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1、半导体器件原理简明教程习题答案傅兴华1.1 简述单晶、多晶、非晶体材料结构的基本特点解整块固体材料中原子或分子的排列呈现严格一致周期性的称为单晶材料;原子或分子的排列只在小范围呈现周期性而在大范围不具备周期性的是多晶材料;原子或分子没有任何周期性的是非晶体材料.1.6 什么是有效质量,根据E(k)平面上的的能带图定性判断硅金者和神化钱导带电子的迁移率 的相对大小.解 有效质量指的是对加速度的阻力.由能带图可知,Ge与Si为间接带隙半导体,Si的Eg比Ge的Rg大,所以 %e>%i.GaAs为直接带隙半导体,它的跃迁不与晶格交换能量,所以相对来说GaAs > NGe > NSi
2、.1.10 假定两种半导体除禁带宽度以外的其他性质相同,材料1的禁带宽度为1.1eV,材料2的禁带宽度为3.0eV,计算两种半导体材料的本征载流子浓度比值,哪一种半导体材料更适合制作高温环境下工作的器件?解 本征载流子浓度:ni =4.82x1015(mdnm2,dp.)exp(-Eg) m°kT;两种半导体除禁带以外的其他性质相同niexp(61)1.91.9*=exp(); ; ->0,n1A n2,在高温环境下 n2更合适ex";。)"kJkT1.11 在300K下硅中电子浓度n0 =2父103cms计算硅中空穴浓度 p0,画出半导体能带图判断该半导体
3、是 n型还是p型半导体.n0p0 =ni2T p0 =n= (15-103)=1.125 黑 1017cm二解n02父10丁 p0 > /二是p型半导体 1.16硅中受主杂质浓度为1017cm:计算在300K下的载流子浓度n。和p0,计算费米能级相 对于本征费米能级的位置,画出能带图.104解 p0=Na=10 cmn0p0=ni T=300K ni =1.5 10 cm2n3 qa n0 =-=2.2510 cm - p0 >n0:该半导体是p型半导体 p。Ei -EFP = KT ln(®) =0.0259 ln( 10 10) ni1.5 10101.27神化钱中施
4、主杂质浓度为 1016cm”,分别计算T=300K、400K的电阻率和电导率。T =300K= ni =2 106 cm,1632 ni斛 n° = N d =10 cm T = 400 K = ni =no po = ni =' p0 =n。电导率仃=qn0L +qp°Np ,电阻率pCT143 一、_ 1031.40半导体中载流子浓度 n0 =10 cm ,本征载流子浓度ni =10 cm ,非平衡空穴浓度非平衡空穴的寿命m0 = 10上s计算电子空穴的复合率计算载流子的费米能级和准费米能级.能级和准费米能级.解因为是n型半导体1n0P 19CpM R = Co
5、 Nt p = =10 cm n0EFn - Ei =kTln(n°p) Ei -Ef= kT ln( po p)nini2.2有两个pn结淇中一个结的杂质浓度 Nd =5x1015cm;NA=5M1017cmJ3,另一个结的杂质浓度ND =5M1017cm:NA =5M1019cm工,在室温全电离近似下分别求它们的接触电势差,并解释为什么杂质浓度不同接触电势差的大小也不同解 接触电势差Vd =KTln(NAN2)可知Vd与Na和Nd有关,所以杂质浓度不同接触电势 qni差也不同.2.5硅pn结ND =5M1016cm',NA=1017cm:分别画出正偏0.5V、反偏1V时的
6、能带图解 T=300K= ni =1.5 黑 1010cm"Vd_223kT - NaNd、1.38 10300,一ln( A2D)=49lnqn21.6 10495 1016 101 1017 10”(1.5 1010)2= 8.02 10'V_ _ a.9q(VD -V) =0.37 10正偏:qV =0.8父1049q(VD +VR|) =1.728 M10,9反偏:i9qVR| 1.6 102.12硅pn结的杂质浓度分别为 Nd =3M1017cm、NA=1M1015cmT,n区和p区的宽度大于少数载流子扩散长度,in =t =1ks ,结面积=1600 Nm2 ,取
7、 n p22Dn =25cm / s, Dp = 13cm /s,计算JoJ d.v=kTin qinJo= kTln3 q(2) W = kT qq Jo3Jd-kTln Jd T =400K= ni =1013cm,.2.14根据理想的pn结电流电压方程,计算反向电流等于反向饱和电流的70%时的反偏电压值。qVJd铲 Jd = Joexp(q )-1, d!k0.7 kTJo2.22硅pn结的杂质浓度,计算pn结的反向击穿电压,如果要使其反向电压提高到300V,n侧的电阻率应为多少?3解(1)反向击穿电压VB=6M10 Ndf=60V11 一 ,2由 P = ="得 Nn = 1
8、350cm /(" s)二 qnn2.24硅突变pn结NA=5M1018cm:ND =1.5父1016cm:设pn结击穿时的最大电场为NaNdNa Nd1 ;c 2解 突变结反向击穿电压 VB =-二°E02 N2 qN '103解丁 =300K= ni =1.5 10 cm=1s =10 's pJd 252 dAs=1600m =1.6 10 cml£AsqV, qDppn0 qDnnp0Jd = J0 exp( ) J0Lp Dp - pkTLpLnLn = 1 Dnn(2广 Vb =6><1013Nd4522二 300V,. N
9、d =2 103 cmEc =5父10%/cm,计算pn结的击穿电压在T=300K下,正向电流等于1mA时的外加电压;(2)要使电流从1mA增大到3mA,外加电压应增大多少?(3)维持(1)的电压不变,当温度T由300K上升到400K时,电流上升到多少2.25 在杂质浓度 ND =2x1015cm-的硅衬底上扩散硼形成pn结,硼扩散的便面浓度为NA =1018cm;结深5Nm,求此pn结5V反向电压下的势垒电容解 CT =A2qa( ;o)12(VD -V)132.26 已知硅p节结n区电阻率为1夏cm,求pn结的雪崩击穿电压,击穿时的耗尽区宽度和最 大电场强度.(硅 pn结 Ci =8.45
10、x10J36cm,错 pn 结 Ci = 6.25 x 10,4cm)113 "S解:=n = Cqn VB =6 1013Ndf,Nd =nG;。二 qn,2VbEc1Vb =EcW = W23.5 以npn硅平面晶体管为例,在放大偏压条件下从发射极欧姆接触处进入的电子流,在晶体管的发射区、发射结空间电荷区、基区、集电极势垒区和集电区的传输过程中,以什么运动 形式(扩散或漂移)为主 ?解发射区-扩散发射结空间电荷区-漂移基区-扩散集电极势垒区-漂移集电区-扩散3.6 三个npn晶体管的基区杂质浓度和基区宽度如表所示,其余材料参数和结构参数想同, 就下列特性参数判断哪一个晶体管具有最
11、大值并简述理由。(1)发射结注入效率。(2)基区输运系数。(3)穿通电压。(4)相同BC结反向偏压下的 BC结耗1一2一(由j表,2六二2-, Wb0-T _ 1 一- TA _ TB =、TC2DnBVpt2Xb Nb(Nc Nb) =2;0 Nc 一VptA= VptB "tC(4)Ctq0NDNa j Nj2(Vd -V) Nd Na Nd NbCta = Ctc- Ctb器件基区杂质浓度基区宽度ABC尽层电容。(5)共发射极电流增益。解(1)¥=1B 二 CNbDpeWbNeDnbWe3.9 硅npn晶体管的材料参数和结构如下:发射区基区集电区NE' Wp&
12、#39;Np'W eNbEM,WbNc户 pip计算晶体管的发射结注入效率?,基区输运系数0Ct,Vbe = 0.55V ,计算复合系数6 ,并由此计算晶体管的共发射极电流放大系数P。解仃二二二丁1 一 二2. "NBDPEWB,JW,6_其中 J. =g ,Js0 二汕则NeDbWe2DnB.nB 1 J Jr0 exp( qVBE )2-WbJs0 2kT)3.13已知npn非均匀基区晶体管的有关参数为Xjc = 5Nm, Xje = 3Nm ,电子扩散系数2Dn =8cm /s,品=1 %,本征基区方块电阻Rsb = 2500Q,Re =5Q,计算其电流放大系数:、:.
13、Wb2解 基区输运系数口T=12 (基区宽度WB=xjc-xje,基区少子扩散长度 LnB十.RsELnB = Dn品),发射结注入效率'=1 -(RsE& Rb发射区和基区的方块电阻) RsB发射结复合系数. =1共基极直流电流放大系数 ct =加9=0.9971D a共发射极直流电流放大系数=352.14891 -«3.34 硅晶体管的标称耗散功率为20W,总热阻为5 rC/W ,满负荷条件下允许的最高环境温a度是多少?(硅 Tjm =200 C ,错 Tjm =100rb )解最大耗散功率PCM =ma= Ta - Tjm - RtPCM满负荷条件下有RtTa
14、ETjm-RtPcm,其中 Tjm=200 C,RT=5C/W_ _ 一一 _ _ 19_33.39 晶体管穿通后的特性如何变化?某晶体管的基区杂质浓度Nb =10 cm ,集电区的杂15 工质浓度NC =5父10 cm ,基区的宽度Wb =0.3Nm,集电区宽度Wc =10Nm,求晶体管的击 穿电压.解集电极电流不再受基极电流的控制,集电极电流的大小只受发射区和集电区体电阻的限 制,外电路将出现很大的电流。Xb2 Nb(Nc Nb)穿通电压 pt 2嬴N;,冶金基区的扩展 Xb =WC -Wb4.1 简要说明JFET的工作原理解N沟道和P沟道结型场效应管的工作原理完全相同,现以N沟道结型场效
15、应管为例,分析其工作原理。N沟道结型场效应管工作时也需要外加偏置电压,即在栅-源极间加一负电压(Vgs <0),使栅-源极间的p、结反偏,栅极电流iG之0,场效应管呈现很高的输入电阻(高达108c左右)。在漏-源极间加一正电压(VDS>0),使N沟道中的多数载流子电子在电场作用下由源极向漏极作漂移运动,形成漏极电流iD。iD的大小主要受栅-源电压V3s控制,同时也受漏-源电压Vds的影响。因此,讨论场效应管的工作原理就是讨论栅-源电压vGS对漏极电流iD (或沟道电阻)的控制作用,以及漏 -源电压Vds对漏极电流iD的影响。4.3 n沟道JFET有关材料参数和结构是: Na =10
16、18cm; Nd =1015cm,沟道宽度是 Z=0.1mni沟道长度L=20%,沟道厚度是2a=4m,计算(1)栅p+n结的接触电势差; (2)夹断电压;(3)冶金沟道电导;(4) VGS =0和VDS =0时的沟道电导(考虑空间电荷区使 沟道变窄后的电导)。解(1) Vd 二 kTln NAND 化)(3) G0 : 2qNDZa/L qni(4)若为突变p今结,W =S叫2鸵0(Vd -V)(n+p结Na pi结Nd) qND4.7 绘出n型衬底MOS二极管的能带图,讨论其表面积累、耗尽、弱反型和强反型状态。 解见旁边图!4.12 简述p沟道MOSFET的工作原理。解 截止:漏源极间加正
17、电源, 栅源极间电压为零。p基区与n漂移区之间形成的 pn结J1反 偏,漏源极之间无电流流过。导电:在栅源极间加正电压 Vgs,栅极是绝缘的,所以不会有栅极电流流过。但栅极的正电压会将其下面p区中的空穴推开,而将p区中的少子-电子吸引到栅极下面的 p区表面,当VGS大于VT (开启电压或阈值电压)时,栅极下p区表面的电子浓度将超过空穴浓度,使 p型半导体反型成n型而成为反型层,该反型层形成n沟道而使pn结J1消失,漏极和源极导电。4.15 已知n沟道MOSFET的沟道长度L=10Nm,沟道宽度 W=400Nm,栅氧化层厚度tax =150nm,阈值电压Vt =3V ,衬底杂质浓度 Na =9父
18、1014cm学,求栅极电压等于 7V时的漏源饱和电流。在此条件下,VDS等于几伏时漏端沟道开始夹断?计算中取2均=600cm /(V s)。解饱和漏源电流IWknCax(V _v )2,Cax=*,%x=%,Vgs= 7VDsatGS I2LtaxVDS -Vas -VT4.16 在NA =1015cm*的p型硅111衬底上,氧化层厚度为70nm, SiO2层等效电荷面密度为3M1011cm1计算 MOSFET的阈值电压。kT-NA、qNAXdmaxVT2 ln()解阈值电压q ' n Cax- kLln()q ni ,= _k1|n(ND),耗尽区宽度最大值 q nixd max(4
19、;0fpqNA单位面积氧化层电容Caxax _ ;0t axt ax4.19 用 W / L =8,tax =80nm, / =600cm2 /(V s)的 n 沟道 MOSFET 作为可变电阻,要获得2.5kG的电阻,沟道电子浓度应为多少? Vgs-VT应为多少?对VGS有什么要求?解跨导gm =P(Vgs -Vt),其中 W =W*Cax,Cax=d = ° ,片=11.7, % = 8.85 父 10"F /cmLtaxt ax5.2 T=300K, n型硅衬底杂质浓度为 ND =1016cm”,绘出平衡态金-硅接触能带图,计算肖特基势垒高度 eB0、半导体侧的接触电
20、势差 丫3、空间电荷区厚度 Wo解 B0 = m -x(2)Vbi = m - s(3)W =% =(2 )' qND5.4分别绘出钛Ti与n型硅和p型硅理想接触的能带图。如果是整流接触,设硅衬底,分别计算肖特基势垒高度 %0、半导体侧的接触电势差Vbi。5.10 T=300K , n型硅衬底杂质浓度为 ND =5父1015cm,计算金属铝-硅肖特基接触平衡态2 一一 2的反向电流JsT、正偏电压为5V时的电流。计算中取理查森常数 A =264Acm K 。解 JsT = A*T2 exp( - :;): A*T2exp( -q_B0), BJ = JsT exp( :丁 )-15.1
21、3分别绘出GaAlAs-GsAs半导体Pn结和Np结的平衡能带图。解见旁边图!6.3假定GaAs导带电子分布在导带底之上03/2 kT范围内,价带空穴分布在价带顶之上03/2 kT范围内,计算辐射光子的波长范围和频带宽度。解 maxhc 1.24eV6.6 T=300K ,Eq 3kTg,Eg=1.42eV min1Eg考虑一个硅pn结光电二极管,外加反向偏压cV =V1 -V2 =max min6V ,稳态光产生率为Gl =10211cm,s,,pn 结参数为:ND =Na =8M1015cm:Dn =25cm2/s,Dp =10cm2/s,En0 = 5父 10,s,%。= 10,s o 计j2G 反向 +Vb)qN算其光电流密度,比较空间电荷区和扩散区对光电流密度的贡献。铲 Ln -Dn n0,Lp=,. Dp p0,Vbi =kTlnNDNA,W = 用牛q ni稳态光电流密度IL =qGL(W +Ln +Lp);=11.7,q=1.6 102 N = NA , kT =0.0259 2 q6.8利用带隙工程,钱-铝-神(GaAlxAs)和钱-神-磷(GaAs-Px)可获得的最大辐射光波长的值是多少?jhc 1.24斛 Eg =1.424 1.247x(eV), x = 1一; EgEg6.9分别计算钱-铝-神(
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