微机械惯性测量组合

1、微机械惯性测量组合微机械惯性测量组合国内外微机械惯性传感器的发展概况国内外微机械惯性传感器的发展概况 大规模集成电路加工技术可用于微机械系统的加工 对硅基片、石英晶片或铌酸锂片进行微级加工可实现微细精密机械结构。 常用半导体材料硅本征电阻率高；在高温蒸汽中表面易氧化，形成具有化学惰性和电绝缘性的SiO2硅提纯方便，价格便宜；已可加工微型阀门、弹簧、喷嘴等还可生产力传感器、压力传感器，惯性传感器惯性传感器和马达等复杂元件 微机械惯性测量组合国际微机械传感器的研制情况微机械陀螺：静电、电磁、压电激励，电容、压阻检测微机械加速度计：应变式、电容式、谐振梁式Draper实验室研制微型振动陀螺与微型硅加

2、速度计组成的微型IMU。BEI公司的微型数字石英陀螺微型数字石英陀螺已被Honeywell司用于AV一SB“鹞”式飞机飞控系统。微机械惯性测量组合微机械惯性传感器及系统精度相对较低，但成本低、体积小，抗冲击性强众多应用领域军事应用中在汽车领域在医学界微机电系统是未来制造业的一种基本方法。 微机械惯性测量组合在航空航天领域中的应用1. 减轻导线、敏感元件和驱动部件的重量。2. 微型加速度计和微型陀螺仪，可组成惯性测量或制导系统 微陀螺仪应用中的问题：陀螺漂移产生虚假输出与GPS等其它导航系统组合，形成重量轻、体积小、成本低、可靠性高的导航与定位系统。微机械惯性测量组合 微机电系统的主要优点 尺寸

3、很小，重量轻，与大部件相比，具有更好的刚性、更高的谐振频率和带宽及其它较优越的性能，也更容易固定。 可重复性好。 将微电子线路和机械系统紧密地联系在一起形成完整的单一系统。 国内的研究状况 微机电系统的发展刚开始，发展为惯性器件作为重点。 从1995开始，清华大学研制出微型陀螺仪和微型加速度计的原理样机。 北航在压力微传感器的研制方面开展了大量工作。 其它高校和科研单位单位开展了这方面的研究工作。微机械惯性测量组合微机械加速度计性能和工作原理 工作机理：应变式、电容式和谐振梁式 工作方式：开环、闭环 应变式加速度计 开环工作方式 美斯坦福大学的产品通过压阻效应来敏感摆片在受到加速度时其支承弯曲

4、应变的原理来测量加速度。图1 加速度计的顶视图（a）和中心剖面图（b）微机械惯性测量组合 电容式加速度计 闭环工作方式 结构形式：扭摆式、悬臂式 工作原理：带有惯性质量的摆片因受到加速度发生位置偏转，摆片所带的电容极板的位移使电容值发生变化，采用交流电桥测量出电容量变化，经再平衡电路反馈电压给静电力矩器以产生静电力，使摆片保持在零位附近。 图 2 扭摆式电容式电容式硅加速度计硅加速度计原理图微机械惯性测量组合谐振梁式加速度计通过测量联接惯性质量和壳体基座谐振梁的频率变化来测量加速度的。优点：低成本、高可靠性和高温度稳定性。微机械加速度计的试制情况采用体加工方法，研制成功g级的高精度微机械加速度

5、计。玻璃硅玻璃或硅硅硅“三明治。微机械惯性测量组合微机械陀螺仪性能和工作原理 80年代后期才发展起来的一种新型陀螺 工作原理： 敏感元件（质量块或质量片）在激励模态下振动，沿垂直于振动方向的对称轴施加输入角速度，在哥氏力的作用下，质量块将在三维空间的另一方向上以敏感模态同频率振动，幅度与输入角速度大小成正比。 由于激励与检测方法不同，所以出现了不同的结构。 微机械惯性测量组合 振动方式：角振动式、线振动式 框架式角振动陀螺：Draper实验室于1988年研制没有高速旋转的陀螺转子，而是绕挠性枢轴高频率振动的部件 漂移不定性为5000h，适用于短时间导航。 音叉式线振动陀螺仪：1993.5 Dr

6、aper实验室研制成功。采用单晶硅梳状结构产生静电力驱动音叉双层结构 静电激励、电容检测方式静电激励、电容检测方式微机械惯性测量组合音叉式线振动陀螺：1994，日本东北大学研制电磁激励，省去难加工的梳齿结构玻璃硅玻璃三层结构 ，图中为硅层结构长和宽均约20mm，硅层厚度200m，两层玻璃厚度均为 250m。 图12电磁激励的线振动陀螺原理结构 电磁激励、电容检测方式微机械惯性测量组合谐振棒式线振动陀螺线性度好，结构简单，易于批量生产。 由于陀螺本身的结构设计对加速度很 敏感，所以精度并不比其它陀螺高图13 谐振棒式线振动陀螺仪原理结构 压电激励，电容检测方式微机械惯性测量组合电磁激励，压阻检测

7、方式其它工作方式的微机械陀螺 采用音叉式机械结构，动栅式场效应管高灵敏度检测电路和幅值、频率及相位控制技术。 将陀螺的机械尺寸放大微机械惯性测量组合微机械陀螺总结 提高微机械陀螺的性能在结构工艺，驱动技术和信号检测等方面进行改进进行误差补偿 通过对微机械陀螺的误差进行建模，来实现误差补偿 。 精确建模和误差补偿将使微机械陀螺的性能进一步提高。 微机械惯性测量组合微惯性测量组合（MIMU） 1994，Draper实验室研制MIMU 构成：三只微机械陀螺仪和三只微机械加速度计，在立方体的三个正交平面上。 MIMU最终尺寸为，重约5g。 电子线路的所有功能模块集成在一块硅片上。 较成熟实用的系统方案

8、：每一个惯性仪表都配备自己的专用集成电路并产生相应的输出，然后送给微处理器进行数据处理，产生导航信息。 微机械惯性测量组合 Draper研制的三轴加速度计，混合包装面积为，带前置放大器，用于制导炮弹 。图14 三轴100g加速度计微机械惯性测量组合微机械惯性装置的关键技术结构工艺面加工工艺体加工工艺LIGA加工工艺信号检测技术驱动器控制技术微机械惯性测量组合面加工工艺 工艺过程相对比较简单。 它是在基片上淀积或生长多晶硅层来制造微机械结构。 仪表的分辨率和灵敏度都有限。 面加工加速度计的性能极限：分辨率极限只有分辨率极限只有1 mg。 微机械惯性测量组合体加工工艺 基础：单晶硅刻蚀技术。 结构

9、：玻璃硅玻璃或硅硅硅多层“三明治结构。 体加工工艺过程比面加工要复杂，体积大，成本高。 机械性能好；可活动结构部分的尺寸增加了，仪表的分辨率和灵敏度高 目前，LITTON，LITEF、HITACHI以及Neuchatel的加速度计都采用体加工工艺，获得了获得了g的测量精度的测量精度。微机械惯性测量组合LIGA加工工艺即：X光同步辐射光孤电成型及微压塑工艺。由德国首先开发出耒，可用激光代替X光。结合牺牲层技术，可制造大高宽比的可活动微结构，结构材料可是金属。传感器灵敏度高。但LIGA工艺需要同步辐射光源，成本昂贵。 微机械惯性测量组合信号检测技术 必须有检测位移的信号器，被测位移范围为 0.11

10、m。 信号器的重要性能参数 当前使用的信号器 压阻式传感器 输出阻抗低，但灵敏度也低，输出电平只有l050mv，而且灵敏度的温度漂移比较大，为200ppm/0c。 电容式传感器敏度高，热漂移小，温度稳定性好。但变换电路复杂，易受电磁干扰。 隧道电流传感器分辨率和灵敏度都很高 。但隧道电极易受污染，隧道电流会随时间变化。 动栅式场效应管灵敏度比电容传感器高一些。但是，噪声强度增加，且温度稳定性有所降低。 微机械惯性测量组合驱动器控制技术 驱动器工作方式： 电磁驱动器：由导体中的交流电流与直流磁场相互作用产生的电磁力驱动。导体在磁场中振动将切割磁力线，产生阻尼力。因此，其品质因数比较低，检测轴为2

11、0，驱动轴为100。 静电驱动器：利用静电场的吸力，使音叉产生简谐振动。由于静电力与外加电压的平方成正比，为了产生交变力，供电电压必须由直流和交流两部分组成。静电驱动器的品质因数高，检测轴为5000，驱动轴为4000。 一般来说，微机械陀螺在谐振状态下工作，灵敏度与品质因数成正比。所以，采用静电驱动器是比较优越的。微机械惯性测量组合小型卫星有效载荷的小型化集成化与微电子机械系统（MEMS）近年来，随着有效载荷小型化和集成化的飞速发展，小型卫星和微型卫星已成为当代卫星发展的一个重要趋势。卫星的重量分类：英国的萨瑞（SURREY）大学，从1981年以来，已成功地发射了十几颗小卫星，用于通信、遥感、

12、监测和干扰等目的 。微机械惯性测量组合 图17为萨瑞微卫星在工作台上的外形图像，重量为70kg，主体外形尺寸330mm300mm640mm。发射至高度为560公里的轨道上运行。 图18为瑞典研制的微小卫星，图中所示太阳能电池平板在运行时为张开位置。 图17 英国萨瑞微卫星 图18 瑞典微小卫星微机械惯性测量组合 小卫星的优点快速先进可靠价廉 小卫星实现的关键：有效载荷的小型化和集成化，即要走“两微一光，多芯片组装两微一光，多芯片组装”之路，也就是必须采用先采用先进的微电子技术、微电子机械系统和光电子技术，通过进的微电子技术、微电子机械系统和光电子技术，通过多芯片组装技术实现有效载荷的小型化和集

13、成化多芯片组装技术实现有效载荷的小型化和集成化。 采用微机械惯性装置则是实现微小卫星导航和控制的重要途径。 微机械惯性测量组合微电子技术 微电子技术作为当今信息时代的基础，其在国民经济中的战略地位，已为人们所认识，同时任何电子设备和系统的小型化、集成化无不首先要立足于微电子技术。事实上，小卫星的出现和发展，直接受益于采用了先进的微电子技术。 美国航天局提出的“新盛世计划新盛世计划”（小航天器计划）（小航天器计划）要求有效载荷分系统的电子线路和部件集成在一个仅为1cm3大小的体积内，但功率放大器的集成是小卫星小型化的关键，目前还没有什么技术突破。 微机械惯性测量组合微电子机械系统（MEMS） M

14、EMS涉及到微电子学、自动控制、光学、气动力学、流体力学、声学和磁学等多种学科。 代表特征：极小的尺寸，最大尺寸在毫米量级，小至微米和亚微米。 MEMS特点：体积小、重量轻、功耗低、功效高、可靠性高、机械强度高、能承受恶劣环境条件。不产生蠕变和疲劳、使用寿命长等。另一个重要特点是价廉，因而能很快进入市场，1995年MEMS的市场规模已达15亿美元，当时预计2000年可达140亿美元。 微机械惯性测量组合光电子技术传统的光学技术与现代微细加工技术相结合，大大加速了光电子技术的发展，使光通信、遥感、成象等领域都在飞速发展，已成为当前国际上发展最快的应用技术之一。光电子技术的最新成果将成为小卫星有效

15、载荷减小体积、减轻重量的关键因素。 微机械惯性测量组合多芯片组装 “两微一光”提供了小型化电路和部件，它们是要连接装配以构成更大功能的组件或分系统，这就突出了装配技术装配技术。 目前，影响系统小型化的主要因素是芯片的组装技术芯片的组装技术。最先进的多芯片组装（多芯片组装（MCM）技术）技术，对整机和系统的小型化起到了决定性的作用。 美国NASA着眼于21世纪，提出对于小飞行器的“集成通用组件”（IUM）概念，集结构完整，热学处理、功耗、数据和信号传输、防辐射、防宇宙尘埃以及其它电子和机械功能在一个重量轻、体积小的无电缆连接的封装中，形成一个大功能块。微机械惯性测量组合星载星载MIMU的关键技术

16、和解决途径的关键技术和解决途径 MIMU用于卫星导航与控制的优点用于卫星导航与控制的优点 微小卫星采用MIMU是一个重要的发展方向。MIMU重量轻、价格低、可靠性高、寿命长、耗能少。卫星失重狀态有利于减少MIMU与重力有关的误差；卫星舱的真空狀态又有利于MIMU保持其内部真空狀态，从而减少振动的阻尼，提高仪表的Q值和灵敏度。MIMU不会对卫星产生干扰力矩。 缺点缺点 精度低。解决方法：采用组合方法。微机械惯性测量组合其它姿态敏感器其它姿态敏感器 空间飞行器的姿态是机体坐标系的三轴相对某些参考坐标系的方位或指向。 姿态敏感器就是为获取这些信息的机载硬件设备。这些设备利用光学原理、力学惯性原理、无

17、线电测量原理以及地球磁场原理设计的。按照不同的参考基准可分为六类。 以天体为参考基准：太阳敏感器，星敏感器； 以地球为参考基准：红外地平仪，反照敏感器； 以惯性空间为参考基准：陀螺，加速度计； 以地面站为参考基准：射频（无线电）敏感器； 以地球磁场为参考基准的磁强计； 以地貌为参考基准的陆标敏感器。微机械惯性测量组合空间惯性系统 惯导系统在宇宙飞行器上是不单独应用的，需其它敏感器辅助。 卫星测姿常用敏感器：地球敏感器，太阳敏感器、星敏感器等光学仪器。 因为惯性系统能自主地完成任务而不依赖于外界条件，在大部分卫星上，特别是在控制精度高、控制功能比较复杂的卫星上都离不开惯性测量系统。 光学仪器只有

18、在捕获到参考天体的情况下才能起测量作用。如地球(太阳)敏感器必须捕获到地球(太阳) ，星敏感器(跟踪器)则必须有参考星体进入其视场等。否则光学仪器将不能发挥作用。 惯性系统可测量载体绕任一轴的姿态角。光学敏感器却很难做到这一点。地球敏感器只能测量卫星相对于水平面的俯仰和滚动，而不能测量偏航；太阳敏感器不能测量卫星绕太阳卫星连线的转动，而只能测量绕与连线垂直方向的转动。微机械惯性测量组合空间惯性系统 大部分光学仪器只能提供断续的姿态数据，而陀螺能给出连续的姿态信息。 陀螺应用方便、数据处理比较简单。而不少光学仪器则需要外界提供卫星的坐标和复杂的数据处理。 惯性系统的严重缺点陀螺的误差即漂移速率，它引起的姿态角测量误差是随时间累积的。卫星的工作时间可长达数年之久，因此只用陀螺作为敏感元件，在这样长的时间内要满足精度要求，在技术上几乎是不可能的。必须用其它敏感器经常修正陀螺的漂移。而用惯性敏感器提供连续的姿态数据、互相取长补短，才能组成性能优良而又价格便宜的系统。 微机械惯性测量组合 美国美国Orbview4卫星的姿态控制系统卫星的姿态控制系统商用高精度的地球景象卫星任务：产生、处理和分派一米长的全色图象和四米长的多频譜图象。沿高度为470