SF03GY02001背电极印刷操作规程

1、江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码1/11编制/日期：审核/日期：批准/日期：1 目 的 确保硅片经过背电极印刷后达到工艺标准要求。2 适用范围适用于125单多晶硅片、156单多晶硅片背电极印刷工艺。3 责 任本规程由电池事业部工艺人员制定修改，生产人员按文件要求执行。 4 设 备Baccini背电极印刷机、烘干炉。5 工 具网版、刮条（10×10mm邵氏硬度6570°）、调墨刀、无尘布（杜邦）、感光纸、卧式滚筒搅拌机、汗布手套、橡胶手套。6 穿戴要求员工操作时需要佩戴乳胶手套，其里面可以戴汗布手套也可以

2、不戴。7 原 辅 料杜邦PV147银浆、压缩空气（干燥 、6bar±10%）。8 环境参数印刷台温度：25±2印刷台湿度：50±10%若温度高于27（低于23），或湿度高于60%（低于40%），停线并通知当班工艺人员。9 开机准备9.1 清洁要求9.1.1 机器表面无浆料沾污，无碎片及其它杂物。9.1.2 导轨上无碎片及其它杂物。9.2 机器准备9.2.1 检查压缩空气是否在6bar（±10%）范围之内并且是否稳定。9.2.2 检查真空是否在600mmHg（±10%）范围之内并且是否稳定。9.2.3 检查每台机器顶部冷却风扇是否旋转。江苏林洋新

3、能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码2/119.2.4 检查丝网印刷机配电柜控制面板上“电压指示表”电压是否在380V(±10%)范围内并且是否稳定。（由设备员完成）9.2.5 贴装印刷台感光纸。9.2.5.1 贴装感光纸时应先用无尘布擦干净印刷台，确保气孔无堵塞，台面无碎片等异物，然后将感光纸的四个圆孔对准台面四个顶针展平，再用透明胶带贴住四角及靠近操作员的一边。9.2.5.2 检查感光纸表面有无碎片等并及时清理干净。9.2.5.3 仔细抚摸感光纸，有不平之处则检查感光纸下面是否有异物，用无尘布擦干净台面，重新贴上感光纸，仍

4、有不平则更换感光纸。9.2.5.4 在生产过程中每隔5分钟需用无尘布擦拭各个台面。9.2.5.5 每班上班时更换感光纸。9.2.6 安装网版9.2.6.1 根据生产不同型号的电池片，由机动人员按生产计划领用相应型号的网版，如有疑义通知工艺人员。9.2.6.2 检查网版，若新网版存在堵网或脱胶破损等质量问题需退还仓库；对于洗净再使用的旧网版，同样检查是否存在堵网（用稀释剂擦除不掉）、脱胶或破损，有则将其报废。报废网版的网框退还仓库。9.2.6.3 将网版固定在适配器上时，电极应平行于适配器上有缺口的边。9.2.6.4 安装时先拧紧对角线上的两颗螺丝，然后拧紧另外两颗螺丝。9.2.6.5 装好暂时

5、不用的网版用纸板遮挡，避免沉积杂质污染。9.2.7 安装橡胶刮条。9.2.7.1 截取一条橡胶刮条，对于生产156电池片长度等长于刮刀，生产125电池片长度短于刮刀1cm。9.2.7.2 戴乳胶手套轻抚刮胶的一条楞边，感觉无缺口且无突起的平滑边则可以作为刮边。9.2.7.3 将刮边朝外安装好刮胶，并检查其平整度。将刮边轻轻贴在机器的一个平面上，仔细观察刮边是否与平面紧密接触。若有透光的地方，须重新调整安装。9.2.7.4 准备一只备用刮刀，注意印刷银浆的刮刀不可与印刷铝浆的刮刀混用。9.3 浆料准备9.3.1 机动人员按照生产计划单从仓库领取杜邦PV147银浆。领用的浆料须贴标签，注明领用人员

6、和领用日期。9.3.2 处理浆料前应佩戴乳胶手套。9.3.3 新浆料需开瓶用调墨刀将浆料上下搅动5分钟，每分钟搅动20次。搅动方法如图一所示。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码3/11 调墨刀 浆料瓶 图一 搅浆料示意图9.3.4 搅拌完毕后，拧紧瓶盖，再把浆料瓶口用胶带封住，放在滚动机上滚动。将滚动速度调至刻度为Low，并在浆料使用记录表上记录下开始搅拌的时间和浆料编号。浆料滚动时，其环境温度在25±3。9.3.5 滚动两小时后，此浆料可用。9.3.6 开封后的浆料应注意密封，避免污染。10 开机10.1 打开压

7、缩空气及真空截止阀。10.2 打开电控柜主电源开关。10.3 释放所有紧急按钮。10.4 钥匙开关“UTILITIES”置于“ON”。10.5 钥匙开关“SAFETY COVERS EXCLUDING”置于“ON”。10.6 打开主电源开关，电源指示灯亮，控制电脑启动，BACCINI MACHINE 程序自动运行。10.7 按下“AUXILIARIES STARTING”按钮。10.8 点击印刷机“CIRCLE RESET”按钮并确定，进行循环复位，直至复位程序运行完毕。10.9 点击烘干炉“CIRCLE RESET”按钮并确定，进行循环复位，直至复位程序运行完毕。10.10 点击屏幕下方F5

8、键，升起印刷头。10.11 按屏幕下方F4键，打开网板锁。将安装好网版的适配器推入机器的网版槽中，确认到位后按F4锁定。10.12 置旋钮开关于手动状态。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码4/1110.13 安装橡胶刮刀和回料刀。10.14 关上所有安全门，置旋钮开关回自动状态。10.15 在oven菜单中选择tempretrue，在弹出菜单中Oven temperatures页设置烘干参数。在此对话框输入相应的工艺参数图二 烘干工艺参数设置烘干炉工艺参数：烘干温区温区1温区2温区3温区4烘干温度11013013015015

9、0170170190江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码5/11在此对话框输入相应的工艺参数10.16 点击工具栏上的“P”按钮，在弹出的“Print parameters”窗口中输入工艺参数。图三 印刷工艺参数设置其中丝网间距（snap-off）、刮刀高度（down-stop）和印刷压力（pressure）三项参数，员工可根据实际需要进行调整。 Pressure 刮刀 网框snap-off 丝网down-stop 硅片 印刷台 图四 印刷示意图如图四所示，丝网间距（snap-off）为印刷时丝网底部到印刷台面的距离，刮刀高度

10、（down-stop）为刮刀下压的深度，印刷压力（pressure）为刮刀印刷时下压的压力。 Printing speed：200250mm/s Flood speed：600mm/s snap-off：-900-1500µm down-stop：-900-1500µm pressure：6085N江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码6/11每班需要参照丝网印刷工序工艺参数更改表对工艺参数进行点检，填写丝网印刷工艺参数点检表中的项目。10.17 装片接触硅片时需佩戴乳胶手套，将PECVD镀完膜片子的无膜面朝

11、上装入承载盒中，注意板式PECVD生产的片子有挂钩痕迹的两边应垂直于装片轨道。每盒装片不超过300片。一般有两个以上承载盒，一盒处于吸片器位置，另一盒处于轨道上等待位置，吸片器位置的承载盒生产完成后将自动退出，而等待位置的承载盒将自动补上，此时需及时将空承载盒重新装片并放入轨道。10.18 对网眼10.18.1 点击绿色“CIRCLE START”按钮，等待前面烘干炉中的片子流入。硅片流入时，点击工具栏上的“C”按钮，将“Enable printing”前面的复选框取消，点击绿色“CIRCLE START”按钮，机器检测到硅片后自动探测网板的位置，若机器未能成功自动对好网眼，则需要按照的步骤手

12、动对网眼。10.18.2 换到手动模式51菜单ImageLive cam9查看屏幕中的白色小圆是否在中心，如果不在进行调整Move to set（100um）B（-）和F（+），先X，后Y将小圆移到中心位置（肉眼观察即可）SaveVisionDefine search9PropertiesLive Acquire（至少3次）NextTrain调整圆和正方形的位置，使得近似相切TrainNextAcquireTest得到一组参数，查看其中的Score值，确认在98%到100%之间（如果不在98%到100%之间，则重新开始）Finish。10.18.3 51菜单ImageLive cam10查看屏

13、幕中的白色小圆是否在中心，如果不在进行调整Move to set（100um）B（-）和F（+），先X，后Y将小圆移到中心位置（肉眼观察即可）SaveVisionDefine search10PropertiesLive Acquire（至少3次）NextTrain调整圆和正方形的位置，使得近似相切TrainNextAcquireTest得到一组参数，查看其中的Score值，确认在98%到100%之间（如果不在98%到100%之间，则重新开始）Finish51菜单Confirm保存。10.18.4 换到自动模式点击绿色“CIRCLE START”按钮开始对网眼（若再对不上网眼，通知设备人员）。

14、10.19 机器对好网眼后，点击红色“CIRCLE STOP”按钮停下机器，点击工具栏上的“C”按钮，将“Enable printing”前面的复选框选中。11 机器运行江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码7/1111.1 确认烘干炉温度升至设定值时添加浆料11.1.1 加浆料之前，佩戴乳胶手套，用调墨刀把浆料上下搅动1分钟，再向印刷机上添加浆料。11.1.2 添加浆料时，用调墨刀在浆料中转动，再将黏附在调墨刀上的浆料刮到回料刀上，如图四所示。新网版中应按照上述方法添加3-5次。加完浆料点击“CIRCLE START”按钮开始

15、印刷。图四 加一刮刀浆料示意11.1.3 生产过程中，网版上浆料的量应在3倍上述调墨刀浆料的量至5倍调墨刀浆料的量，如图五。当小于3倍调墨刀浆料时添加浆料。每次添加浆料的量为两次上述调墨刀上浆料的量。网版上回料刀回料时，浆料须覆盖满印刷区域（如不能覆盖印刷区域，检查浆料是否太少，或设备印刷不均匀，通知设备人员）。图五 加三倍调墨刀的浆料量示意江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码8/1111.1.4 每隔5分钟须将印刷区域外的浆料用调墨刀铲至印刷区域内。11.2 开始生产时用游标卡尺测量印刷电极与边缘的距离以及平行偏移量，参照电

16、池片外观检验标准，通过调整wafer offset栏中x，y，theta的值直至符合要求为止。11.3 碎片处理11.3.1 机器运行时，员工需在空闲时经常检查硅片是否存在隐裂，方法是戴干净的乳胶手套轻轻敲击硅片中间部位，若同一台面连续出现两片以上碎片，则应在该台面下一次运行至操作窗口时按下“stop”，并检查台面。清除掉碎渣或其它异物，没有明显异物则换掉感光纸，仍不能解决则停机请设备员检修，解决问题后点击“start”键继续生产。11.3.2 生产过程中可能会出现吸片器吸碎片的现象，应立即按下“stop”，清理完碎片后点击“start”键继续生产。若频繁出现吸碎则报设备人员检查维修。11.3

17、.3 印刷产生碎片时应立即按下“stop”停机，按F5升起印刷头，用无尘布轻轻擦掉网版底部的碎片，按下烘干炉“stop”键，清理下片机械臂上的碎片，然后按“CIRCLE START”键将碎片台运行至操作窗口再按下“stop”停机，处理台面上的碎片，并检查感光纸。处理完毕后点击“start”键继续生产。碎片粘在网版底部会导致漏印，严重漏印的片子（参照电池片外观检验标准）需挑出返工。11.3.4 上料台或下料台位置还可能会发生崩片，此时还应检查网版中是否掉落碎片，有则挑出。11.3.5 印刷前和印刷后的碎片应分开放置、称重并包装，在标签上注明班次和工序。11.4 漏浆处理 11.4.1 印刷过程当

18、出现网版漏浆的情况时，应立即按下“stop”停机。先用无尘布擦拭网版漏浆点，擦拭网版的时候尽量要小面积擦拭，若非网版破损造成漏浆，则漏浆点在擦除后会消失，此时可以继续生产。11.4.2 若为网版破损且在硅片之外发生漏浆，先将“MAN.STEP AUTO”键左旋至MAN.STEP即转为手动模式，按F5升起网版，用透明胶带将漏浆点贴上继续使用，注意粘贴胶带要平整无褶皱且不能影响印刷图形的完整性，否则需更换网版。每次取出网板时必须先取下刮刀及回料刀，以免损坏刮条及浆料污染机器。11.4.3 若漏浆发生在硅片上需更换新网版。11.4.4 参照电池片外观检验标准将漏浆的片子挑出返工。 11.5 更换网版

19、11.5.1 更换网版时先按“stop”停下机器，再按“F5”升起印刷头，按“F4”解除网版锁定。11.5.2 取下网版，放在网版定置区，在备用网版适配器装上新网版然后装入机器，江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印刷操作规程页 码9/11按“F4”锁定网版。按照前述的方法对好网眼，添加浆料继续生产。11.5.3 更换网版应填写网版更换记录表。11.5.4 将报废网版里面的可用浆料回收至正常使用的浆料瓶中，较干的浆料回收至报废浆料瓶中，然后用刀片沿网框边缘割掉丝网。11.5.5 用无尘布将网框和网版适配器擦干净，网框放在定置区，由机动人员退还仓

20、库，适配器放在相应定置区备用。11.5.6 所有沾有银浆的垃圾必须回收，在垃圾袋外面贴上“银浆” 标签，每班由机动人员还至仓库。11.6 换刮刀11.6.1 刮条在使用一段时间后会由于磨损而产生缺口，造成印刷电极上出现直线型凸痕，此时需要更换刮刀。11.6.2 按“stop”停下机器，按“F5” 升起印刷头，用一张干净的无尘布扑在印刷头下方，以防干浆料掉落。先卸下回料刀，再卸下刮刀，用无尘布将回料刀擦拭干净。11.6.3 将备用刮刀装上，再装上回料刀，取出无尘布，继续生产。11.6.4 将换下的刮刀用酒精洗净，卸下刮条，查看其它楞边是否平滑可用，按照的方法装好刮刀备用。将四条边都不可用的刮条报废。11.6.5 报废的刮条洗净放在定置区，由机动人员统一退还仓库。11.7 返工片处理方法参照丝网印刷返工片操作规程。12 应急处理12.1 突然停电机器在正常运行时突然停电，必须按下紧急按钮，切断主电源开关，清理掉台面上未印刷的硅片，恢复供电时按正常开机顺序进行。12.2 突发事故机器运行过程中骤然发生机械性卡死或其他不可预见性事故时，须立即按下急停按钮,以免造成机器或人身损害。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF03-GY-020-01版本状态A/0文件名称背电极印