设备名称、技术参数及功能要求

1、设备名称、技术参数及功能要求序号仪器名称货物需求及技术要求1无掩模激光直写机1. 技术指标： 1.1 激光光源* 1.2 工作平台可接受最大衬底尺寸为6×6* 1.3 最大直写面积为125 × 125 mm² 1.4 高精密光学装置1.5 高精密的结构摄像系统* 1.6 最小曝光能力可达1微米* 1.7 气压差式自动聚焦装置 1.8 数据转换功能,设备控制操作计算机* 1.9 直写模式：直写模式最小特征尺度（m）0.612.55光绘速度（mm2/min）153590地址网格（nm）2040100200边缘精度（3，nm）100120200400线宽均匀性（3，nm

2、）150200400800对准精度50x50 mm（3，nm）2002004008002. 设施要求：2.1 主机重量：不超过100 kg2.2 电源供应器重量：不超过11 kg2.3 环境温度要求：±1 ºC2.4 环境湿度要求：50% ±10% (non-condensing)2.5 净房等级要求：Class 1000 or better2.6 吸真空要求：0.5 bar2.7 压缩空气要求(无水无油)：6 - 10 bar, Stability±0.5 bar2.8 电力要求：230VAC / 6A 3. 配套设备要求：3.1 主机一台；3.2 高

3、精度控制空压机一台；3.3 干燥机一台；3.4 平衡台一台；2倒置荧光显微镜一、用途：可观察细胞培养，用于研究工作。二、工作条件：1. 适于在气温为摄氏-4050的环境条件下运输和贮存，在电源220V（±10%）/50Hz、气温摄氏-540和相对湿度85%的环境条件下运行。2. 配置符合中国有关标准要求的插头，或提供适当的转换插座。三、技术参数：* 1. 光学系统：无限远光学系统，齐焦距离不小于60mm。2. 照相V型光路，荧光信号强，观察U型光路显微镜镜体，操作空间大。 3. 主机扩展功能强，双层光路设计，在双层荧光光路时，主光路左、右二个图像输出口功能不受影响。 4. 主光路：大

4、孔径光学设计，图像输出口有效视野最大可实现直径25mm视野. 5. 聚焦机构：备有聚焦机构同轴粗、微调旋钮（最小微调刻度单位：1m），行程10mm，粗调再定焦机构。7、明场照明：高亮度，长寿命LED照明，内置复眼式透镜，寿命不少于10000小时。8. 载物台：平行滑动载物台，行程：114mm（X）×73mm（Y），配置通用培养器皿适配器； 9. 目镜： 10倍目镜，视野22，屈光度可调。* 10. 物镜配套：20X,40X 相差为切趾型相差，以实现不同细胞同期时，都能高清晰成像。10.1 长工作距离荧光相差物镜 4x/0.13 wd=17.1mm10.2 长工作距离平场荧光相差物镜

5、10x/0.30 wd=16.0mm10.3 长工作距离超级平场荧光ADM相差物镜 20x/0.45 wd=8.2-6.9mm，带培养器皿底部厚度校正0-2.0 mm10.4 长工作距离超级平场荧光半复消色差物镜40x/0.6 wd=3.6-2.8mm，带培养器皿底部厚度校正0-2.0 mm；* 11. 聚光镜：多功能聚光镜，N.A0.52，W.D30 mm；相差型专用透射光聚光器，带中心调节装置；具有明场、相差等功能12. 反射荧光系统12.1 荧光光源：100W长寿型金属卤化汞灯。* 12.2 激发块转盘：大孔径6孔位，最大孔径可实现直径32mm通光，光路中内置灰度滤色片，视场光阑、孔径光

6、阑可调，荧光夜视标，具有独特的消除杂散光机构，光吸收涂层可吸收99%以上的杂散光。12.3 荧光滤色块：带通型蓝色（B）、绿色（G）、紫外（U）滤色镜块;13. 彩色数码CMOS相机：同厂同品牌摄像系统 13.1 物理像素：不小于590万。13.2 1/1.8英寸芯片。 13.3 最高分辨率2560*1920。13.4 能同步显示和静态捕捉图像，同步显示23帧/秒完整图象。13.5 高性能信噪比，可捕捉良好的图像。13.6 曝光时间：130usec60 sec。* 13.7 最高采集速度：37幅/秒。13.8 0.5X C接口。14. 显微分析软件：14.1 采集图像：支持多种型号专业数码相机

7、，界面直观，操作容易，使用户更加容易的集中精力关注生物试验过程；14.2 对图像中的直线显示线上灰度强度变化，从而反映图像中的变化特性；14.3 在图像上添加注释、箭头等功能，可以方便的表示图像中的重点关注部位；14.4 调节亮度、对比度、伽玛值以及灰度显示范围，并可以单独调节RGB各通道的亮度，方便地对图像添加伪彩色、改变色彩模式以及色阶位数等功能，可以改变图像分辨率、旋转图像等各种操作，支持反转、低通、高通、锐化等滤镜，使图像关注点和各荧光通道获得最佳的显示效果；14.5 对单荧光通道图片做色彩合成，方便显示多染标本的图像；14.6 合成透射光和荧光通道图像，显示荧光在细胞上的定位图像；1

8、4.7 方便的输入硬件信息即可实现添加标尺功能，从而显示图像的放大比例关系；14.8 手动实时拼图处理，轻松获取高分辨率大视野图像；14.9 可以测量直线长度、曲线长度、矩形面积、圆面积、周长、角度等多个参数，并把测量结果输出到EXCEL，并于后期分析处理；14.10 可以从之前软件获取的图像中再次调入设备和采集参数的信息，以便重复用相同的参数进行成像；15. 台式电脑一台：i5 处理器、 4GB内存/1TB硬盘/1GB独立显卡、20英寸液晶16. 主机附件及辅助设备等组成情况：倒置显微镜、成像系统、台式电脑工作站。17. 售后服务与培训17.1 免费安装调试；17.2 安装调试经用户验收合格

9、当天起，免费保修期1年；17.3 终身维修；3大型正置式金相显微镜一、技术参数：1. 显微镜主机部分：* 1.1 采用原装进口研究级正置式材料显微镜，整体光路系统支持25mm视野观察。并采用国际标准的45mm齐焦距离，保证良好的兼容性。1.2 主机采用内置供电系统，无外置电源，保证显微镜一体性。1.3 光学系统：采用最先进的HCS平行无限远复消色差校准光路，所有光学部件和光路统一消色差设计；最大限度地消除杂散光等干扰因素,提供高衬度、高分辩率的图像质量。1.4 放大倍数：50X1000X（10倍标准目镜下） 1.5 观察方式：配置反射明场、暗场、斜射照明等三种观察方式；* 1.6 配置反射光斜

10、射照明模块：采用波轮式设计，可随时调整斜射照明的角度，实现对样品起伏表面的立体观察； 1.7 反射明场模块：配置Smith专用反射明场模块，提高观察对比度和衬度，实现最高质量明场观察。* 2. 反射光路部分： 2.1 反射光路需配置4位工业专用功能模块，可方便的切换明场、暗场等观察方式，4位工业专用功能转盘转换效率高，同时保证升级空间。 2.2 辅助光阑调节系统：配置CDA彩色编码光阑辅助系统，实现光阑大小调节直接与物镜倍率相对应，更准确的控制景深，提供最佳对比度、衬度，减少人为粗略调节带来的视域明暗差异、衬度差异。 此外，光阑系统必须采用可调中心设计，长时间使用可校准中心。3. 镜头及观察筒

11、部分：3.1 观察筒：超宽视野三目观察镜筒，视场数不低于25mm；3.2 目镜：配置10X超宽视野目镜，视场数不低于25mm，同时配10mm/100格目镜测微尺，两只目镜屈光度均可调节。* 3.3 物镜：配置高分辨率反差增强型半复消色差物镜5X、10X、20X、50X、100X五只，所有物镜孔径不低于32mm，保证最大通光亮；采用高折射低色差最顶级光学级萤石材料，提供最佳衬度和对比度。采用特殊镀膜工艺技术，不使用药剂防霉，以保证即使恶劣环境下长时间使用也不长霉。为了保证高倍观察效果，50X和100X物镜满足如下参数：50X,NA0.8，WD1.1mm；100X，NA0.75，WD4.7mm；既

12、保证高分辨率，又保证足够的工作距离，方便高倍微观观察。 4 光源及机械部分： 4.1 光源：采用研究级科勒照明LED高亮光源，功率不低于15W，保证提供足够照明。LED光源色温恒定，克服卤素灯光源有色偏和发热、闪烁的弊端，有效寿命不低于35000小时。光源要求主机直接供电，不接受外置电源。4.1 物镜转换器：5孔高精度物镜转换器，采用大孔径设计，每个物镜孔直径不低于32mm，以实现最大通光量观察。 4.2 Z轴调焦机构：采用粗、中、细三级高精度调焦机构，实现更精确调焦；并且调焦手轮高度可调，同时适合不同手型大小和不同臂长的使用者。4.3 高性能高耐磨机械载物台：XY同轴控制手柄，行程不低于15

13、0mm×150mm。 4.4 载物台的X/Y轴调节旋钮松紧度（张力）可调。载物台控制手柄可左右互换，并且手柄可上下伸缩，高低可调，方便不同操作人员使用；5. 数码采集部分：* 5.1 显微镜厂家原厂生产彩色数码摄像头，选用不低于 1000万物理像素（3648X2736）彩色高清（HD）摄像头； 5.2 独立式操作：无需连接电脑即可进行图像采集和视频录制，所有操作通过无线遥控器实现。所采集的数据高速存储在可取出的SD卡上。无线遥控器可设定所有摄像头参数，只需一个按键即可捕捉和查看图像或影像片段。5.3 快速实时图像传输：可实现每秒30帧的全高清分辨率（1920 x1080）动态实时图像

14、传输观察，最大限度减少拖尾现象；具备HDMI高清接口，可进行高清图像及视频传输；6 软件和图像输出设备：* 6.1 专业版图像分析系统，显微镜厂家原厂生产，非国内定制软件；6.2 图像采集：爆光时间，亮度，对比度，白平衡，补偿等；图像处理：锐化，增强，对比度，背景处理等；6.3 图像分析：可实时添加比例尺，可实时测量任意两点间距离，可任意添加目标标注等;全面的图像浏览器，包括注释，图像叠加，图像画廊和图像比较；6.4 为了便于使用和人机工程学的面向工作流的用户界面；对实验条件直观的设置进行快速设置和收集；优化数据处理的快速采集和大型数据集显示；6.5 易于操作模式的用户界面查看用户的具体布局，

15、组织和导出数据；项目树的数据管理保存，重命名，复制，删除，导出为TIFF，JPEG，QuickTime的AVI，MPEG-4，WMV，ASCII；* 6.6 具备二维图像测量功能，可测量强度，长度和面积测量；通过图像栈测量面积强度；显示实时图像；合并，裁剪和图像增强处理；6.7 具备图像拼接功能，实现大视野观察；6.8 电脑：商务电脑一台，市场主流配置，1T硬盘，4G内存，1G独显，22寸液晶屏幕。二、售后服务条款1. 安装：签订合同之后，制造商对仪器安装场所的安装条件、布局等予以咨询和确认。2. 调试：仪器设备到达买方现场之后，制造商根据买方指定的日期，安排技术人员按时赶到现场，进行清点、安

16、装、调试工作。3. 现场培训：制造商的工程师在现场安装、调试、验收之后，为买方使用以及维护人员进行操作、使用和日常维修等技术培训，使用户能独立操作使用。4. 备品备件服务：制造商通过设在中国的保税仓库，及时地向用户提供修理和改造用的零部件。5、 质保期：1年，从设备验收合格之日起算。质保期内制造商免费维修仪器，免费更换非人为损坏部件。制造商负责仪器终身维修。6. 售后服务：质保期内免费提供损坏零件（非人为损坏）和服务，超过保修期，卖方也需向买方提供优惠而广泛的终身售后服务；在购买仪器超过保修期后，买方仍然可享受卖方提供的技术支持、应用咨询、使用问题解答以及例检。质保期外的维修，只收取零件费用；

17、对使用者提出的问题，除了晚上、双休日和假期，4小时内响应进行电话支持。必须上门维护的48小时内到达现场。4电子束图形发生器技术指标：一、电子显微镜配件：1. 工作条件：1.1 电源：220V（±10），50Hz；单相1.2 环境：20±51.3 相对湿度：601.4 连续工作时间，连续操作。2. 技术说明：2.1 主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等其他附件，应具有配备X射线能谱仪、电子背散射衍射（EBSD）分析系统等的相应安装接口。2.2 技术参数* 2.21 分辨率：二次电子图像：0.8nm (15kV), 1.0nm (1kV)分析模式分辨率：

18、3.0nm (15kV, 5nA, WD=8mm) 2.22 背散射电子像：1.6nm (15kV) 2.23 加速电压: 0.1 - 30KV 连续可调 2.24 束流范围：1pA200nA连续可调2.25 放大倍率25X 1,000,000X ；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能2.3 真空系统2.31 真空度：电子枪室高真空 10-7Pa, 样品室真空10-4Pa2.32 泵系统：分子泵、离子泵和机械泵 2.33 气锁保护系统：防止大开门设计所带来的水汽和灰尘进入2.4 电子光学系统* 2.41 电子枪： 高稳定性浸没式肖特基（Sc

19、hottky）热场发射电子源，能自动合轴调整* 2.42 聚光镜： 2级电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜控制束斑尺寸, 20nA以下无需手动切换光阑2.43 物镜光阑：4级可调、X/Y方向精细可调对中2.44 消像散器：八级电磁系统，具有自动消像散功能2.45 扫描线圈：2级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自动旋转补偿等功能2.46 自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能2.5 样品室和样品台 2.51 样品台：5轴马达驱动全对中样品台, 示意图在监视器上显示 2.52 样

20、品台尺寸 可装直径不小于150mm的样品，并提供相应的wafer holder。 2.53 行程：X70mm, Y=50mm, Z=1.5 - 25mm,倾斜 -5° - +70°,旋转 360°2.54 样品更换：快速气锁更换样品(直径最大150mm)，时间不超过3分钟2.55 附件接口：样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）系统、红外CCD照相机、波谱仪（WDS）等不少于11件接口，且二次电子探测器、EDS 和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析的最优化设计。2.6 探测器及成像系统2.61

21、 高位和低位二次电子探测器： 二次电子像 2.62 背散射电子探测器： 纯成份像和形貌像 2.63 成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像、二次电子和背散射电子混合信号图像，且其相对含量连续可调2.64 探测器可以结合GB模式使用，从而减少电子束对样品造成的损伤，增加表面信息，抑制充电效应。2.7 扫描电镜控制系统2.71 主机：带有刻录功能， Windows® 2.72 显示器：23.8英寸 LCD2.73 电镜控制软件a) 具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能b) 具有鼠标控制放大、聚集、消像散等功能，且放大倍数同步调整d) 具有样品台自动对中功能c) 图像格

22、式：BMP，JPEG，TIFF d) 图像显示：可以全屏、分屏的形式显示和保存e) 图像测量：具有点、线、角度、直径等图像测量功能2.7 4 安全保护：具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施3. 附件及备品备件3.1 提供设备标准配置和随机标准附件，以及质量保证期内所需的必要的备品备件（包括但不限于专用维护工具、真空脂 、抛光膏、手套、无尘布、导电胶带等），列出清单，并计入投标总价。3.2 卖方应保证在10年内提供优质优价的备品备件以及优质的维修服务。3.3 设备交货时应提供以下完整的技术文件资料：a) 设备出厂检验报告、产品合格证b) 仪器设备的安装手册、操作手册、工作软件说明书、维修保养

23、手册c) 设备原理图和线路图；d) 验收标准和验收方法；4. 技术服务4.1 安装、调试卖方必须提供设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。卖方或设备制造厂必须派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装和调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案。设备安装和调试达到要求后方可进行最终验收。* 4.2 保修期：设备保修期为2年,其中电子枪保修期至少为3年4.3 要求电镜厂家在中国大陆设有三个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。二、图形发生器主体：1. 硬件指标：

24、1.1 基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz, 且6MHz都可用于像素的自由选址。1.2 含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移* 1.3 需配备6个 16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm。* 1.4 可设定写场范围不小于0.5um x 0.5um 2mm x 2mm 1.5 提供配有法拉第杯的通用样品台， 采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20 x 20 mm。* 1.6 提供用于写场精细校准的CHESSY。1.7 提供束闸及皮安表1.8 高速图像采集和标记注册（400ns视

25、频ADC）1.9 消光器控制电路TTL 5V1.11 可连接电缆到SEM或FIB和Raith PC2. 软件指标2.1 多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数。 2.2 无缝集成GDSII编辑器，可对曝光图形进行分层设计（不低于64层），具有处理复杂图形的能力。2.3 数据输入格式可以为DXF, ASCII, CIF, etc 2.4 提供多种扫描方式可供选择。提供圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充，保证图形边缘的光滑，以及低数据量的快速处理。 2.5 可手动或自动方式完成套刻工艺。2.6 提供表面编辑模块，可直接在SEM图像上编辑图形，进行精确套刻功能。2.7 模式对齐，用户辅

26、助，完全自动化2.8 带有参数和系统信息日志的作业控制功能2.9 第二套离线数据处理软件许可3. 气体辅助和/或铣削应用的表面编辑模块:3.1 CAD工具箱为3.11 电子/离子束诱导沉积(EBID/IBID)3.12 铣削用离子束的精确位置 3.1.3 CAD元素是直接编辑和叠加到SEM或FIB图像3.1 简化受控电子束和离子束诱导沉积3.2 工具箱Starter kit包含3.21 镊子，螺丝刀，艾伦钥匙3.22 用于聚焦助剂的乳胶球3.23 抗蚀剂尺寸为10 × 10毫米、硅上的PMMA为100纳米的样品3.24 带有Au标记阵列的Si芯片3.3 标准样品架通用样本保持器是一个

27、简单的解决方案，以固定小样本。将提供CHESSY作为校准标准，作为精确写入字段调整的参考。3.31 样本大小可达20 × 20毫米3.32 法拉第杯用于探头电流测量3.33 CHESSY SEM测试及校准标准3.4 皮安表* 3.41 当前读取与pA分辨率和集成时间为几秒。3.5 束闸3.51 落料板总成，以适应PCD端口3.52 集成法拉第杯钛冲裁板3.53 脉冲驱动放大器(在板上)和电源3.54 BNC连接器上的探头电流显示和探头电流输出3.55 5V (TTL)消隐脉冲输入3.56 最大脉冲频率2MHz3.57 320v最大偏转电压* 3.58 光束开/关时间约为50nsec3

28、.59 最大HT电压40keV3.5.10 紧凑的桌面控制器与状态显示3.5.11 电源电压100V (SEM电源)4. 技术服务4.1 安装、调试卖方必须提供设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。卖方或设备制造厂必须派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装和调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案。设备安装和调试达到要求后方可进行最终验收。5低阻测试系统一、低阻测试设备1：* 1. 电流:± (100fA 100mA)* 2. 电阻:10n 到 100M （需搭配低阻测试设

29、备2）3. 扫描点:65,536 (64k)4. PC 界面:GPIB、RS-232、以太网络* 5. 内部波形产生器: 1mHz-100kHz，搭配每秒 10M 取样点输出更新率6. 1014 输出阻抗，确保稳定电流输出进入具有广泛输出阻抗的负载。7. 65000 点输出内存，允许从电流输出直接执行全方位测试电流扫描。8. 10mV 步进中从 0.1V 到 105V 的输出电压兼容性，防止怀疑电压过载的装置可能损坏。9. 从 4pA 峰值到 210mA 峰值的输出交流电流，支持对组件和材料的交流进行特性分析。10. 10MHz 输出更新率，产生最高达 100kHz 的平滑正弦波。11. 内建

30、标准和任意波形产生器，搭配 1mHz 到 100kHz 频率范围，支持做为复杂的可程序设计负载或传感器讯号，以及支持噪声仿真。12. 短至 5s 的可程序设计脉波宽度，在脆弱低功率组件中限制功率损耗，以及在与其他奈伏电压表搭配使用时，支持低至 50s 的脉冲 I-V 量测。13. 可重新配置的三轴输出，简化比对应用的防护需求作业。二、低阻测试设备2：1. 电压: 1nV - 100V2. 操作温度: -200°C - 1820°C* 3. 电阻: 10n 到 200M 4. 通道数: 25. 缓冲区大小: 1,024 rdgs6. 1nV 灵敏度提供精确的超低电压量测。7.

31、 通常，在 1 秒响应时间中只有 15nVp-p 噪声，而在 60 毫秒中有 4050nV p-p 噪声，确保在广泛实用的响应时间里都是低噪声位准。8. 双信道，支持量测电压、温度或未知电阻与参考电阻的比率。9. 量测周期会同步至电源线交流周期，由于开始于线路周期的不同相位的读数而将变化降至最低。结果对线路干扰有非常高的耐受性，因此略需或无需屏蔽和滤波功能。内建热电耦线性化和冷接点补偿，简化进行准确的温度量测作业。10. 内部极性反向量测技术，消除热错误输出。11. 最适合与其他电流输出搭配使用，允许在进行差动电导、脉冲和电阻量测时，这两种仪器有如单一仪器般操作。* 12. 与其他电流输出结合

32、时，采用差值模式电流反向量测技术，可进行低至10n 的电阻量测。13. 与其他电流输出结合可同步化讯号脉波和量测，可将灵敏感应温度 DUT 的功率消耗量降至最低。6数字源表技术参数：1. 最大电流源/量程: 10A2. 最大电压源/量程: 200V * 3. V/I范围: 0.1 fA 至 10 A，100 nV 至 200 V* 4. 测量分辨率（电流/电压）: 1fA/100nV5. 电源: 200W* 6. 通道: 27. 最小 V/I 脉波来源: <100 µs, 0.1% 安定值* 8. 最高速度: 每秒 20k 个读数至缓冲区9. 每个 40 W 通道均可提供 6

33、位半的精确解析输出和量测功能7双电子束蒸发镀膜系统一、技术要求用途：本装置是一种用于蒸发例如：金，银，铜，铝，钛，镍等金属物质的高真空蒸发镀膜系统，采用双电子束蒸发系统，可满足同时蒸发两种金属的需求，在控制面板上集成操作系统，控制装置的自动抽排气与沉积过程，用于研究开发与小型量产。* 1. 系统组成：1）工艺腔体、加热系统、双电子束蒸发源系统、真空系统、控制系统及水冷系统，压缩空气，电力系统。2）电力工作条件：电源满足三相交流380伏特，频率均为50赫兹。如不满足要求，需提供变压器。2. 镀膜工艺腔体：1）配有三个或以上观察窗口，工艺过程中可同时分别观察两个电子束蒸发源蒸发过程状态，并提供至少

34、一套观察窗作为备件。2）配有自动充气阀，可连接高纯氮气。3）腔室内壁、顶部，门内壁，腔室底部采用可更换挡板覆盖，并提供一套备用，该挡板需采用喷砂工艺，悬挂设计，方便取装。4）工艺腔室门设有连锁安全装置，门处于开启状态下，电子束及加热等无法进行工作，确保操作人员安全。* 3. 抽真空系统：1）初级真空泵采用干式回转机械泵，采用制造商自主设计品牌。 a. 抽速2000L/minb. 泵体采用耐震金属组件固定。2）主泵采用冷泵，泵体及压缩机采用采用制造商自主设计品牌a. 此冷泵底部采用滚轮设计，方便保养时移动。b. 抽速：5000L/sec（氮气）。 c. 配置有氮气进出口阀门。3）工艺腔室极限真空

35、3.0´10-5Pa；4）排气速度：20分钟内从1个大气压到达3.0´10-4Pa（腔室内使用氮气充气，保持腔室门关闭三分钟后开始计算）；5）压力上升：5.0´10-6Pa·m³/秒；4. 真空测量系统1）主腔室配有真空计，实时测量主腔室的真空度。 2）主泵与主阀之间配有真空计。* 5. 双电子束蒸发源系统1）工艺腔室内配置两个电子束蒸发枪，两个独立的蒸发源挡板。2）配置电子束光斑手动调节器,可调节电子束光斑前后左右点位，电子束扫描范围可调。3）电子束蒸发源电源配有过载保护。4）每个电子束蒸发源坩埚的数目4个，每个坩埚的容量40ml，坩埚冷却方

36、式采用水冷式。并提供至少两组此坩埚作为备件。5）两个电子束枪可以同时和交替操作。同时使用两个电子束枪，电源的最大输出功率为10千瓦。6）每个蒸发源易损件及消耗品的需要提供至少一套备件。6、镀锅系统1）提供适用6英寸基板的公转镀锅两套，保证清洗镀锅时候可随时更换新的镀锅。2）镀锅可以连续旋转，旋转速率：5-12转/分钟，旋转速度可控。* 7. 腔体内基板加热系统1）配置有基板加热系统，使工艺腔室温度可达到120以上，温度偏差±10以内，最高加热温度可达350。加热装置采用灯管加热，加热功率6KW。提供加热灯管及灯罩玻璃至少一套作为备品。2）采用热电偶进行实时腔体温度监测与控制，并配有过

37、热连锁，热电偶易损件需提供至少两个作为备件。8. 膜厚控制系统1）配置有膜厚监测系统，采用双晶振头系统，当其中一颗晶振片达到使用寿命时系统自动切换到另一颗，工艺过程不中断；2）采用5MHz制造商自主品牌晶振片。3）镀膜过程中需要实时监控，包括镀膜速率、时间，功率、温度，气压条件等,4）采用设备制造商自主品牌的膜厚监测系统。* 9. 工艺指标薄膜厚度片内、片间均匀性及重复性优于±5%（采用金属Al和Cu进行验证）。测量采用如下方法：1）片内薄膜厚度均匀性测量方式：取距离基板边缘4个5毫米的点和基板的一个中心点进行测量。如果某个测量点位于定向平面，则从距离定向平面测量5毫米。2）片间薄膜

38、厚度测量：取每个基板的一个中心点，共取3片同一工艺过程的基板进行测量。10. 软件控制系统1）采用制造商自行设计的操作系统，通过PLC+PC控制。2）配置有触摸屏显示面板，并实时显示设备各个部位的运行状况。3）设备通过触控面板进行自动排气，自动沉积，工艺菜单编辑，数据记录导出，报警历史记录查询等操作。4）设备配置有UPS电源，可在电脑电源切断时提供暂时的电力供应，防止数据丢失。11. 设备安全：1）设备主体框架采用可拆卸保护板保护，并在外侧贴有醒目的安全提醒标识，主要独立保护板配置有安全传感器，当设备工作过程中取下主要防护板时机器停止镀膜。2）设备主体前部设置有红绿黄三色报警灯。3）设备整体采

39、用金属脚板固定。二、其他要求（如有）1. 生产厂家在中国大陆有售后服务部门及售后工程师20人以上和备件库，能够48小时内响应售后服务问题和提供售后所需要的备品备件。2. 制造商同型号双电子束蒸发设备在公司、研究所或大学有至少三份销售合同；销售业绩提供采购单位清单并公司盖章，销售合同复印件至少三份。8超低温冰箱技术参数：1. 内部容积：不小于 368L，2英寸冻存盒容量不少于 240 个* 2. 压缩机：2台1.25 HP国际知名品牌工业级高效压缩机，杜邦制冷剂，无CFC，无HCFC，阻燃；冻存架：8个。3. 工作温度：-50-864. 工作电压：208-240V宽工作电压范围，带时间延迟断路器

40、* 5. Boost/Buck电压及电流补偿器，当电压异常和电流异常时，保证冰箱的正常运行 6. 标配两台冷凝风扇智能开停，高效节能 7. 箱体结构：重型冷轧钢箱体结构，粉末涂层外壁，盐喷测试超过1000小时；镀锌钢内壁，可选配不锈钢内壁，便于清洗耐腐蚀；3块可调节高度的不锈钢搁板； 8. 工业级门铰链不易变形，确保良好的密封性， 9. 标配四扇内门，减少冷气丢失* 10. 具有良好的保温性能，断电时，空载的情况下从 -80 升温到 -50 的时间不低于 216 分钟* 11. 压缩机高效强劲，空载情况下，内外门全开一分钟后关闭，冰箱回温到 -75 的时间不超过 33 分钟12. 127mm厚

41、原位成型无氟聚亚胺酯绝热层，门厚114mm，减少热量传递，防止冷凝物形成* 13. 一级和二级压缩机智能启停，每运行12分钟，停止14分钟，安静节能 14. 三点四层式门密封条，提供极佳的保温性能15. 控制面板高度齐眼线，所有信息一目了然 16. 符合人体工程学的单手操作门把手，可锁定并可同时增加一挂锁，提高安全性 17. 标配1” (25mm) 预留外接端口，可连接外部探头或仪器 18. 标配4-20mA， RS-485 以及 dry contacts数据输出端口 19. 超大冷凝器，面积为305X457mm， 确保最佳降温效果 20. 标配冷凝器过滤网，易拆卸，可水洗，保护冷凝器免沾灰尘

42、，提高制冷性能 21. 外门配有专利的带加热功能的自动减压阀，可在关门后迅速平衡冰箱门内外压差，方便高度密封的外门30-60秒内再次单手轻松开启。 22. 全电脑控制和信息显示中心可进行多种状态和参数显示，提供九种报警提示：过温，温度不足，门过久开启，断电，温度探头损坏，电源错误，后备电池需充电，压缩机故障，制冷电路损坏23. 重型脚轮，方便移动和固定冰箱24. 冰箱底部装有消声器和吸音泡沫，能大大减少噪音，运行安静25. 后备电池在断电情况下为监控报警系统供电长达72小时 26. 整机零部件1年保修，压缩机4年延保； 27. 符合CE 认证28. 质量保证期：产品质保期应为一年，由供应商或生

43、产商负责免费安装调试。29. 配置：主机一台9二氧化碳培养箱技术参数：1. 工作体积：165升2. 加热方式：直热式3. 显示：触摸屏显示温度和二氧化碳浓度4. 温度控制范围：高于室温3555. 温度控制精度 （时间）：±0.16. 温度均一性：< ±0.3，7. 温度跟踪报警：有，±18. 双温度探头，PID控制，保证温度不会过冲9. 开门后30s，温度恢复至37度时间小于5分钟10. 二氧化碳控制范围：120%11. 二氧化碳控制精度：±0.1%* 12. 二氧化碳跟踪报警：有，±1%，系统带一键自动校准功能 13. 二氧化碳浓度控制

44、：红外探头IR180Si，采用硅基MEMS发射器替代传统白炽灯光源* 14. 开门30s后，二氧化碳浓度恢复时间小于5分钟 15. 湿度恢复速度小于10分钟（开门30s后）* 16. 无水盘设计，内置3L下沉式水库，自带液位探头，可持续监控水位，在控制面板显示；* 17. 180度干热灭菌程序，可保证全部配件在位灭菌，灭菌测试点35个包括玻璃内门都能达到180摄氏度，灭菌同时包括TC180探头，氧气监控探头， 180度干热灭菌效果：6-log降* 18. 标配HEPA过滤器，开门30s后关闭，仅5分钟能够使培养箱体内环境达到ISO-5，HEPA去除颗粒物效果：4-log （5分钟内）； 19.

45、 配置中文菜单触摸屏，具有程序自检功能和自动校正功能，存储15天运行数据，并可下载历史数据；20. 配置：主机一台、HEPA过滤器一套、隔板3块、钢瓶及减压阀1套；21. 质量保证期：产品质保期应为一年，由供应商或生产商负责免费安装调试。10高压灭菌器技术参数：1. 用途：用于各大实验室，分子生物学等实验室，培养皿，培养基，消耗品等的消毒，灭菌，以及特殊样品的高压消解。2. 工作条件2.1 环境温度 5 - 40°C 室温2.2 度最高可达 80%2.3 20V(+10%或-10%)，50Hz(+1或-1)电源条件下；3. 主要技术指标* 3.1 腔体容量：有效腔体容积: 50 L

46、内部容积: 58 L 3.2 开盖方式: 脚踏开关，上掀盖.* 3.3 标配带有2级可调风扇制冷（容器冷却风扇）缩短一半冷却时间3.4 灭菌：105 - 135(0.019 - 0.212MPa)3.5 加热：45 104 摄氏度 (0 to 0.015Mpa)3.6 保温：45 95 摄氏度3.7 最大操作压力：0.263MPa3.8 温度显示方法：数字式3.9 压力显示：压力表* 3.10 加热功率：2.0 kW 3.11 安全装置：液位传感器, 漏电保护,盖子互锁,过热保护,在超压保护, 温度传感器监测, 安全阀3.12 时间显示范围：灭菌、加热1 99 小时, 1 999 分钟 (可设

47、置: 0:01 to 9:59/10 到 99)保温：可设置 1 99小时/固定到 4 小时* 3.13 温度数据，压力数据输出，监控系统。外部数据采集器连接后，温度可被记录。温度传感器和记录仪独立于灭菌器。腔内温度有可追溯性。3.14 明亮指示灯设置在操作面板的上部。根据压力状态（正常压力/实际工作压力）.指示灯光颜色变化3.15 多种灭菌模式：温度设定多样化，温度设定范围可以从45到135分级设定或者设定一个温度.包括培养基保温模式，液体灭菌模式，正常灭菌，灭菌保温，加热保等* 3.16 主体尺寸：410W × 477D × 970H（mm）3.17 自重：不超过60k

48、g 3.18 带投标品牌生产企业的中华人民共和国特种设备制造许可证（压力容器） 3.19 选配特有的生物安全灭菌盒 等多种灭菌桶以及灭菌管篮 3.20 任何故障均可显示故障代码4. 基本配置：主机一台，附件：2个不锈钢篮子(直径300 × 182 mm)，1个腔体底盘，4个脚轮制动器，1本操作说明书，1个文件夹（为存放操作手册），1个螺钉（为装订文件夹用），1张保修卡，1张客户卡，1张检查单5. 质量保证期：产品质保期应为一年，由供应商或生产商负责免费安装调试。11液氮存储罐性能指标及要求：* 1. 箱体结构：双层铝制真空设计结合高级真空绝热材料，最小化液氮蒸发速率，无需补充液氮最长

49、可安全储存样品7个月* 2. 液氮容量：73L3. 液氮罐瓶颈: 15.2cm* 4. 极低的静态蒸发率：121天* 5. 标配8个吊桶，可容纳冻存条42个6. 罐体直径及高度（直径×高/cm）: 55.9×69.37. 空罐重量及满罐重量（Kg）：23.6/87.38. 持久耐用的结构确保多年使用无故障* 9. 安全锁扣设计,保证样品安全12小型垂直电泳槽一、垂直电泳槽参数：1. 用途：用于蛋白质聚丙烯酰胺凝胶垂直电泳实验，可适应变性凝胶电泳和天然凝胶电泳。* 2. 同一槽内可同时进行4块SDS-PAGE凝胶的电泳实验3. 胶面积：8.3 x 7.3 cm；短玻璃板：10

50、.1 x 7.3 cm；长玻璃板：10.1 x 8.2 cm* 4. 玻璃板：封边垫条永久性地固定在长玻板上，保证玻板精确对齐，防止漏胶* 5. 灌胶系统：平行排列的设计能同时看到正在灌制的两块凝胶，弹簧杠杆设计使得软橡胶衬垫产生良好的密封性6. 上样引导装置：防止泳道的遗漏上样或重复上样7. 电泳梳：特殊的塑料电泳梳不会抑制凝胶聚合反应，制胶过程中，内置的脊可避免在灌胶过程时的空气接触，保证均一的凝胶聚合* 8. 模块化：可换置转印（western blot）等模块；9. 标准配置：电泳槽，1.0mm；玻璃板一套，灌胶系统，上样引导装置，1.0mm;电泳梳一套二、小型湿转槽参数：1. 提供微

51、型胶的快速、高质量的印迹转移。可在1小时内转移2块7.510cm的胶。带有冷却装置，可吸收转移过程产生的热量。2. 性能指标：3. 参数设置灵活。可以200V电压转移，仅需1个小时，也可以30V过夜转移。4. 在低压下也能获得高效、稳定的转移。5. 具有超冷却芯和水循环装置，可用于酶(4)或高强度转移，即使进行24小时的转移也不存在缓冲液消耗的问题。6. 阴极用涂有铂的钛作成，阳极采用不锈钢，能比其它电极产生更高强度的电场。7. 整体大小：161218 cm；最大胶尺寸：7.510 cm；缓冲液体积：450 ml；胶容量：2块小胶8. 标准配置：转印槽，转印夹，海绵垫，冷却芯三、基础电泳仪参数

52、：* 1. 输出范围：电压10-300 V；电流4-400 mA；功率75 W (最大)2. 输出类型：恒压、恒流、恒功率，可定时1-999分钟3. 有暂停/继续功能4. 有断电后自动恢复功能5. 输出插孔4对并联，可同时对四个同类型的电泳槽进行电泳6. 安全标准：通过EN-61010, CE标准四、质量保证期：产品质保期应为一年，由供应商或生产商负责免费安装调试。13中型水平电泳槽一、水平电泳槽1. 工作环境 1.1 最大工作电压 200VDC1.2 最大缓冲液温度 401.3 工作环境湿度 095%2. 设备用途：用于水平电泳，分离核酸样本* 3. 凝胶托盘：紫外透明,带有荧光标尺,便于紫

53、外灯下观察及条带定位* 4. 可兼容的胶盘尺寸：15×15cm5. 配套梳子：15孔和20孔的梳子6. 样品通量：1-120（每块凝胶1-4个电泳梳的通量值）7. 基座缓冲液容量：1L8. 溴酚蓝迁移率：3.0cm/hr(at 75V)* 9. 系统兼容两种制胶方式二、基础电泳仪：1. 用途：提供电泳实验的稳定电压、电流、功率及时间控制。2. 输出范围：电压10-300 V；电流4-400 mA；功率75 W (最大)3. 输出类型：恒压、恒流、恒功率，可定时1-999分钟4. 有暂停/继续功能5. 有断电后自动恢复功能* 6. 输出插孔4对并联，可同时对四个同类型的电泳槽进行电泳* 7. 安全标准：通过EN-61010, CE标准三、质量保证期：产品质保期应为一年，由供应商或生产商负责免费安装调试。14半自动键合机一、工作条件a) 工作温度：+5+32。b) 工作相对湿度：20-80%。c) 电源：