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文档简介

文件名称：氮气柜使用规程编制： 日期：审核： 日期：批准： 日期：一、目的正确描述氮气柜的结构、使用注意事项，作为氮气柜的使用说明。二、适用范围制程全体人员三、设备原理 氮气柜是采用充氮气的方式，通过置换和中和的方法使柜体内氧气含量下降，从而达到无氧化的目的，同时也能营造低湿环境。一般来说，效果良好的氮气柜，柜体内氮气浓度应该达到95%以上。四、职责4.1工程师负责该文件的编写、修订、培训；4.2生产主管负责该文件的校对、组织培训；4.3氮气柜使用者按规定操作。五、内容氮气流量计1 、外观和结构导静电轮设置说明温湿控制面板安全锁柜体层板图1 氮气柜外观组件：氮气流量计，用于调节氮气量；图2 氮气流量计组件：温湿控制面板，用于设置温湿度，并有数据输出口，可采集温湿度曲线；图3 温湿度控制面板组件：导静电轮，可以导走柜体产生的静电；组件：温湿度管理模块，可视化管理氮气柜内部温湿度，位于柜体内部右上角；图4 管理模块组件：氮气QDN，有急速降湿功能，有利于产品的保护；图5 氮气QDN2、 使用注意事项 2.1 氮气流量尽可能要大，从而能快速达到无氧氛围；2.2 使用时尽量降低柜门的开关频率，减少开门时间，减少氮气损失，有利于产品安全和成本节约；2.3 同时不能忽略氮气柜的ESD防护工作。六、附件 无七、文件修改记录发

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