电容传感器(第八章)

1、1第八章第八章 电容传感器电容传感器主要内容：主要内容： 8.18.1电容传感器原理与类型电容传感器原理与类型 8.28.2电容传感器输出特性电容传感器输出特性 8.38.3电容传感器测量电路电容传感器测量电路 8.48.4电容传感器的应用举例电容传感器的应用举例 2电容式接近开关电容式接近开关电容式指纹传感器电容式指纹传感器电容式变送器电容式变送器差压传感器各种电容式传感器各种电容式传感器概述概述 348.1 电容传感器工作原理和类型电容传感器工作原理和类型 v 电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化，电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化， 电容传感器工作原理可以用平板电容说明

2、：电容传感器工作原理可以用平板电容说明： 0rssC 改变式中改变式中 S S 极板面积，称变面积型传感器极板面积，称变面积型传感器 极板距离，称变极距型传感器极板距离，称变极距型传感器 介电常数，称变介质型传感器介电常数，称变介质型传感器 真空介电常数真空介电常数 相对介电常数，相对介电常数， 无介质时空气介质无介质时空气介质 r r =1=10r567变介质型传感器变介质型传感器88.2 8.2 电容传感器输出特性电容传感器输出特性 1 1、变极距型（、变极距型（） 0rssC 00sC初始电容初始电容 当当 减小减小 时电容时电容C C增加增加 00CCC C0 C CC9电容相对变化电

3、容相对变化 000ssCCC0001CC当当 时，用泰勒级数展开时，用泰勒级数展开 01 =23000001()()CC 忽略高次项忽略高次项001CCv 传感器灵敏度传感器灵敏度001CCK1000 11由分析可以看出，在由分析可以看出，在 较小时，对于同样的较小时，对于同样的 变化变化所引起的所引起的C C可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但 过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质塑料膜等）作介质, , 放置云母片的电容器放置云

4、母片的电容器012000ggSC此时电容此时电容C C变为变为 式中：式中：g云母的相对介电常数，云母的相对介电常数，g=7； 0空气的介电常数，空气的介电常数，0=1； 0空气隙厚度；空气隙厚度； g云母片的厚度。云母片的厚度。 云母片的相对介电常数是空气的云母片的相对介电常数是空气的7 7倍，其击穿电压不小于倍，其击穿电压不小于1000 1000 kV/mmkV/mm，而空气仅为，而空气仅为3 kV/mm3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时，式中的离可大大减小。同时，式中的g g/ /0 0g g项是恒定值，项是恒定值， 它能使它能使

5、传感器的输出特性的线性度得到改善。传感器的输出特性的线性度得到改善。 13差动式结构差动式结构 上静片上静片下静片下静片动片动片电容的总的变化量电容的总的变化量2120000021()CCCCCC 231000001()()CC 232000001()()CC 14002CC 传感器（差动式）灵敏度传感器（差动式）灵敏度 相对非线性误差为相对非线性误差为 0012CCK20()100%L结论：结论： 差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍；差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍； 非线性误差减小（多乘非线性误差减小（多乘 因子）。因子）。 0/15 2 2、 变面积型（变面积型（S S）

6、平板电容：当动极板移动平板电容：当动极板移动X X后两极板间电容量为：后两极板间电容量为：000()b axbxCCxCCa 初始电容初始电容:0a bC电容的相对变化量电容的相对变化量: : 0CxCa v 平板变面积型电容传感器灵敏度平板变面积型电容传感器灵敏度CbKX结论：结论： 变面积式电容传感器灵敏度变面积式电容传感器灵敏度K为常数；为常数； 输出特性为线性；输出特性为线性； 适合大位移测量。适合大位移测量。16 3 3、变介电常数式（、变介电常数式（） 当某种介质在两固定极板之间运动时，当某种介质在两固定极板之间运动时， 电容量与介质参数之间的关系为：电容量与介质参数之间的关系为：

7、0rsCddd 动片动片变介电常数式电容传感器分几种情况：变介电常数式电容传感器分几种情况： 测介电常数测介电常数 （粮仓、木材湿度）（粮仓、木材湿度） 测介质厚度测介质厚度 d(d(纸张、薄膜厚度）纸张、薄膜厚度）r17 d d为介质的厚度，为介质的厚度，d d、S S保持不变，保持不变， 改变改变 ，可作为介电常数的测试仪器。，可作为介电常数的测试仪器。 0r 0()rrsCdd 介电常数介电常数 保持不变，保持不变，S S和和一定，一定， 改变介质厚度改变介质厚度 d d，可作为测厚仪器。，可作为测厚仪器。r18电容式液位变换器结构原理图电容式液位变换器结构原理图02ln(/ )HCD

8、d19设被测介质的介电常数为设被测介质的介电常数为1 1，液面高度为，液面高度为h h, , 变换器总变换器总高度为高度为H H，内筒外径为，内筒外径为d d，外筒内径为，外筒内径为D D，此时变换器电，此时变换器电容值为容值为 dDnhCdDnhdDnHdDnhHdDnhC1)(21)(2121)(2121011式中：式中：空气介电常数；空气介电常数； C C0 0由变换器的基本尺寸决定的初始电容值由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, , 即即 dDnHC120由式可见，此变换器的电容增量正比于被测液位高度由式可见，此变换器的电容增量正比于被测液位高度h h。 208.3 8.3 测量电路测

9、量电路 1.1.电容传感器的等效电路电容传感器的等效电路 电容式传感器被当作纯电容来看待，这在大多数情电容式传感器被当作纯电容来看待，这在大多数情况下是允许的。但是在高温、高湿和高频激励条件下，况下是允许的。但是在高温、高湿和高频激励条件下，则需考虑附加损耗及电感效应等因素的影响。则需考虑附加损耗及电感效应等因素的影响。C C为传感器的电容，为传感器的电容，RPRP为并联损耗电阻，为并联损耗电阻，RSRS为串联损为串联损耗电阻，耗电阻， L L为电感，为电感，CPCP为寄生电容。为寄生电容。21 并联损耗电阻并联损耗电阻R RP P代表极板间的泄漏电阻和极板间的代表极板间的泄漏电阻和极板间的介

10、质损耗，这些损耗通常在低频时的影响较大，随着介质损耗，这些损耗通常在低频时的影响较大，随着频率的增高，其影响也相应减弱直至可以忽略不计。频率的增高，其影响也相应减弱直至可以忽略不计。 串联损耗电阻串联损耗电阻R RS S代表引线电阻，电容器支架和极板代表引线电阻，电容器支架和极板的电阻，只有在工作频率很高时，才要加以考虑。的电阻，只有在工作频率很高时，才要加以考虑。 电感电感L L是由电容器本身的电感和外部引线的电感所是由电容器本身的电感和外部引线的电感所组成。电容器本身的电感与电容器的结构形式有关，引组成。电容器本身的电感与电容器的结构形式有关，引线电感则与引线长度有关，引线越短，电感越小。

11、线电感则与引线长度有关，引线越短，电感越小。 寄生电容寄生电容C CP P主要指电缆寄生电容，它与传感器电容主要指电缆寄生电容，它与传感器电容C C相并联。电容式传感器一般电容量都很小，属于小功相并联。电容式传感器一般电容量都很小，属于小功率、高阻抗器件，极易受外界干扰。寄生电容比电容率、高阻抗器件，极易受外界干扰。寄生电容比电容传感器的电容大几倍至几十倍，且具有随机性，严重传感器的电容大几倍至几十倍，且具有随机性，严重影响传感器的输出特性。因此消灭寄生电容的影响，影响传感器的输出特性。因此消灭寄生电容的影响，是电容式传感器实用化的关键。是电容式传感器实用化的关键。22v 用金属屏蔽罩屏蔽电容

12、转换元件，消除静电场和交变磁场；用金属屏蔽罩屏蔽电容转换元件，消除静电场和交变磁场； v 前级紧靠转换元件或装在同一壳体内，避免信号长距离传输；前级紧靠转换元件或装在同一壳体内，避免信号长距离传输； v 驱动电缆技术，驱动电缆技术是一种等电位屏蔽法。驱动电缆技术，驱动电缆技术是一种等电位屏蔽法。 原理是：原理是：连接电缆采用双层屏蔽，内屏蔽与被屏蔽的导线的连接电缆采用双层屏蔽，内屏蔽与被屏蔽的导线的电位相同。（跟随器）使传输电缆与内屏蔽层等电位，屏蔽电位相同。（跟随器）使传输电缆与内屏蔽层等电位，屏蔽线上有随传感器信号变化的电压，所以称（驱动电缆），从线上有随传感器信号变化的电压，所以称（驱动

13、电缆），从而消除芯线对内层屏蔽层的容性漏电从而消除寄生电容的影而消除芯线对内层屏蔽层的容性漏电从而消除寄生电容的影响。内外屏蔽之间的电容是响。内外屏蔽之间的电容是放大器负载放大器负载。这一方法可在。这一方法可在10M10M距离不影响传感器性能，保证电容距离不影响传感器性能，保证电容1pF1pF时也能正常工作。可时也能正常工作。可提高电容传感器的稳定性。提高电容传感器的稳定性。232.2.电桥电路电桥电路 由电容转换元件组成的变压器式交流电桥测量系统。由电容转换元件组成的变压器式交流电桥测量系统。 单臂时，传感器单臂时，传感器C C邻臂接一个固定电容邻臂接一个固定电容C C0 0与之相匹配；与之

14、相匹配； 差动形式传感器差动形式传感器 是两个桥臂是两个桥臂 交流电桥的输出电压为：交流电桥的输出电压为： 12,C C120212ZZEUZZ代入：代入：111Zjc221Zj c120212CCEUCC24极板在中间位置时极板在中间位置时1200CCU动片上移时电容变化动片上移时电容变化10sC 20sC v 输出电压与输入位移成理想线性关系输出电压与输入位移成理想线性关系002EU253、 运算放大器式电路运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测运算放大

15、器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。图中量电路。图中Cx为电容式传感器电容；为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压是交流电源电压; Uo是是输出信号电压输出信号电压; 是虚地点。是虚地点。 由运算放大器工作原理可得由运算放大器工作原理可得 .ixoUCCU26如果传感器是一只平板电容，则如果传感器是一只平板电容，则Cx=S/d，可得，可得 dSCUUio 式中式中“-”号表示输出电压号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。式子的相位与电源电压反相。式子说明运算放大器的输出电压与极板间距离说明运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。成线性关系。 运算运算放大器式电路虽解决

16、了单个变极板间距离式电容传感器的非线放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求性问题，但要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度，及放大倍数足够大。为保证仪器精度， 还要还要求电源电压求电源电压Ui的幅值和固定电容的幅值和固定电容C值稳定。值稳定。 .274、 二极管双二极管双T形交流电桥形交流电桥 e是高频电源，是高频电源， 它提供了幅值为它提供了幅值为U的对称方波，的对称方波，VD1、VD2为为特性完全相同的两只二极管，固定电阻特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感为传感器的两个差动电容。器的两个差动电容。 28 当传感器没有输入时，当

17、传感器没有输入时，C1=C2。其电路工作原理如下：当。其电路工作原理如下：当e为正半周时，二极管为正半周时，二极管VD1导通、导通、VD2截止，于是电容截止，于是电容C1充电，其充电，其等效电路如图（等效电路如图（b）所示；在随后负半周出现时，电容）所示；在随后负半周出现时，电容C1上的电上的电荷通过电阻荷通过电阻R1，负载电阻，负载电阻RL放电，流过放电，流过RL的电流为的电流为I1。当。当e为负为负半周时，半周时，VD2导通、导通、VD1截止，则电容截止，则电容C2充电，其等效电路如图充电，其等效电路如图（c）所示；在随后出现正半周时，）所示；在随后出现正半周时， C2通过电阻通过电阻R2

18、，负载电阻，负载电阻RL放电，流过放电，流过RL的电流为的电流为I2 。根据上面所给的条件，则电流。根据上面所给的条件，则电流I1=I2，且方向相反，在一个周期内流过且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。的平均电流为零。 )()()2(212CCUfRRRRRRULLLo 若传感器输入不为若传感器输入不为0，则，则C1C2, I1I2, 此时在一个周期内通此时在一个周期内通过过RL上的平均电流不为零，上的平均电流不为零， 因此产生输出电压，输出电压在一因此产生输出电压，输出电压在一个周期内平均值为个周期内平均值为 式中式中, f为电源频率。为电源频率。 29)()()2(2常数MRR

19、RRRRLLL则式子可改写为则式子可改写为 )(21CCUfMUo 可知，输出电压可知，输出电压Uo不仅与电源电压幅值和频率有关，而且不仅与电源电压幅值和频率有关，而且与与T形网络中的电容形网络中的电容C1和和C2的差值有关。当电源电压确定后，输的差值有关。当电源电压确定后，输出电压出电压Uo是电容是电容C1和和C2的函数。该电路输出电压较高，当电源的函数。该电路输出电压较高，当电源频率为频率为1.3 MHz，电源电压，电源电压U=46V时，电容在时，电容在-77pF变化，可以变化，可以在在1M负载上得到负载上得到-55V的直流输出电压。电路的灵敏度与电的直流输出电压。电路的灵敏度与电源电压幅

20、值和频率有关，故输入电源要求稳定。源电压幅值和频率有关，故输入电源要求稳定。 当当U幅值较高，幅值较高，使二极管使二极管VD1、VD2工作在线性区域时，测量的非线性误差很小。工作在线性区域时，测量的非线性误差很小。电路的输出阻抗与电容电路的输出阻抗与电容C1、C2无关，而仅与无关，而仅与R1、 R2及及RL有关，有关，约为约为1100k。输出信号的上升沿时间取决于负载电阻。对于。输出信号的上升沿时间取决于负载电阻。对于1 k的负载电阻上升时间为的负载电阻上升时间为20s左右，左右， 故可用来测量高速的机械故可用来测量高速的机械运动。运动。 305、 脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路 脉冲宽度调

21、制电路图脉冲宽度调制电路图 31脉冲宽度调制电路电压波形脉冲宽度调制电路电压波形 3221211TTTTUUUUBAo式中：式中： U1触发器输出高电平；触发器输出高电平； T1、T2Cx1、Cx2充电至充电至Ur时所需时间。时所需时间。 由电路知识可知由电路知识可知 rxrxUUUnCRTUUUnCRT222221111111将将T1、T2代入得代入得 12121UCCCCUxxxxo33把平行板电容的公式代入式子，在变极板距离的情况下可得把平行板电容的公式代入式子，在变极板距离的情况下可得 12121UddddUo式中式中, d1、d2分别为分别为Cx1、Cx2极板间距离。极板间距离。 当

22、差动电容当差动电容Cx1= Cx2=C0，即，即d1=d2=d0时，时，Uo=0；若；若Cx1Cx2， 设设Cx1 Cx2 ，即，即d1=d0-d, d2=d0+d, 则有则有 10UddUo34同样，同样， 在变面积电容传感器中，在变面积电容传感器中， 则有则有 1USSUo 由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器，并具有线性特性，且转换效率高，经过积差动式电容传感器，并具有线性特性，且转换效率高，经过低通放大器就有较大的直流输出，调宽频率的变化对输出没有低通放大器就有较大的直流输出，调宽频率的变化对输出没有影响

23、。影响。 356 6调频电路调频电路调频测量电路把电容传感器作为振荡器谐调频测量电路把电容传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入被测信号使电容振回路的一部分，当输入被测信号使电容发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化。发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化。 由于系统是非线性的，必须加入鉴频器将由于系统是非线性的，必须加入鉴频器将频率变化转化换为电压的变化。频率变化转化换为电压的变化。12fLC 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度，调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可以测量高可以测量高至至0.01m0.01m级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，级位移变化量。信号的输出频率

24、易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯，抗干扰能力强，并与计算机通讯，抗干扰能力强， 可以发送、可以发送、 接收，接收， 以达到以达到遥测遥控的目的。遥测遥控的目的。 368.4 8.4 电容式传感器的应用电容式传感器的应用 电容器的容量受三个因素影响，即：极距电容器的容量受三个因素影响，即：极距x、相对面积相对面积A 和极间介电常数和极间介电常数 。固定其中两个变。固定其中两个变 量，电容量量，电容量C 就是另一个变量的一元函数。只要就是另一个变量的一元函数。只要想办法将被测非电量转换成极距或者面积、介电想办法将被测非电量转换成极距或者面积、介电常数的变化，就可以通过测量电容量这个电参数常数的

25、变化，就可以通过测量电容量这个电参数来达到非电量电测的目的。来达到非电量电测的目的。 一、电容式液位计一、电容式液位计 棒状电极（金属管）外棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当面包裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引被测液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之间起棒状电极与导电液体之间的电容变大。的电容变大。 聚四氟乙烯外套聚四氟乙烯外套38 39电容式液位限位传感器电容式液位限位传感器 液位限位传感器与液液位限位传感器与液位变送器的区别在于：它位变送器的区别在于：它不给出模拟量，而是给出不给出模拟量，而是给出开关量。当液位到达设定开关量。当液位到达设定值时，它输出低电平。也

26、值时，它输出低电平。也可以选择输出为高电平的可以选择输出为高电平的型号。型号。40液位限位传感器液位限位传感器的设定的设定 智能化液位传感器的设智能化液位传感器的设定方法十分简单：定方法十分简单： 用手指压住设定按钮，用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开当液位达到设定值时，放开按钮，智能仪器就记住该设按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信于该点后，即可发出报警信号和控制信号。号和控制信号。设定按钮设定按钮41智能化液位限位传感器的设定按钮智能化液位限位传感器的设定按钮超限灯超限灯正常工作正常工作指示灯指示灯设定按钮设定按钮电源电

27、源 指示灯指示灯42二、硅微加工加速度传感器二、硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其工作惯性力或重力加速度。其工作电压为电压为2.72.75.25V5.25V，加速度测，加速度测量范围为数个量范围为数个g g，可输出与加，可输出与加速度成正比的电压也可输出占速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的空比正比于加速度的PWM 脉脉冲。冲。43硅微加工加速度传感器原理硅微加工加速度传感器原理 1 1加速度测试单元加速度测试单元 2 2信号处理

28、电路信号处理电路 3 3衬底衬底 4 4底层多晶硅（下电极）底层多晶硅（下电极） 5 5多晶硅悬臂梁多晶硅悬臂梁 6 6顶层多晶硅（上电极）顶层多晶硅（上电极）44 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结 构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C C1 1、C C2 2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以

29、相当于悬臂梁。当于悬臂梁。 当它感受到上下振动时，当它感受到上下振动时，C C1 1、C C2 2呈差动变化。与加速度测呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将C C 转换成直流输转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达达1kHz1kHz以上，允许加速度范围可达以上，允许加速度范围可达10g 10g 以上以上。 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个

30、加速度传感如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。器，就可以测量三维方向的振动或加速度。45加速度传感器在汽车中的应用加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时，得的负加速度值超过设定值时， 微处理器微处理器据此判断发生了碰据此判断发生了碰 撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 装有传感装有传感器的假

31、人器的假人气囊气囊46利用加速度传感器实现利用加速度传感器实现 延时起爆的钻地炸弹延时起爆的钻地炸弹传感器安装位置传感器安装位置4748三、湿敏电容三、湿敏电容 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为大为增加（水的相对介电常数为8080），所以电），所以电容量增大。容量增大。 49湿敏电容湿敏电容

32、外形外形吸水高分子薄膜吸水高分子薄膜50湿敏电容模块及传感器外形湿敏电容模块及传感器外形51湿敏电容传感器的安装使用湿敏电容传感器的安装使用在野外的使用在野外的使用带报警器的家庭使用型带报警器的家庭使用型52多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 53四、电容式油量表四、电容式油量表 机械式油量表：机械式油量表： 在油箱内，装在油箱内，装有类似卫生间水箱有类似卫生间水箱里的浮球，通过杠里的浮球，通过杠杆带动电阻丝式圆杆带动电阻丝式圆盘电位器，由电流盘电位器，由电流表指示出油量。表指示出油量。54电容式油量表电容式油量表 当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为当油箱中

33、注满油时，液位上升，指针停留在转角为 m处。处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量Cx减小，电桥失减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），同同时带动时带动RP的滑动臂移动的滑动臂移动。当。当RP阻值达到一定值时，电桥又达阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（ x 处）。处）。 该油量该油量表属于开环表属于开环系统还是闭系统还是闭环系统？环系统？5556 上页所示的油量表在倾斜状态时可上页所示的油量表在倾斜状态时可以使用吗？为什么？以使用吗？为什么？ 该油量该油量表可用于表可用于飞机油箱飞机油箱57五、电容式接近开关五、电容式接近开关 被检测物体可以是导电体、介质损耗被检测物体可