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1、叉指电极引发的思考Ydeng2013-03-12叉指状的出现叉指状的出现IDT叉指换能器（构成SAW最基本的单元）声表滤波器的作用是将射频讯号转换成声波讯号，经过一段距离传递之后，再将接收之声波讯号转换成所需的射频讯号。SAW是SURFACE ACOUSTIC WAVE（声表面波）的简称，声表面波器件是利用声表面波对电信号进行模拟处理的器件，其频率范围约在107109赫。产生表面声波最简单的方式，就是利用叉能换能器，来直接激发表面声波，基本上，叉指换能器分为输入及输出两个部份，它们是一层厚度约2000 至3500 的铝薄膜，经由光蚀刻技术成型在压电单晶材料之基板表面。当一个讯号电压外加到输入换

2、能器的正负电极上时，在每对叉指之间就会建立电场，压电基板表面一受到电声的作用，便产生同步耦合之上下振动，而激发出表面声波，当同极叉指间的距离等于表面声波波长时，所激发的声面表效率最大，一般常用的压电基板材料有石英，钽酸锂，及铌酸锂等。NATURE COMMUNICATIONS | 3:763 | DoI: 10.1038/ncomms1767 | Chem. Sci., 2013, 4, 16631667 | 1663叉指电极引入叉指电极引入超级电容器超级电容器SAW器件或其中的IDT引入NG，将使此领域翻向又一篇章！ Ydeng 2013-03-12 NG的结合方式：成为源；和SAW材料间组合。 叉指型电极除做IDT外，作为电极都是应用到微加工中，一定还有个作用，是啥？ 有必要开展微加工方面的研究。（IDT微加工）半导体集成电路微加工工艺步骤 声表滤波器的作用是将射频讯号转换成声波讯号，经过一距离传递之后，再将接收的之声波讯中与转换成所需要的射频讯号，通常下列参数均可决定SAW 元件的特性，包括：指状电极图形与数目，栅状电极图形与数目，金

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