UMSG1071000W射频电源使用说明书07修正版

1、UMSG107-1000W型射频电源及匹配器使 用 说 明 书编 制：何 学 飞审 核： 批 准： 2007年10月UMSG107-1000W型射频电源及匹配器使 用 说 明 书中国电子科技集团公司第四十八研究所二OO七年十月UMSG107-1000W型射频电源使用说明书一、 概述UMSG107-1000W型射频电源包括射频源和射频匹配器。射频源采用石英晶体它激振荡电路产生13.56MHz的射频信号，功率推动级对该信号进行耦合放大推动输出级，功率输出级采用金属陶瓷四极管FU-100F，电子管板极供电采用电抗器调压，电子管与功率源输出电缆之间采用固定的L型匹配网络，确保电子管与电缆之间良好匹配。

2、电缆与负载之间的匹配由可调式L型网络匹配器来实现，匹配状态由通过式功率计指示。本电源具有频率稳定性高、可靠性好、效率高、功率大、体积小、调节方便等特点。二、 使用环境与条件1. 电源：220V/50Hz，1.5KVA2. 环境温度：5403. 相对湿度：704. 大气压强：86KPa106KPa5. 具有独立的接地点，接地电阻46. 环境净化等级：优于10000级三、 主要技术性能1. 输出功率：100W1000W逐级可调2. 频率：13560KHz3. 板极电压：300V2500V4. 板极电流：0.5A5. 板极直流消耗功率：1.3kW6. 阻抗匹配范围：(2.745)j(070)7. 具

3、有手动调节网络参数达到匹配功能8. 网络参数由调谐，调谐的刻度直读9. 具有入射功率和反射功率指示10. 具有高压通断外控四、 使用与操作1. 检查l 按装箱单检查包装箱内各构件、配件是否齐全l 打开箱盖检查各构件及连接件是否紧固l 如有疑问请与供方联系2. 安装l 安装时注意轻拿轻放。l 电源箱底部应有导轨，且应留有大于50mm的冷却风道。3. 接线l 检查“预热”开关应处于释放状态。l 按标识连接供电电源线、信号线、功率传输电缆线。外控插头：“高压”外控1，2脚接常闭触点“高压关”，3，4脚接常开触点“高压关”。l 接线图如下：l 注意：射频电缆的接头要拧紧，电缆弯曲尽量自然些。4. 操作

4、程序a) 逆时针调板压电位器旋钮到最低位置（旋钮上的刻度线在左下方45°左右），功率计开关置于2KW档位。b) 插上电源插头，按下预热开关（橙色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时板压开关（红色按钮）里面的指示灯也亮，预热510分钟。c) 按一下板压开关（绿色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时红色按钮里面的指示灯灭，缓缓调节板压，板流，功率计也会有指示，然后反复调节匹配器调谐、调谐，直到反应室起辉。继续调节调谐、调谐，使反射功率减到最小。d) 调节板压到所需功率，注意随时调节调谐、调谐，使反射功率最小。e) 工作完毕后，板压调到最低，按一下板压开关红色按钮关断板压，510分钟后，再按一下橙

5、色按钮关断灯丝。5. 联调在确认射频源正常后，即可上机带真实负载进行调试。第一次起辉时，将板压调到约为500V，如果没起辉，反射功率会很大，调节匹配器调谐、调谐使之起辉，暂不管反射功率有多大。如果不起辉，可降低真空度，真空度低些容易起辉。如还不起辉，可采取短时间加大功率的方法。比如板压加到700V，如果不起辉，马上把板压降一点，再调节调谐和调谐，再略加高板压，如此重复进行，直到起辉为此。即调匹配器 升高板压 降低板压调节匹配器要按一定规律进行，调谐可固定几点，比如200、300、500，调谐从小到大，或从大到小调节。如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题。起辉后，调节匹配器的调谐、调谐

6、使反射功率减至最小。如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度，同时跟踪调节匹配器使之匹配。6. 加功率在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应室或工作气体不干净，设计上欠合理等因素使反应室内打火，这种情况功率不能提高。五、 维护保养及注意事项1. 应建立随机档案，及时记录电源运行参数，掌握电源及负载的变化情况。做到有据可查。2. 定期清洁，检修。特别是接地电阻和绝缘电阻。3. 需要长时间待机时，应每周上电预热通风一小时以上。4. 避免在700W以上直接起动。且更换负载后应避免在300W以上直接起动。5. 电源正常工作时，板流不要超过0.5A，板压不要超过2500

7、V。6. 避免在高反射功率状态下使用。7. 切勿在通电状态下开启机箱。8. 当出现异常响动时，应立即关高压，或降低板流板压。9. 电源一定要轻拿轻放，以免损坏电子管及其他元件。10. 建议用户最好配备一台高频（100MHz）示波器，以便维护用。11. 电源在托运发货时必须用牢固的木箱包装，里面用海绵或泡沫保护。六、 常见故障分析与排除序号故障现象故障原因分析排除方法1“预热”开不上电(1) 保险管断(2) “预热”开关坏(1) 更换保险管(2) 更换开关2“高压”开而无功率输出(1) 功率调节旋钮在最低位(2) A3板插头松动接触不良(1) 调节旋钮(2) 重新插紧插头3功率最大只能加到500

8、W左右，甚至更低，继续网上调节旋钮功率、板压、板流均无变化(1) A2板损坏(2) 环形变压器损坏(3) 负载阻抗不匹配(1) 更换A2板(2) 更换环形变压器(3) 调节匹配器4板压低而板流过大(1) 预热时间不够(2) 电子管损坏(3) 电源镀银电感短路(4) 电源其它故障(1) 延长预热时间(2) 更换电子管(3) 调整镀银电感(4) 维修电源5板压高而板流过小(1) 电极与外壳短路(2) 电子管损坏(3) 电源其它故障(1) 检查负载电路(2) 更换电子管(3) 维修电源6有板流板压而无功率显示(1) 功率转接线脱落(2) 功率转接线接触不良(1) 连接功率转接线(2) 维修插头插座7有辉光而无功率显示(1) 信号线脱落(2) 偶合电路损坏(1) 连接信号线(2) 维修偶合电路说明：1、 除常见故障外的电源问题，请在专业人员指导下进行维修。切忌私自改动电路、替换元件，否则由此引起的后果将由客户自行