湿法刻蚀长时间停机复机流程

1、RENA湿法刻蚀长时间停机恢复操作流程一、目的：1、 针对因意外停机或者生产不连续导致长时间停机制定本流程参与对象：设备部、生产部、技术部RENA开机流程对刻蚀槽、碱槽、酸槽溶液配液是检查刻蚀槽挡板高度设备检查滚轮水平情况是点击冲洗对刻蚀槽、碱槽、HF槽、水槽进行冲洗，清洁是点击Mannual进入手动程序操作是启动WINTCC程序，输入用户名，密码进入工艺操作界面是设备供电，登陆windows系统是设备人员确认外围水、电、特气、酸碱溶液等外围条件是否就绪二、刻蚀换液流程2.1 更换刻蚀槽药液2.1.1 主界面依次点击stopMode Manual停机并将机器切换成手动操作模式。主界面2.1.2

2、 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面)手动换液界面2.1.4 点击System draining排去Bath槽和tank槽的药液。排药过程用水枪冲洗刻蚀槽槽盖，滚轮。冲洗好后将槽盖关闭。冲洗过程中穿戴好防护用具，注意安全。2.1.5 待图标显示Empty(黄色)，点击PT Filling DI加水清洗。2.1.6 待Prepping cabinet显示Full DI时，点击Fill bath将水打入bath槽。2.1.7 待bath槽显示Full DI时，自动循环2min清洗（手动计时）。2.1.8 点击stopSystem draining。待图标显示Empty(黄色

3、)，排水完毕，清洗结束。2.1.9 重复进行二次清洗。清洗次数依据实际情况调整，一般为2次。2.1.10 点击PT Filling Chemie向tank添加药液。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击PT Filling Chemie继续加药，由于在加入H2SO4的过程中会放出大量的热量，所以H2SO4要分几步完成2.1.11 待Prepping cabinet显示Full Chemie时，显示配液完成将溶液打到ETCH bath进行混合，完成后打回储液罐2.2更换碱槽溶液2.2.1 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面)2.2

4、.2 点击F11<<在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyorsStart开启滚轮。点击F4>>回到刻蚀槽换药界面。2.2.4 点击Alkaline进入碱槽换药界面。碱槽操作界面2.2.5 点击Draining将药液排掉。2.2.6 待图标显示Empty（黄色），点击Filling DI加水清洗。2.2.7 待Alkaline Rinse图标显示Full DI时，点击Start circulation打开循环。循环2min。清洗次数依实际情况而定，若清洗多次后水仍呈乳白色，可与设备人员沟通更换滤芯。2.2.8 点击StopDrain

5、ing将水排掉，待Alkaline Rinse图标显示Empty，排水完毕。2.2.9 重复进行第二次清洗。清洗次数依据实际情况调整，一般为2次。2.2.10 点击Filling Chemie添加药液。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击 Filling Chemie继续加药。2.2.11 待显示Full Chemie时，点击F11<<Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyorsStop关闭滚轮。2.3 更换酸槽药液2.3.1 主界面依次点击stopMode Manual停机并将机器切换成手动操作模式、2.3.2 点

6、击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面)2.3.3 点击F11<<在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyorsStart开启滚轮。点击F4>>回到刻蚀槽换药界面。2.3.4 点击F4>>切换至酸槽换药界面。酸槽换药界面2.3.5 点击Draining将药液排掉。2.3.6 待Acidic Rinse图标显示Empty，点击Filling DI加水清洗。2.3.7 待Acidic Rinse图标显示Full DI时，表示水已加满。设备进入自动循环状态。手动计时循环2min。2.3.8 点击Draining

7、将水排掉，待Acidic Rinse图标显示Empty，排水完毕。2.3.9 重复进行第二次清洗。清洗次数依据实际情况调整，一般为2次。2.3.10 点击Filling chemie加药。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击PT Filling Chemie继续加药。2.3.11 待显示Full Chemie时，点击F4>>两次切换到滚轮控制界面，点击All conveyorsStop关闭滚轮。2.4 更换水槽的DI 水2.4.1 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面)2.4.2点击F11<<在出现的界面

8、点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyorsStart开启滚轮。点击F4>>回到刻蚀槽换药界面。2.4.4 更换DI water时，一般将Rinse1Rinse3中的DI water同时更换。首先分别进入Rinse1、Rinse2、Rinse3界面点击Draining将三个水槽中的水排尽。2.4.5 进入Rinse1操作界面，点击Filling DI，同时将三槽水加满。2.4.6 待Rinse1中的图标显示Full DI时，Rinse2和Rinse3中的水亦加满。分别进入Rinse1、Rinse2、Rinse3界面点击Start Process打开各水槽循

9、环三、换液周期刻蚀槽设定药液寿命为100KG，一般<10KG时可以开始换药，<2KG时必须开始换药 酸槽和碱槽药液寿命相同，均设定为250小时，一般<5小时必须更换药液四、设备开机1、RENA设备操作界面显示全部就绪时，进入Manual模式，点击”Filling bath”由槽向罐填充药液，开始往刻蚀槽打液。2、按F10返回主界面，点击“auto modul”自动运行，点击开始生产，开始运行3、初始配液刻蚀槽溶液的HNO2因子较少，需要多跑假片激活溶液，对于初配液需要累计2000片左右假片来激活药液，直到溶液颜色出现淡黄色为止，开始跑测试片，刻蚀量正常后开始正常生产。五、设备关机1、点击异常停止，切换到“moudul manual”à”ma