GP-

20、Pro EX，画面运行软件为WinGP。4.1 上位机画面上位机画面由总貌、真空、传动、加热、工艺气路，溅射电源，参数设定，使能操作、报警、趋势画面和设备操作弹出窗口组成。画面布局采用顶部、中间区域、底部组成的布局模式，所有画面顶部和底部是相同的，中部区域显示各不相同，真空页面显示与真空度密切关联的泵组、压力，传动页面实现与传动相关联的传动电机、限位开关、光电开关、框架信息等；顶部区域设计为上部工具条，显示的部件有工程信息、通讯状态显示、环境模式、系统操作模式，泵组、传动运行指示、时间与用户信息和工艺画面切换按纽；底部区域设计为下部工具条，显示的部件为历史报警、管理画面的切换按纽； 4.1.1

21、 介绍4.1.1.1 图例传动电机电机背景色显示为灰色表示电机处于停止状态，背景色显示为绿色表示当前电机正在运行，背景色显示为黄色且不断闪烁表示传动电机存在运行故障，提示用户查找并处理该故障；注意：待查明原因处理后，电机不能通过弹出操作页面进行操作，需要对故障进行一次复位；门限位开关门限位开关显示开到位，背景色显示为红色表示门已经关到位状态，背景色显示为绿色表示门已经开到位，灰色表示设备没有开到位也没有关到位，正在执行开关动作，显示为黄色不断闪烁表示门在开关过程时出现超时故障（默认为5S）；注意：对于气压驱动的设备，出现开关超时故障的现象，大多数情况属于短时气压不足引起的，一般的操作步骤，将出

22、现的故障复位，系统将再次执行（或手动执行）开关动作，再次出现超时故障，则需要检查设备；光电开关背景色显示为绿色表示当前检测位置存在框架（光电开关被架子挡住），显示灰色表示当前检测位置无传送框架；机械泵背景色显示为绿色表示机械泵正在运行，灰色表示机械泵停止，显示黄色且闪烁表示泵热继电器运行过载；罗茨泵罗茨泵状态显示方式与机械泵相同；分子泵分子泵正在旋转显示背景色显示为绿色，显示为灰色表示设备已完全停止旋转，显示为蓝色表示设备停止命令已输出但设备正在停止中，完全停止约需8-10分钟，背景色显示为黄色并闪烁表示分子泵运行故障；注意：分子泵出现的故障只能在设备上进行复位，面板上橙色灯常亮表示设备存在故

23、障，橙色灯闪烁，表示存在警告，手动进行复位即可；RF中频电源背景色显示为绿色表示中频电源中处于运行状态，灰色表示中频电源处于停止状态，显示黄色且闪烁表示中频电源运行故障；DC直流电源直流电源的显示方式与中频电源相同；阀总貌画面显示了管道阀、破空阀、自吸阀和薄膜计阀，阀背景色显示为绿色表示阀门打开，背景色为灰色表示阀门关闭，显示为黄色表示阀门在开关过程中存在超时故障；框架信息显示，绿色表示当前腔室存在框架和片，灰色表示当前位置只存在框架；4.1.2总貌总貌页面显示TFT生产线的主要设备信息，显示传动，真空，溅射的设备信息，总貌页面只做显示用，其表示的设备不带操作弹出窗体，需要对设备进行操作需切换

24、至对应的操作页面；总貌页面显示设备的真空度，生产线使用了4种真空检测计：7只PSG500电阻规，使用在进片室、进片缓冲室、出片室、出片缓冲室、进片室管道、出片室管道和工艺区管道，PSG500检测量程为5*10-2Pa < P <1*105 Pa;5只PEG100电离规，使用在进片缓冲室、进片过渡室、中间过渡室、出片过渡室、出片缓冲室，PEG量程范围为1.0e-09 < P <1.00e-02 mbar；4只CDG045薄膜计，使用在MF溅射室、DC溅射室，CDG045薄膜计的量程范围为0.0 <p<1.3332 mbar;2只真空规，使用在进片室和出片室；m

25、bar换算成Pa，mbar*100=Pa;4.1.3 真空真空页面显示TFT系统中与参与真空控制的相关设备信息，包括分子泵、罗茨泵、机械泵，分子泵阀、管道阀、自吸阀、气镇阀、薄膜计阀、进出片室的破空阀，除机械泵自吸阀为自动开关外，其余的设备均可通过弹出对话框进行操作； 泵操作按钮背景色显示为绿色表示当前操作已被激活，黑色表示未被激活；如按钮，背景色显示为绿色表示用户已经向发出了供电的指令；显示为设备的操作方式，软件可进行集中的手/自动切换；这里的按钮实现设备的单体切换，例如如需要实现对单个设备的维护、调试、或者使设备不受自动运行模式的影响，在这里将其切换至手动操作即可；在手动模式下，手动启/停

26、按钮变为可为可用，在自动模式下，启/停按钮只做状态显示用，不能进行启/停操作；显示与设备相关的故障报警提示；状态显示采用背景色黄色/灰色交替显示，设备发生故障报警，提示背景色显示为黄色且不断闪烁；在操作页面内，设备供电和手/自动按钮为反转式操作，点击按钮进行操作切换；手动启泵和手动停泵按钮为脉冲式操作，点击按钮后上位机软件发送一个上升沿脉冲至PLC，启泵和停泵按钮的操作在自动模式下是无效的，只能在手动模式下进行操作； 点击最下方的关闭窗体按钮或者窗体右上方按钮可关闭窗体；罗茨泵、机械泵的操作和显示方式与分子泵操作是一致的；阀操作阀门显示与操作方式与分子泵操作是相类似的；在分子泵阀操作页面上，故

27、障复位按钮为脉冲式操作，点击按钮后，上位机发送一个上升沿脉冲至PLC，清除开阀过程的故障信号；其余管道阀、自吸阀，薄膜计阀、进出片室的破空阀的操作页面与分子泵阀的操作是一致的；4.1.4 传动传动页面显示TFT系统中传动系统包括传动电机、框架位置、门开/关、上片卸片信息，传动电机和门开/关为操作设备，其余为状态显示； 传动电机操作传动电机共24台，除生产线二端上、下片平台的传动，平移电机可实现双向旋转，其余均为单向旋转，在手动操作模式下，点击”启动按钮”,如电机启动条件满足，界面上显示 “运行”状态框；传动电机与腔室对应如下表：M01进片室M13卸片传送台 M02进片缓冲室M14卸片平移台M0

28、3进片过渡室M15卸片台2M04MF1溅射室M16回传段1M05MF2溅射室M17回传段2M06过渡室M18回传段3M07DC1溅射室M19回传段4M08DC2溅射室M20回传段5M09出片过渡室M21上片台1M10出片缓冲室M22上片平移台M11出片室M23上片传送台M12卸片台1M24上片台2页面内显示个66个光电开关信号；传动电机可实现低速、高速运转，这取决于腔室内框架所处的位置，如点击”启动”按钮后，软件检测到框架不在减速位或在停止位，允许高速运转的电机实现高速运转，框架到达/处于减速位时，电机切换为低速运行，玻璃框架到达/位于停止位，电机停止运行；变频器参数设定：变频器位置操作模式设

29、定主速度频率主速加速时间(S)主速减速时间(S)二段速频率二段速加速时间(S)二段速减速时间(S)C01C04C05C06C07C08C09进片室21520.53511进片缓冲室21520.53511进片过渡室3MF1溅射室3MF2溅射室3过渡室3DC1溅射室3DC2溅射室3出片过渡室3出片缓冲室21520.53511出片室21520.53511卸片台121520.53511卸片传送台21520.53511卸片平移台22020.54011卸片台223520.511回传段123520.511回传段223520.511回传段323520.511回传段423520.511回传段523520.511上

30、片台123520.511上片平移台22020.54011上片传送台21520.53511上片台221520.535114.1.5加热加热页面显示工艺区进片室至出片缓冲室各腔室内的温度，除工艺室MF、 DC为9组加热外，其余腔室为6组加热，共66组温度显示；加热模块对应的温度地址如下：温度1温度2温度3温度4温度5温度6温度7温度8温度9进片室1-11-21-31-41-51-6进片缓冲室1-71-82-12-22-32-4进片过渡室2-52-62-72-83-13-2MF溅射13-33-43-53-63-73-84-14-24-3MF溅射24-44-54-64-74-85-15-25-35-4

31、过渡室 5-55-65-75-86-16-2DC溅射室16-36-46-56-66-76-87-17-27-3DC溅射室27-47-57-67-77-88-18-28-38-4出片过渡室8-58-68-78-89-19-2*前面为模块号，后面为通道号为温度值显示，设备使用K型热电偶，温度范围为-200 1300，温度显示为正常时数据背景色为绿色显示，检测到采集信号出现断线错误时，数据显示为黄色且不断闪烁；为设定值的输入和显示，常用的设定范围为0600，设定前，将页面下部的允许操作使能（背景色为绿色）；在弹出的输入对话框输入设定值，这时，该设定值背景色显示为黄色，表示设定值已更改但未被写入到控制

32、模块，点击设定值旁的写入按钮，将更改值写入模块成功后，背景色恢复为灰色；注意：如出现点击2次以上背景色未能变更为正常颜色，请检查PLC与模块间的数据线连接，或者查看模块是否工作，如数据线连接良好，且模块已正常工作，请联系管理人员；系统设置有统一写入功能，输入统一的温度的设定值，点击“温度设定”按钮，按钮背景色变为绿色，系统将以每5S的频率将设定值写入到模块中，在写入的同时，系统会将刚才写入的值再读回，以确认值已写入，整个过程将持续5-6分钟；注意：在写入过程中，请不要单独点击任何的加热写入按钮，如点击可能会导致设定值写入跳过的现象；加热器参数设定：加热器参数调整分为调整模式，操作模式和参数模式

33、，其中调整模式和运行模式针对于加热器的每组通道，参数设定只用于加热器参数配置；在调整模式（PA6E）下，可以允许定制每组加热器的PID调整参数、PID执行周期、输出的限幅；在运行模式下，可以允许更改设定值、PID调整是否启用、当前输出值；在初始模式（ENPT）下，可以指定模块分度号，最大、最小温度值，串口（RS232）通讯的地址和参数；模式切换：Regulation Mode-àOperation Mode-àInitial Setting Mode按住SET键3S；Initial Setting Mode-à Operation Mode-à Regu

34、lation Mode 按住SET键；模式主要参数设定：调整模式运行模式参数设定参数名称参数说明当前设定值参数名称参数说明当前设定值参数名称参数说明当前设定值P比例0.5SP设定值C-NO站地址I积分60BP5通讯波特率9600D微分5LEN数据长度7Pd-1调整周期20SPCEY校验方式EVENOAAY输出上限20SEOP停止位1OACN输出下限0注意：实际的加热输出为20*20/100=0.4，也就是当设定和实际偏差过大，PID运算为全开时，加热的输出范围一个周期(20S)为开4s,停16s,这是为了有效地保护加热器，不至于因加温过快而导致超调，有一些意外的情况，如漏气会导致加热达不到设定

35、值的情况，可以依据实际情况调整输出的上限（最大为100，既为全开），建议以5个百分点进行调整；4.1.6 参数设定工艺气路页面显示氧气、氩气的设定和实际流量及流量阀的开关操作；显示背景色为灰色，字体显示为蓝色为设定值显示和输入，显示背景色为绿色，字体显示为白色为实际值显示;Ø 流量阀操作为流量阀的开关操作按钮，流量计阀操作为反转式操作，阀的开/关直接通过页面按钮不需要通过弹出窗口来实现；Ø 流量设定输入/更改工艺数据时，点击框内任意部位，设定值数据的显示背景色变更为蓝色，字体颜色变更为黄色，并在右侧弹出数据输入框；其中键数据光标左右移位操作,”CLR”键清除已输入的数据；”

36、BS”清除光标前数据位存在的数据；”DEL”键将当前数据光标位清零；”ENT”输入确定键，将新的设定值写入到PLC中；氧气流量的输入范围为0-50 sccm，氩气流量的输入范围为0-500 sccm；输入数据确认无误后，点击”ENT”键，确认当前输入数据；Ø 罗茨泵启动真空度设定在执行自动抽气模式下，程序将按照此设定值分别启动3组罗茨泵，这里设定的真空度分别对应进片、工艺和出片的管道压力（非腔室内压力），在管道阀打开后，管道内压力小于设定值，程序将执行启动罗茨泵的动作；Ø 分子泵启动真空度设定在执行自动抽气模式下，程序将按照此设定值分别打开20组分子泵前级阀、启动分子泵，系

37、统将分子泵分为5组，进、出片缓冲室，进、出片过渡室,溅射室，当系统检测到腔室内压力低于50Pa(0.5mbar)，管道压力低于10Pa（0.1mbar），系统执行打开分子泵阀动作，待分子泵阀打开30s后，打开分子泵；Ø 开门压差设定在生产模式下，当相邻二个腔室的压力差小于该设定值，开门条件即满足；Ø 溅射区溅射速度设定溅射区传动电机M4-M8使用溅射速度，M3，M9在进入溅射区、离开溅射区同样以该速度运行，默认值为1.2m/min,计算的方法请参看以前报警章节；4.1.7 溅射电源溅射电源页面对中频电源、直流电源进行过程数据监视和操作；页面中以方式显示的为中频、直流电源功率

38、的设定值，以方式显示的为中频、直流电源的实时值，其中：中频电源的数据范围为：功率：0-20KW电流：0-60A电压：0-2500V 直流电源的数据范围为：功率：0-10KW电流：0-40A电压：0-1500VØ 电源功率设定电源功率设定方式与工艺气路页面中的气体流量设定的输入方式是相同的；注意：单位为Kw，而非 w;Ø 中频电源操作点击后的弹出操作窗口；无论是由计算或者在电源旁就地操作，首先对电源供电，点击“设备供电”按钮，对中频电源供电；供电后（接触器吸合），如设备无故障，设备故障状态显示条不再闪烁，点击一次“故障复位”后，确认无故障和冷却水无报警，点击“启动”按钮，启动

39、后，关闭弹出窗，观察中频的反馈参数是否正常，如不正常（功率未达设定值，电压未达到工作电压），则重新打开操作弹出窗，停止电源运行，等待5S重新启动后观察；Ø 中频电源远程/就地操作切换远程（计算）操作设定：中频电源供电后，打开操作面板，先进入“REGULATION MODE”菜单，选择MF Power （PMF）项，保存后退出“REGULATION MODE”菜单，进入“REMOTE CONTROL MENU” ，选择为 A/D Interface,然后将该菜单项SetpointINT.变更为Setpoint EXT,保存后退出；如需要将远程控制变更为本地控制（旋钮），在“REMOTE

40、 CONTROL MENU”菜单项选中Int.Control，然后将SetPointEXT.变更为SetpointINT.;Ø 直流电源操作直流电源的操作与中频电源的操作类似，不同之处在于直流电源的报警信号取自于电源的启动信号；其余的操作遵循中频的操作；Ø 直流电源远程/就地操作切换直流电源供电后，将按钮由Local模式选择至User模式；注意：一旦启用远程操作，就地启动和设定变为无效，设备自带的旋钮将不能调整其功率，只能由远程设定；4.1.8 控制模式参数设定页面对生产线运行的过程进行模式选择；Ø 初始值工作模式初始默认为大气模式；默认的操作模式为无；默认的泵组

41、和传动为手动操作；默认的泵组和传动为自动停止；Ø 操作模式选择各工作模式的详细说明请参阅手册第三节；第一次选择工作模式请按照以下方式进行： 首先停止所有设备的运行，包括传动和手动运行的泵组；确保传动的框架停止在停止在安全停止位，所有框架已排架完成，没有挡住门的开关，确保所有泵组已完全停止；将“工作模式”中的模式由大气模式选择为真空模式；将“泵组操作模式”中手动操作选择为自动操作；选择“操作模式”中的抽气模式；将“泵组操作模式”中选择为泵组自动运行；至此，泵组就按照抽气模式的规程自动执行；注意：首次选择工作模式，只能选择为抽气模式；第一次执行抽气模式后，可参照以下方式进行操作模式切换；

42、将“泵组操作模式”中选择为泵组自动停止；此时，不再进行泵组的自动启/停操作（故障除外）；按一下方式进行工作模式切换； 抽气模式切换至生产模式（将传动设置为自动运行，按照要求框架顺序传动）抽气模式切换至保压模式（停止所有泵组运行，保持腔室内压力）生产模式切换为保压模式（同上）保压模式切换至抽气模式（直接启动泵组，不执行开关限位检查）保压模式切换至放气模式（卸掉腔室内压力）模式选择后，选择为泵组自动运行，系统按照模式运行规程，顺序启/停设备；注意：执行完放气程序后，系统将重新返回至初始状态；Ø 上片，卸片时间设定如将上片、卸片设为禁止操作，上、卸片将感应就地的脚踏开关动作确认是否已完成该

43、动作，完成后，将框架传送至下一位置；如将上片、卸片设为允许操作，在规定时间内，如没有检测到现场脚踏开关的执行动作，系统将默认为操作员已完成上片、卸片规程，自动将框架传送至下一位置；4.1.9 分子泵使能操作分子泵作为高转速、高精密设备，在生产线位于大气环境时，是不允许运行的（启动的气压为0.1mbar,10Pa），如果启动将对设备造成损坏，甚至会危及人员的安全；因此，通过对作为分子泵启动前级条件”设备使能”操作的管理，可以有效的防止操作人员的误操作；Ø 分子泵使能操作页面中背景色显示为绿色表示当前状态，如”取消使能”按钮显示为绿色，表示当前设备未使能，“设备使能”按钮显示为绿色，表示

44、当前设备已经使能；在对应的设备点击”设备使能”按钮，软件弹出确认对话框：点击”确定”按钮确定对分子泵操作使能并关闭确认框，点击”取消”按钮直接关闭确认框不进行分子泵使能操作； 注意：在抽气模式或者生产模式下，系统会自动检查分子泵和分子泵前级阀的状态，当分子泵阀已经使能，操作又未能开到位，系统将理解为该阀存在故障，致使继续运行的条件不满足而停止在该程序步中，同理，分子泵（未供电或确实存在故障）也会存在和分子泵阀一样的条件，因此，如不启动同组的阀和泵，不要将泵和阀设备使能。4.1.10 历史报警在历史报警页面可以显示、确认、查询当前产生和以前存在的报警信息；历史报警按”日期时间报警信息确认恢复发生

45、次数累计时间”显示一条报警信息：以背景色为黄色，字体为黑色表示产生新报警；以背景色蓝色，字体为白色表示报警信息已经得到操作人员确认；以表示报警故障已经解除并恢复正常工作状态；Ø 报警的确认在进行报警操作前，先点击报警操作启用框内”操作开始”按钮，操作开始后（按钮背景色变为绿色），历史报警部件出现一行选择条（报警操作启用后，报警第一条颜色有变化）；通过报警记录选择框内的向上移动、向下移动，将选择条移动到需要选择的记录；再点击报警记录确认框内确认当前报警/确认所有报警按钮,确认选中的报警信息（报警确认后确认列中显示确认时间）；Ø 报警信息的删除操作前，确认报警操作启动框内”操作开始”按钮被启用；将光标移至报警清除框内，选择需要在列表中清除的报警信息类型（确定、恢复、清除选中，清除所有）；Ø 报警的消音当产生新报警瞬间，系统触发蜂鸣器提示用户关注设备异常，如报警一直存在，则则蜂鸣器一直为接通状态，需要用户点击“报警消音按钮”关闭锋鸣器；4.1.11 框架信息系统通过跟踪来表示框架在腔室的传送状况，当框架离开上一腔室的最后一个传感器时，框架信息被传送至下一腔室（如在溅射区，腔室内会同时存在2片框架信息），系统需要准确的框架信息才能如实驱动传动电机的工作，因此对于框架信息的维护，对传动的运行显得尤其重要。出