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文档简介

1、甩干机作业指导书编 制： 审 核： 批 准： 文件批号： 高平市融高太阳能开发有限公司作业指导书一、 目的本程序为清洗工序（甩干机附机）的生产作业提供文件化的标准作业指导。二、 适用范围本程序规定适用于清洗工序所有操作人员（包括班组长等）的作业流程。三、 职责1、 让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作，尽量减少操作失误。2、 清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。四、 作业程序1、 作业流程1.1 检查压缩空气，氮气，纯水连接是否正常、压力是否正常，压缩空气0.6MPa ，氮气0.5MPa，纯水0.2Mpa。1.2 开机将前

2、侧盖打开，将盖内总电源开关拔到“ON”位置。1.3 点击操作面板上的“开门”按钮按下，打开盖子。1.4 将酸洗后装有硅片的片盒两手拿住片盒边缘横放入甩干机的卡槽内 (注片盒在卡槽内应对称放置，一次只能放2、3、4或6个片盒)。1.5 两手同时按住操作面板上的两个“关门”按钮，一直到盖子关闭为止。1.6 按下操作面板上的“启动”按钮，启动甩干机。1.7 工艺结束，蜂鸣器发出响声，按下“开门”按钮，将所有硅片的片盒从甩干机卡槽内取出，检查后流入下道工序。2、 作业标准2.1 甩干结束后，从甩干后的硅片中每盒抽取两片，查看其表面有无水痕。2.2 备注：硅片从酸洗机中出来后，应及时放进甩干机中甩干，长

3、时间（5分钟）停留在空气中会出现水痕。3、 定期作业3.1 每周检查电加热油浴炉。其最高液位为视镜的2/3，液位低于视镜时必须加液，否则会导致热量不足。3.2 经常检查过滤减压阀中是否存储过量的水，有则将其排出。3.3 经常检查出风口和排水口是否堵塞，堵塞则及时清理。3.4 每个月清洁一次设备，检查传动系统是否正常，特别是三角带要半年更换一次。3.5 每月检查气液缸中液的液位。正常液位为视镜管的1/22/3。4、 故障及排除4.1 自动状态下，按下“启动”键，传动系统不动作a) 检查是否未按关门键。b) 检查关门气缸上行程开关是否移动或损坏。c) 检查显示器画面是否显示故障未消除，消除故障后按Esc键，复位到初始状态。4.2 烘干结束后，门打不开a) 检查开门键是否按到位。b) 检查压缩空气压力是否太低。4.3 硅片不能吹干。a) 检查氮气阀是否打开，氮气压力是否足

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