2咖啡芯家园28准分子激光源项目

1、KrF准用于激光源项目制造中的光刻工艺张良项目介绍制造光刻工艺的重要性¨¨ 光刻设备的准激光源¨ KrF准激光源的市场分析¨ 我们的团队¨ 我们的¨ 我们的战略¨ 我们的发展计划¨ 我们的融资需求光刻工艺驱动着半导体行业半导体行业的摩尔定律：每两年硅片上的晶体管数量翻倍！光刻工艺分辨率的提升保证晶体管的缩小，从而推动摩尔定律！光刻是制造最的步骤光刻设备是厂最大的投资1.光刻设备占了厂总投资的20%以上2.激光源因此占总投资的2%以上光刻设备的准激光源1.准激光源是提升光刻设备分辨率的必要条件！2.2013年光刻用准

2、激光源市场约为8亿美金！6 KHz KrF准激光源将是我们第一个要的！KrF准激光源：现状市场份额只有cymer和giga两家供应商GigaPhoton40%Cymer 60%KrF技术依然是第二受欢迎的工艺选择！1. Cymer和Giga把都放在了最先进的ArF浸润式和EUV光源，基本停止了KrF的改进2. 我们侧重于物联网more than moore的领域，我们的KrF光源将是最先进的光源技术KrF准激光源：未来半导体行业新的驱动力来自传感器为基础的物联网（IoT）KrF准激光源：未来1. 物联网将极大的增加more than moore领域的重要性2. KrF技术为基础的180nm-1

3、30nm工艺将会是未来长时间内More than moore领域的leading edge technology!代工厂的物联网技术平台UMCGlobalFoundriesTSMC三大代工厂在MEMS传感器和PMIC上最领先的工艺仍然只是180nm-130nm!KrF准激光源：未来全球总市场Trillion sensor到2035年，总共需要45 trillion个传感器！相当于未来20年需要生产5850 million 8英寸 CMOS-MEMS硅片现在起每年生产平均292.5 million片目前180nm-90nm工艺的产能每年大概是36 million对应KrF光刻设备大约有2500台

4、要达到trillion sensor目标，总共需要增加17812台KrF光刻设备！仅仅MEMS传感器，未来20年KrF光源总市场大约是140多亿美金！KrF准激光源：未来2020年，2013年，总产值1485亿美金！制造总产值只有99亿美金！2020的目标2013年，产能约为1680万片；KrF技术的产能大约为450万片，产值26.5亿美金如果保持比例不变2020年KrF技术产值应达1613.2万片，95亿美金目前中国KrF光刻设备大概有300台左右要达到目标，总共需要增加775台KrF光刻设备！仅仅，2013-2020年KrF光源市场将达6.2亿美金左右！我们的团队¨ 罗思齐, P

5、hD负责腔体设计。 Cymer首席腔体设计科学家，上海交大-新加坡国立- UW-Madison。目前在美国¨ 黄超峰，PhD负责强电/电控。 前Cymer首席科学家在美国¨ 江锐，PhD-曼彻斯特大学。目前负责算法/系统/光学。 前Cymer 首席系统科学家，目前在美国¨ 张良资深高科技行业背景，包括陶氏化学、ASML、学化工系本科。目前在上海-UCSD。等，浙江大我们的第一期¨ 6 KHz KrF光源¤Gas¤Wavelength¤Application¤Power¤Repetition Rate

6、64;Pulse Energy¤Spectral BandwidthKrF 248 nm Dry30W - 40W Extendable 6kHz7.5 - 12.5mJFWHM < 0.35 pm我们KrF光源的特点：1.将最先进的ArF浸润式光源技术应用到KrF中！2.更节能和更长！3.更智能，降低客户的CoO！我们的战略设计：CoO保证优于cymer和giga¨¨ 市场策略：在ASML供应链中取代giga,在nikon/canon供应链中取代cymer¨ 长期战略：和国内光刻机公司如SMEE形成合作，真正光刻设备同时把准激光作为一个技术平台，

7、发展先进封装、生物医用材料以及医疗等应用我们的模式¨ 销售整机¨ 翻新¨ 销售备件和服务合约我们的商业化计划¨ 五年计划：发展翻新业务和开发出知识产权原型机1st & 2nd3rd： 完成原型机到的所有测试。 同时新三板/战略新兴板挂牌便于后续融资以及投资者： 进行光刻机公司和制造公司认证，以及建造量4th产线5th： 开始接客户订单量产我们的技术研发路线KrF 单腔6kHz 系统，30-40W光源¨ 2015-2017:ArF 双腔，6kHz 系统，40-60W光源¨ 2017-2019:ArF 双腔，6kHz 系统，60-90W光源¨ 2019-2021:我们的融资需求资金：500万美金¨¨ 用途：2年内开发出第一台KrF准激光源原型机，以及发展翻新业务作为快速获取客户信任的策略toneProject Start Close seed round setup infrastructureall resources in