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文档简介

1、NEXLINE线性促动器长行程纳米定位，具有高力，PiezoWalk原理N-216力量生成达 600牛保持力达 800牛行程 20毫米带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米应用领域工业级精度定位半导体技术半导体测试晶圆检测平版印刷 术纳米压印纳米测量强磁场和真空中运动采用 PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力数个 压电陶瓷促动器在 PiezoWalk 步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。增量编码器用于高精度位置测量非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。适

2、用于复 杂真空应用PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。规格N-216.101 / N-216.1A1N-216.201 / N-216.2A1公差主动轴XX运动和定位行程20毫米20毫米模拟模式下的行程±3微米±3微米集成传感器N-216.101：无N-216.201：无N-216.1A1：线性编码器N-216.2A1：线性编码器分辨率，开 环0.03纳米0.03纳米典型值分辨率，闭环- / 5纳米（ N-216.1A1）- / 5 纳米（ N-216.2A1）速度

3、（ 10 %占空比，全步模式） *1.0 毫米 /秒1.0 毫米/ 秒最大速度（ 100 %占空比，全步模式） *0.6 毫米 /秒0.6 毫米/ 秒最大速度（ 100% 占空比， 纳米步进模式） *0.4 毫米 /秒0.4 毫米/ 秒最大机械特性驱动力（主动） *300牛600牛最大保持力（被 动）400牛800牛最小驱动特性电机类型NEXLINENEXLINE工作电压-250伏至 +250伏-250伏至 +250伏其他工作温度范 围0到55°C0到55°C材料铝，不锈钢铝，不锈钢质量1150克1250克电缆长度2.0米2.0米连接器Sub-D25针（公头）Sub-D25

4、针（公头）推荐电控E-712.1AME-712.1AM* 取决于驱动电控。* 取决于驱动电控。纳米步进模式下的最大速度是为了实现最佳可能恒定性设计的，如此一来，执行步进时就没有速度变化。* 数据适用于全步模式下的操作。所有规格参数基于室温（ 22°C±3°C。）询问定制版本。图纸/图片N-216, 尺寸单位为毫米 . 侧装或前装安装法兰包括在交付中。NEXLINE促动器的运动类型对比：纳米步进模式提供非常平滑的运动。全步进模式提供更高的速度。订购信息N-216.101NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器， 20 毫米， 300牛，开 环N-216.1A1NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器， 20 毫米， 300牛， 线性编码器，5纳米分辨率N-216.201NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器， 20

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