ITO薄膜基础知识分析

1、薄膜基础知识一、薄膜的概念薄膜是 的缩写。作为纳米铟锡金属氧化物， 具有很好的导电性 和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因 此，喷涂在玻璃， 塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的 同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。是一种 N 型氧化物 半导体 -氧化铟锡薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜 ,通常有两个性 能指标 :电阻率和透光率 .二、薄膜的应用85%, 导薄膜具有优良的光电性能 ,对可见光的透过率达 95%以上 ,对红外 光的反射率70%,对紫外线的吸收率85%,对微波的衰减率电性和加工性能极好 ,硬度高且耐磨耐蚀 ,因而在工业上应用广泛 ,在 高技术领

2、域中起着重要作用。主要用途有 :(一) 用于平面显示 薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能 ,所以它作为液晶显 示器用的透明电极获得高速发展 ,约占功能膜的 50%以上,例如液晶显 示()、电致发光显示 () 、电致彩电显示 ()等。随着液晶显示器件的大 面积化、高等级化和彩色化将超过 成为显示器件中的主流产品。因 而 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液 晶和电子发光屏幕等。(aui4”III雁用盒胎领域< KMX>更用遊晶輻冠赛 '觸壮面祓、臨加宅卓渡感驕40 - 30ft液晶卡播、幫電用矗液晶面板、黑唏童也*攜掃式瀝!a 電反、量测険翼用之誓不占

3、“ kLI5-4D漁晶彩邑零視、曼a型伯人啦赭*站帚型伯人電騒<10電蕖彌水誥液品頑示跖LCDT彩也旌色用上電拎（二）用于触摸屏目前市场上，使用材料的电阻式触摸屏和电容式触摸屏应用最为 广泛。1、电阻式触摸屏薄的透明性好，但是阻抗高；厚的材料阻抗低，但是透明性会 变差。在聚脂薄膜上沉积时，反应温度要下降到 150度以下，这会导 致氧化不完全，之后的应用中会暴露在空气或空气隔层里， 它单位面 积阻抗因为自氧化而随时间变化。这使得电阻式触摸屏需要经常校 正。电阻式触摸屏的多层结构会导致很大的光损失，对于手持设备通常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题， 但这样也会增加电池的 消耗。电阻式触摸

4、屏的优点是它的屏和控制系统都比较便宜，反应灵 敏度也很好。2、电容式触摸屏电容式触摸屏也需要使用材料，而且它的功耗低寿命长，自从推 出后，友好人机界面、流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场的追 捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。而且随着工艺进步和批量化， 它的成本不断下降，正逐步取代电阻式触摸屏。表面电容触摸屏的涂层通常需要在屏幕的周边加上线性化的金 属电极，来减小角落 / 边缘效应对电场的影响。有时涂层下面还会有 一个屏蔽层，用来阻隔噪音。 表面电容触摸屏至少需要校正一次才能 使用。感应电容式触摸屏与表面电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆 盖层，而且不需要校正。 电容式触摸屏技术是利用人体的电

5、流感应进 行工作的。 电容式触摸屏是一块四层复合玻璃屏， 玻璃屏的内表面和 夹层各涂有一层， 最外层是一薄层矽土玻璃保护层， 夹层涂层作为工 作面，四个角上引出四个电极， 内层为屏蔽层以保证良好的工作环境。 代表产品就是苹果、 和系列产品，拥有其他产品难以超越的非凡触 控体验。（二）用于交通工具风挡薄膜能除雾防霜 ,是一种典型的透明表面发热体 ,可以用作汽车、 火车、电车、飞机等交通工具的风挡 ,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引 自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体 ,也可以用 于炉门、冷冻食品的显示器及低压钠灯等。（三）用于太阳能方面 薄膜用于异质结太阳能电池顶部氧化物层 ,可以得到

6、高的能量 转换效率,例如2太阳能电池可以产生13%16%的转换效率。玻璃还 可以用于太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型基太阳能电池的 透明电极。具有电致变色 （）的灵巧窗的典型结构是在普通白玻璃上沉 积多层膜 ,其内外层为膜。研究表明玻璃可使建筑物内暖气、冷气和 照明等能耗减少 50%以上。（四）用于微波屏蔽和防护镜薄膜有良好的微波屏蔽作用 ,能防静电 ,可用于屏蔽电磁波的地 方,如计算机房、雷达的屏蔽保护区 ,甚至可用于防雷达隐形飞机上。 茶色薄膜是铟、锡氧化物的新品种 ,它能防紫外线和红外线 ,滤去对人 体有害的紫外波段 ,因此镀膜的玻璃镜片可作特殊防护镜。三、薄膜的主要制备方法 导电薄

7、膜是用物理的或化学的方法在基体表面上沉积得到。 基体 材料一般采用玻璃， 如采用低温溅射工艺制备这种薄膜， 基体也可以 采用塑料等聚合物材料。基体的热膨胀系数对膜的性质有较大的影 响，所以选择基体时应考虑基体和莫的热膨胀系数的匹配问题。（一）磁控溅射法： 磁控溅射法是利用惰性气体离子轰击靶材 （一 般为高密度的铟锡氧化物靶材 ） ,轰击下来的原子沉积到衬底上形成 薄膜。磁控溅射法采用的靶材有靶和靶两种。（二）化学气相沉积 （） 法：法首先是将铟、锡的有机盐气化 ,然后 在N2或的载气气氛中与0220或H2O2等反应而得到薄膜。（三）喷雾热分解法： 喷雾热分解法是将铟和锡的金属盐溶液雾 化后喷在

8、处于高温区域的衬底上 , 经过液滴的干燥、热分解过程在基 体表面得到薄膜。（四）溶胶 - 凝胶法：首先得到氢氧化铟锡溶胶 , 然后通过浸涂、 煅烧等后续工艺得到薄膜。（五）水热法：水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜 力的液相制膜技术 , 它一般以廉价的无机盐或氢氧化物水溶液或悬 浮液为前驱体 , 以单晶片、金属片、玻璃片、甚至塑料等为衬底 , 将 前驱体和衬底置于密闭反应容器里，通过对反应容器加热，创造了一 个高温（通常低于 300 C、高压的反应环境，最终在衬底上形成稳定 结晶相薄膜。目前，水热法制备薄膜的研究主要集中在制备压电和铁 电薄膜。四、电容屏主要供应厂商（一）台湾电容屏主要

9、供应厂商BrandBusinessCustomerMajor MarketTPKTP Sense r/ModuteAppleCMJTP Senser/ModuleAppl/HlC胜华WintekTP 5enscr；MtxiuteApple匚mndcjTP benscr/ModjleApple/HPSintekTP Sense r/ModufeAp e/SonvErisUSA/Korea/JapngiantphsLCM ModuleHTC洋华Young FastModuleHTC/. Jd-l.iiCpttLCM Module；iWDeh/HP介面J TouctiLCM ModuleSonyEr

10、it/, J/LGEDTLCM Modulel7： - /Lema rk/SymbdCHINA/JapanUnidiplayTP Senser/ModuleKorea/TW/Japan（二）国内电容屏主要供应厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor MarketLCM Module金"康件/天时达CHINA天马Ti an maModule华人/屮兴/天语南玻NaBOGlass/TTQ东方/宇胖/航天光电牧东MuttoTP海尔/屮巽/海信/联想信利TrulyTP Sensor/Modute华为/中兴/天馬超声CowarldTP Serscrr/ModLie联想

11、/天语LaibaoGhss/FTC Glftss天马/倍利/超声CHINA华意EELYTP Scrsor刖书尔匚尉*服想CHINA/Japan宇顺SuccessTP Sensor/Module华划川兴/BB&丢西CHINATokenG135/ ETC ddSS；X-Hj/Ifj利/趙沖（三）国外电容屏主要供应厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor MarketAreaLG化学LGModuleLG/OlhtrsKoreaKorsaDigitechN/ATP Sensor三星KoreaKoreaELKN/Atp Senior/Module三用 /LC/Vi*Lu

12、/ StHiyKorea/JapanKoreaMELFASN/ATP Sensor三歴Korea/JapanKoroaSy. LopexN/ATP Senso7Madule三星Korea/JapanKunsi写真NiijshaModufelilt'USA.Korea/Japan TWJapan（四）触控板材料价值分布Touch sensor40%Touch sensor chip 15%Cover glass30%Pr at*d ciixL t boardsand olher corwvmMW1、（触控感测器）40%2、（防护玻璃罩） 30%3、（触摸传感器芯片）15%4、（电路板及其他部件）15%五、材料在电容式触摸屏产业链中的基本情况（一）行业综述靶材，约占原材料采购成本20%左右。主要由日本提供，日本目 前提供了全球70%左