差动变压器式位移传感器lvdt设计原理

1、8 ANALOGDEVICES.LVDTsignalconditionerAD598.一、引言差动变压器式传感器的特点是灵敏度高、分辨力大，能测出0.1um更小的机械位移变化;传感器的输出信号强，有利于信号的传输；重复性好，在一定位移范围内，输出特性的线性度好，并且比较稳定，因此广泛应用于压力、位移传感器的设计制造中，尤其在航空、航天等环境恶劣、环境温度高的压力测量方面，也得到了广泛的应用。二、方案论证1 .参数要求给定原始数据及技术要求1) .最大输入位移为100mm2)灵敏度不小于80V/m3)非线性误差不大于10%4)零位误差不大于1mv5) .电源为9v,400Hz6) .最大尺寸结构

2、为160mmX21mm2 .方案讨论根据给定技术要求选择电感变换元件的类型及测量电路的形式，如图1所示图1、传感器的组成框图1)传感器电感变换元件类型的选择(1)测量范围小，如位移零点几微米至数百微米，且当线性范围也小时，常用E形或II形平膜硅钢片叠成的电感式传感器或差动变压器。(2)螺线管，常用于测量1mm以上至数百毫米的大位移，其线性范围也较大。2)测量电路的选择测量电路主要依据选定的电感变换器的种类、用途、灵敏度、精度及输出形式等技术要求来确定。3.螺管型差动变压器的工作原理差动输出电动势为。所以，差动变压器输出电动势为两副边线圈互感之差的函数。螺管型差动变压器结构复杂，常用二节式、三节

3、式、一节式的灵敏度高，但三节式的零点较好。差动变压器的工作原理类似变压器的作用原理。这种类型的传感器主要包括有衔铁、一次绕组和二次绕组等。一、二次绕组间的耦合能随衔铁的移动而变化，即绕组间的互感随被测位移改变而变化。由于在使用时采用两个二次绕组反向串接，以差动方式输出，所以把这种传感器称为差动变压器式电感传感器，通常简称差动变压器。图2为三节式螺管型差动变压器的示意图。图2三节式差动变压器的结构形式三.螺管型差动变压器的参数计算现以三节式螺管型差动变压器式传感器为例来说明参数的设计计算方法，其结构如图3。由推导的数学模型可知：所推导处的各种公式是设计螺管型差动变压器式传感器的主要依据。1 .激

4、磁绕组长度的确定通常是在给定非线性误差及最大动态范围的条件下来确定值，即联立以上各式解得(3-1)2 .衔铁的长度的确定由结构图3的几何尺寸关系可知，铁芯的长度为:式中、-衔铁在两个副边绕组中的长度;- -初次线圈间骨架厚度;- -原边线圈的长度；- -两副边绕组长度。初始状态时有，则衔铁的长度由图3的几何尺寸有（3-2）设计时，一般取，故有，通常取，则由式（3-1）求得为b=2.24cm,求得为=6.72cm。3 .副边线圈长度的确定设：（1）衔铁插入到两个副边绕组的长度分别为、，且在初始状态时：；（2）最大动态范围为已知给定值。则应该成立，才能保证衔铁工作时不会超出线圈以外。一般取，则（3

5、-3）式中，一保证在最大动态范围时衔铁仍不会超出线圈之外的保险余量。一般取,在值较小时，值可取大一些。此处取为，求得。4 .经验数据一般衔铁长度与衔铁半径之比可取为骨架外径与内径之比可取为在设计骨架内径与衔铁半径应尽量取得相近，即，这样可简化计算工作量。由为，求得为，为（取）。图3、螺管差动变压器式结构以及磁场分布图5 .激磁电压频率的选定电源电压的频率会影响到灵敏度铁损和耦合电容以及线圈阻抗的损耗等。其结果都将影响输出电压的大小，所以对电源频率的选择也是一个非常重要的参数，由于上述原因，电源频率需要根据频率特性来选取。在忽略传感器的涡流损失，铁损失和耦合电容等影响，其等效电路如图4所示。图4

6、、差动变压器式传感器等效电路设：1.、-初级线圈激磁电压及电流；2 .、-初级线圈电感及电阻3 .、-初级与次级线圈间互感4 .、-次级线圈的电感与电阻值5 .-两个次级差动电势由等效电路有以下各式成立：联立以上各式解得:(3-4),则上式变为由此式（3-4）可知1 .2 .当时，则,即增加，也增加,此时输出与频率无关3 .当超出某一值（取决于衔铁材料），则集肤效应增加，使铁损等增大,减小。出减小而使灵敏度4.灵敏度与间特性曲线如图5所示，其灵敏度为图5、激磁电压频率与灵敏度关系曲线由图5知1电源频率应选在曲线中间平坦区域，保证频率变化时电压保持不变。2根据铁芯使用的磁性材料来确定最高频率，以

7、保证灵敏度不会变，这样既可以放宽对频率稳定性的要求，又可以在一定电压下减小磁通或安匝数。从而减小传感器的尺寸。6 .灵敏度的确定灵敏度为（3-5）7 .原边与副边绕组匝数的确定由式（3-5）可知：当安匝数增加时，可使灵敏度增加，但的增加将受到线圈导线允许电流密度、导线散热面积以及磁饱和等因素的限制。下面利用这三个条件来确定和1）按允许的电流密度计算安匝数由电流密度的定义和窗口面积容纳线圈的约束条件，有以下各式成立:联立上述两式解得故得（3-6）式中，-电流密度，取；-导线截面积；-骨架窗口截面积；-填充系数，（=，取）；又Q=7.525cm2求得由式（3-6）可见，增大，数增加，但受几何尺寸限

8、制。2）按线圈发热计算值因为线圈有铜损耗电阻，所以要消耗一定的功率而转换为热量，为了保证线圈不被烧坏，必须满足以下条件。设：为每瓦功率所需要的散热面积，为线圈外表散热面积，则应满足联立上述各式，解得（3-7）式中-导线电阻率，取铜导线在室温下的电阻率，为-每匝平均长度，求得为取,。求得由式（3-7）可知：要使增加，则必使和增大，同时使减小，所以决定了传感器为细长形状的结构。3）按磁饱和计算安匝数因为磁路中由激磁电流确定的磁通量为所以得（3-8）为使工作在磁化曲线的线性段，需要满足一下条件：式中-基本磁化曲线饱和点的磁感应强度；材料为坡莫合金，取；-导磁体截面积；计算得；-材料磁阻，计算为；求得

9、为；。综合三者，取最小值为工程设计时，常利用式（3-6）式（3-7）和式（3-8）三个公式，采用试探法来确定值，其步骤如下：1 .先由式计算出一个值2 .将计算出的值代入式（3-7）和式（3-8）中进行验算，经过反复修正后得到满意的值。3 .再由，算出值，从而得到的值（）。取,；8.差动变压器变压比的确定由式（3-5）得，若使次级绕组增加，将会造成零漂移且电阻增加造成铜损增大，并易受到干扰。因此，一般设计时，当初级线圈的匝数为匝匝时，常取。要求；求得；四、测量电路的设计测量电路的功能是对传感器的输出信号进行处理，差动变压器型位移传感器的测量通常采用AD698芯片进行采集处理。AD698与LVD

10、T配合，能够高精确和高再现性地将LVDT的机械位移转换成单极性或双极性的直流电压。AD698具有所有必不可少的电路功能，只要增加几个外接元源元件来确定激磁频率和增益，就能把LVDT的次级输出信号按比例地转换成直流信号。1.AD698的特点(1)AD698提供了用单片电路来调理LVDT信号的完整解决方案，它含有内部晶振和参考电压源，只需附加极少量的无源元件就可实现位置的机械变量到直流电压的转换，并且无需校准。其单极性或双极性直流电压输出正比于LVDT的位移变化。(2)驱动LVDT的激磁信号频率为20Hz20kHz,它取决取于AD698的一个外接电容器。AD698的输出电压有效值达24V,能够直接

11、驱动LVDT的初级激磁线圈，LVDT的次级输出电压有效值可以低于100mV。(3)振荡器的幅值随温度变化不会影响电路的整体性能。AD698采用比率译码方案，即通过计算次级电压与初级电压的比率来确定LVDT的位置和方向，无需整定。2 AD698的工作原理2.1 AD698与LVDT的连接LVDT是一种机械-电子传感器，其输入是磁芯的机械移动，输出是与磁芯位置成正比的交流电压信号。LVDT由一个初级线圈和二个次级线圈组成，初级线圈由外部参考正弦波信号源激励，二个次级线圈反向串联。活动磁芯的移动可改变初级线圈之间的耦合磁通，从而产生二个幅值不同的交流电压信号。串联次级线圈的输出电压随着磁芯移离中心位

12、置升高，通过测量输出电压的相位可以判断磁芯移动的方向。AD698与LVDT连接的功能框图如图6所示。图6、AD698和LVDT连接图2.2 AD698的工作原理AD698首先驱动LVDT,然后读出LVDT的输出电压并产生一个与磁芯位置成正比的直流电压信号。AD698用一个正弦波函数振荡器和功率放大器来驱动LVDT,并用二个同步解调级来对初级和次级电压进行解码，解码器决定了输出电压与输入驱动电压的比率（A/B）。滤波级和放大器可按比较整输出结果。振荡器中包含一个多谐振荡器，该多谐振荡器产生一个三角波，并驱动正弦波发生器产生一个低失真的正弦波，正弦波的频率和幅值由一个电阻器和一个电容器决定。输出频

13、率在20Hz20kHz可调，输出有效幅值在2V24V可调。总谐波失真的典型值是50dB。AD698通过同步解调输入幅值A（次级线圈侧）和一个固定的参考输入B（初级线圈侧或固定输入）。早期解决方案的共同问题是驱动振荡器幅值的任何漂移都会直接导致输出增益的错误。AD698通过计算LVDT输出与输入激励的比率消除了所有的偏移影响，从而避免了这些错误。AD698不同于AD598型的LVDT信号调理器，因为它实现了一个不同的电路传递函数，并且不要求LVDT次级线圈（A+B）是一个随行程长度而定的常量。AD698的输入包括二个独立的同步解调通道A和B。B通道用来监测驱动LVDT的激励信号，A通道的作用与之

14、相同，但是它的比较器引脚是单独引出来的。因为在LVDT处于零位的时候，A通道可能达到0V,所以A通道解调器通常由初级电压（B通道）触发。另外，可能还需要一个相位补偿网络给A通道增加一个相位超前或滞后量，比此来补偿LVDT初级对次级的相位偏移。一旦二次通道信号被解调和滤波后，再通过一个除法电路来计算比率A/B,除法器的输出是一个矩波信号。当A/B等于1时，矩形波的占空比为100%。输出放大器测量500A的参考电流并把它转化成一个电压值。当IREF=50011A时，其传递函数如下：VOUT=XA/BXR23 AD698的参数计算AD698单电源供电时的外围电路如图7所示。图7、AD698M量电路图

15、外部无源元件的参数设置包括激励信号的频率和有效幅值、AD698输入信号的频率和比例因子(V/inch)。下面就以最为常用的单电源供电方式为例，说明元器件选择及其参数设置的主要步骤。(1)选择激励信号频率来决定C1C1=35科FHz/。(2)依据激励信号的电压幅值来决定VR1通常根据下表确定VR1:VEXO24V10Q<R1<100Q12VWVEX俣24V0.1kQ<R1<1kQ5VWVEXGC12V1kQ<R1<10kQ0VWVEXGC5V10kQ<R1<100kQ(3)C2、C3和C4是根据AD698位移测量系统所要求带宽fSUBSYSTEM勺

16、函数确定。原则上它们的电容值应该相等，即：C2=C3=C4=FHz/fSUBSYSTEM比如，系统要求带宽为250Hz,则C2=C3=C4=FHz/250Hz=0.4。(4)VR2用来设定AD698的增益和满量程时的输出范围计算VR2需要以下相关参数：a.LVDT的敏感度S:它的值可以在生产厂家目录手册中查到，单位是V/V/mile,其物理意义是每英寸的位移每伏特的输入对应的电压输出伏特。b.LVDT的磁芯从零位到满量程的位移d。在S和d确定后，VR2的计算公式如下：R2=VOUT/(SXdX500A)其中，VOU促相对于参考彳t号(引脚21)的输出。(5)R&R4可实现正、负输出电压

17、补偿调节。如果不需要补偿调节，RaR4应被开路。其阻值可由下述公式推算得出：Vos=1.2VXR2X1/(R3+2kQ)-1/(R4+2kQ)其中Vos是正或负输出电压补偿值。五、数据采集与处理分析1数据采集通过对差动变压器传感器理论分析，得出位移量x与测量电路输出电压U近似成线性关系。于是采用MSP430F149低功耗型单片机进行AD电压采集，并把采集处理后的信号通过串口发送到计算机进行显示，具体框图如下：图8、数据采集及处理框图传感器经过测量电路得出的模拟信号接到单片机，单片机经过AD电压采集处理，通过串口传给计算机，利用VB便也界面(如图9),人性化显示数据结果。图9、VB数据采集窗口通

18、过上述方法采集的数据列表如下：正向采集位移5678910111213(mn)电压(v)7.456.856.095.404.633.822.841.850.93位移(mn)141516171819202122电压(v)0.06-0.85-1.85-2.74-3.78-4.53-6.40-7.23-7.45逆向采集位移(mm222120191817161514电压(v)-7.50-7.24-6.26-5.50-4.53-3.64-2.62-1.74-0.71位移(mm1312111098765电压(v)0.391.342.323.154.114.515.826.587.052.数据分析通过MATL

19、AB寸上述数据进行拟合处理得出位移、电压特性图，如图10所示。图10、位移x(mm、电压U(V)特性图由图4,对于差动变压器，当衔铁处于中间位置时，两个二次绕组互相同，因而由一次侧激励引起的感应电动势相同。由于两个二次绕组反向串接，所以差动输出电动势为零。当衔铁移向二次绕组Ls1一边，这时互感M1大，M2小，因而二次绕组Ls1内感应电动势大于二次绕组Ls2内感应电动势，这时差动输出电动势不为零。在传感器的是量程内，衔动移越大，差动输出电动势就越大。同样道理，当衔铁向二次绕组Ls2一边移动差动输出电动势仍不为零，但由于移动方向改变，所以输出电动势反相。因此通过差动变压器输出电动势的大小和相位可以

20、知道衔铁位移量的大小和方向。3.实验小结通过此次课程设计，我们设计了LVDT线性位移传感器，并将其与AD698芯片设计的电路连接，设计制作了一个线性位移传感器。通过此次设计，我学到了三节式螺线管以及AD698芯片的相关知识；了解了传感器从设计、制作、焊接再到标定的全过程；锻炼了自己的动手实践能力及对各种软件、硬件的应用能力以及团队协作的能力。这次实践也让我认识到了自己在实践方面的欠缺（在焊接过程中出现一些小错误，尽管不影响测试，但也添加了不少麻烦，得到了教训），并让我在今后的学习中有所注重。六、参考文献刘迎春、叶湘滨传感器原理设计与应用国防科技大学出版社，2002:117-123单成详传感器的

21、理论与设计基础及其应用国防工业出版社，1999:185-206强锡富传感器机械工业出版社2004:62-105张国雄测控电路机械工业出版社2009:位置感测技衍的改良位置感测也可以各槿方式存在，检测物件何畤到连黜合上的特定位置，或手推革到连定位以使H段超商的栅楠。本形式之位置感鹰器在裂造谩程中据任重要角色，盛祝装置的移勤和在逾常黑占斶彝作敕大规模的位置感鹰包含检测地面上的位置例如全球定位系统（GPS和惯性移勤系统，而且琪在适些装置可以使用小型稹Hit路，整合成悬汽串醇航黜件，行勤®舌和it串追蹬彳爰勤系统。汽串逋勤的重位言十和LDVTs一些公司惠精if串用感器，包含Variohm-E

22、uroSensors,PennyandGiles,GillSensors和DCElectronics。Variohm-EuroSensors供J8用於所有重要汽串逋勤系列包含A1GrandPrix赛市的性和旋樽位置感器，它伸号用於10g油因位置，熟架高度，操;t角度和尚输退撵/控制（BI1和H2）。A1GrandPrix给汽串逋勤引迤新通道,各他兢孚者有相同的汽串。H除技肺使用优感鹰器登金泉的资料来湖整汽串到最佳性能。在2005年九月在BrandsHatch犀行第一次阈除比赛。赛串使用配借制式技衍的感鹰器，但是利用予以密封和强化的量结情来封抗高温，振勤和彳蓟擎。Variohm的ELPM系J8用

23、18位言十的性位置感J#器。适槿感J8器利用ft位分配器原理，而且通常利用沿著阻抗核心移勤的游襟来提供！ffiS於性位置的重屋立即比重信虢。ELPM8到优-30到+175c温度百分之土0.5的敕佳性和具有如同5ppm/C的温度未甫彳赏。其利用配借非常平滑表面抛光的健厚塑月蓼的阻抗道来代替核心,而且即使在殿重振勤的情形下，封朗括刷器的特殊弹性H碓保括刷器保持逋接道。感鹰器具有超谩25百离遇期的械械毒命。可以使用优12.5到150.0mm的行程法度，和优24到46g的重量的不同型别ELPM它伸号具有IP67固定密封塾。18位言十测量位置或非增量位置，所以如果切断18源不曾中断或资料遗失。Vario

24、hm裂造多工|«由於械械和程序控制方面，和室测及方面所使用的一些感鹰器。M1来自Variohm-EuroSensors的ELPMiSSiSSS感器配倩IP67盖子的量和可靠田性健感器M2在比H市道上测被；Lola阈除底H内的Variohm感器位置感鹰因悬18位言十的H稹小，精碓和易於整合迤入鹰用中而加以廉泛使用。Variohm的一些重位言十可以提供超谩100泌期。然而，例如高隹合器定位的一些鹰用可能逾用在道的非常小癌域上的高振勤，而且在适些情形中使用性可建差勤健感器（LVDT大有助益。本非接斶装置比18位言十通常H稹大而且昂*0LVDTfe含爽在雨低I次级圈IW的建屋器初级圈，和控制

25、圈IW的耦合的可移勤核心（BI3）。如H4所示以串聊反向方式逋接次圈，以便核心在中央位置内生零输出重屋。常核心移勤，根St移位的方向，和性於移勤的量乘建立正或负屋。由PennyandGiles提供的BE3和H4,裂造使用於汽里居1S&方面的油盟，衡翰，引擎和煞用的小接地面稹，短行程LVDT感J8器（H5）。它伸号配借黄铜核心黜件的焊接不金嗣结情和特殊段言十端以抵摧高振勤和街擎。以IP66襟型密封它伸号和在优-55至"200C的温度内逋作。例如巾8mmLVDTspecial彳系小型8加直彳至和44mm主ffhg度且具有20nlm的行程晨度。最大温度tg差为每C全部行程的百分之0

26、.0030,重量悬47g。初级m移事力核心次皴3LVDTsfe含一他I初级圈；雨他I次级圈；和一他I分离隹，可移勤，高磁厚率之核心M5来自PennyandGiles使用於汽串逋勤的鹰用LVDT勺位置感器系列性和旋樽褊礁器光孥褊礁器是高性和精碓度的非接斶装置。它伸号包含光源和检测器，代礁刻度，和信虢虑理。可以沿著像是直尺的平直刻度尺，或旋樽碟片的圄周直来食虫刻代礁。根fitGurleyPrecisionInstruments,具有方波巾俞出的旋樽增量褊礁器大余勺估市埸的百分之60,和性增量褊礁器分别估有剩绘的百分之40。性褊礁器目前敕罕见，但是55期日益重要。褊礁刻度彳系精碓食虫刻於例如玻璃的低

27、温度膨JK材料上的一黜位置代礁。圄6揭示主要形式的旋樽褊礁。圄6的零件（2）内的位置代礁可以是利用封鹰碟片的精碓放射状配置的感鹰器弹列来Ui取的二迤位或灰礁格式。造些装置超於昂<,而且封彳蓟擎，振勤，温度和甚至湮度敏感。沿著刻度的力蜀特代礁提供位置，和健勤装置使刻度符合不同畏度的移勤，但是解析度固定。可以增加额外的微褊礁器乘精碓插入於第一褊礁器的短距离隹。代礁的限定尺寸限制他别褊礁器的解析度。不用圄6的零件（1）所示的代礁，可以由雕刻正碓增加解析度，但是随彳爰系统僮能测量位置的改建。它伸号在巾俞入言十数器黜件和言十算移勤距离隹前条墨由平方18路成形，调整光成悬服街，常作通谩光源的直速度。

28、有畤特殊参考襟言己的使用可以检查位置。BI6的零件（3）揭示”tUOi®"褊礁的新概念。来自GurleyPrecisionInstruments（Bl7）的7700旋樽褊礁器可以每樽超谩0.5M短距离隹，而且彳爰於任一（0方向移勤的3.52°或1.92°（根摞碟片的直彳至）彳爰决定位置，而且之彳爰全程加以辨别。本褊礁器使用非常I®似修礁，或非分散在褊礁器的多重平行道上依序位置的索引道。第一次改勤感鹰器畤，不能分辨位置，但是在非常短移勤彳爰决定位置。例如Gurley的LE18性增量褊礁器可以超谩最高1.24m的测量法度，最低0.1仙m的解析度。R

29、enishawlffi造用於H测量畏度的高解析和精碓度的余田微襟言己的月蓼带。RG220仙m位置褊碣技衍在金的薄和弹性带上使用提供高反射和衰减阻抗的20叱m榭脂刻度。带子有附著於测量的工程材料彳爰方的黏性背面，而且在最高70m法度的搭率由上K始。缸外LED照明20m刻度角面，而且反射的光通谩透明相位栅楠,允言午次增量测量解析和考ft到粗野作棠的多於80刻度面。性彳系按照任何公尺H度的土3参考襟言己或限制感鹰器调整增量短距离隹言十数成悬余自封位置测量。逾合20林m带子的槿I®包含提供最低50nm解析的RGH22JJ®（M8）,和用於精碓微和W和螺管的更小型RGH24Renis

30、haw的40叱m技循1是更新的增加部分，允言午更快的移勤和更JE的安装公差。刻度尺的形式悬配借自黏#里的H弹性金带，或表面上有最H1m畏度的路的玻璃。超谩1km的40仙m带子合伊於黜合新空中巴士A380tt/W超级巨瓢霸来的械翼板的械械内。用来精碓决定跨立於械翼板的吊架4s孔,捆绑和鲫接的位置（圄9）。技街也使用於湖量械械，ft子检查和黜合，高度和性移勤装置。6来自Gurley的适些圄揭示增量褊礁器上使用的曾罩刻度，余自封褊礁器上放射襟言己的二迤位位置代礁，和在视自封褊礁器上的余田序列代礁7Gurley的视封褊礁器具有依序褊碣位置的IS似僚礁襟言已，而且在任何方向的非常短移勤彳爰决定本襟言己8

31、Renishaw的RGH2第哪项使用内部插值来提供相常50nm的解析，和具有10m/s的最大速度Newall也裂造知'生褊礁器，而且GetragFordTransmission最近用NewallSHG-T穗醇增量知'生褊礁器来更换Halewood的CNO床上的傅统易碎玻璃刻度尺。本装置有IP67琪境等级，而且完全防水，所以可以封抗振勤和阻止污染物，而且具有比玻璃更辰的作棠毒命。本傅醇感鹰器具有用屋缩於金同管内的金同球的圄柱所做成的精碓刻度，和配置於金日盖内沿著管子的外侧滑勤的健厚圈的U1取和言十数球，而且因此言十算移勤白距离隹。可以测量到每公尺土10pm的精碓度和具有优51mm

32、到11.73m的行程。每12.7mm有参考襟言已和20m/s的最大横向速率。U新感技循1PositekLtd最近提出可以利用易於安装和弹性使用的工H襟型界面来建造内含健醇位置感鹰器的高速I®比信虢虑理的技循感鹰器使用於造纸和烘焙段施，林棠的砍伐和移勤榭木，高重屋切换(10),和赛市的油因感J#。Positek的傅醇位置感J®器(PIPS)的襟型IS型包含具有优10到1,500mm的行程的性位置感鹰器，和最高160。移位的旋樽感鹰器。技衍使用僮大余勺100匝的非常小圈，而且适可以生H具有浏量小於10颁的移S&的直彳至2.6mm的圈，覆盖外彳至4mm的陶或塑月蓼管的微型

33、感鹰器。已展用於液屋和氟屋缸的回授控制鹰用的言丁裂感鹰器，而且用高性能聚合物覆盖道些感鹰器和注入碟氧物以封抗挑戟的琪境。M9黜合A380超级巨瓢霸的械翼板的移勤吊架使用Renishaw用於精碓位置控制的40mm性褊礁器技循111内揭示作渠的原理。栓在中央的健厚圈和雨（018容器建立共口舄ft路。W醇"目襟”形成位置感鹰器而且逋於圈移勤。藉由共口舄率的交替重屋来&霜路，和目襟内的旋樽雷流漩修改圈的重感及改建中央栓的重屋的振幅和jg率雨者。用Positek的增加数值来减少圈上的匝数和整合信虢虑理18路，以便在圈和言丁裂稹Hit路，及面板的表面上藉由襟型印刷18路板技街崖生的圈安装

34、在一他小18路板上。本旋樽感鹰器上的健醇目襟探用18路板每一（0A0面上的二他薄半圄蕖片的形式。18路板包含正式EMCB»0二（0IW制取得H勤信虢的逋60ns取檬和内部伺服退路改建言十畤直到二他取檬的振幅相等，和分叉取檬正弦HS&fSJ1的波峰或波谷。同步取檬巾俞出重屋，而且言十算相信制振幅。适是不受健醇目襟的材料的温度改建及公差的影簪的稳定测量技循%1g感鹰器是笺固，耐用和可靠，而且易於使用。雷射测距提供械械影像的逗撵雷射提供用於测量物件的位置的另一槿光孥非接斶方法。SchmittMeasurementSystems裂造Acuity雷射测量生而且AR4000-LIR雷射测

35、距倭用0.32mm的解析度和2.5mm的精碓度测量最大17m距离隹。Classmb缸外雷射具有8mW的功率巾俞出。平直的光束优物件的表面反射和感鹰器测量来行畤及藉此言十算距高隹。测量及定位貂木械自勤化的原木，和吊起喷射引擎及典造船使用本H距离隹感J#器来碓保起重械清除固定障碾而且1ft柔逋送戴。AR200是54X20X70mm的型可见雷射感鹰器，不需要外部控制器，合伊雷射及CCDyffl器藉由三角测量方式测量距离隹。具有优6到15nlm的作渠跨距和跨距的百分之±0.03的解析度。使用於定位矽晶片和测量金的厚度。也有使用不像眼雷射和360。旋樽来描物件的Acuity雷射直捕瞄器。鹰用包

36、含通道描和1T串基座捕瞄。SICK也裂造捕瞄物件的雷射测量系统。LMS40像用胸亍畤测量方式及具有用於最少百分之10反射性的物件的3mffiH,及1nm的距离隹解析度。捕瞄250Hz超谩70°的雷射光束而且具有0.25°的角度解析度。精碓找出1T物的位置，尺寸及外形，和控制例如挑起及放置爪和械械人控制器的装置的界面。使用於装卸1T物和控制垂B件及空逋包裹。典St像系统比敕起来，其具有提供精碓厚度瓷轩I,和不需要强光照明大型工作显域的侵黑占。本雷射系统使用反射资料来别1T物和包装。具有乙太路，RS422RS232CANbusffi数位巾俞入及巾俞出，允言午典多槿不同工JS装置

37、逋接。使用者通谩鹰用濯I霓器的圄形使用者界面来安装和黜熊系统。用於可穿透物件的超音速感鹰器像是小型磬纳，超音速检测器使用大余勺200kHzJig率的超音波的反射来测量到反射物件的距高隹。它伸整寸使光孥方法瓢效的彝光和透明物件特别有用，而且逾用於液面检测，和涉及玻璃瓶或彝光或透明包装材料的自勤鹰用。它伸号曾在有灰廛或有霜的情形逋作。所有超音波装置具有最小距高隹，若低於最小距高隹，回音降到巾俞出超音波服街的爆彝畤内o所有超音波装置具有最小可检测物件尺寸，悬超音波波房的一半法度，而且在200kHz最小可梅堇低於1mm的物件尺寸。Senix的ToughSonic家族的距离隹感J®器具有徙43

38、nlm最高到9.1m的靶阐和它伸号的靶阐的百分之0.1的重褪性。它伸号配fitIP68,NEMA-4X口NEMA-6盼防水。它伸号以I®比形式，或提供目前的二迤位St示It数巾俞出封目襟的距离隹。藉由利用封型在要求的位置的除物件的感鹰器的推勤按前1糠控制来曾化存在It明。例如，状材料在滚筒上增加到要求的厚度畤使用本感鹰器改勤搭事由改建。Honeywell的948系列段言十用於具有例如高速瓶子言十数的用的食物和欧料自勤化。彝射器和接收器以小型塑月蓼IP67包装上市，各他装置具有50x24mm的尺寸。彝射器巾俞出具有忽略瓶子的材II的15。波束角度的超音波服街和接收器来梅瓶子。它伸号在优-15至"60c的温度靶阐作渠而且消耗低於18-30V直流雷源的40mA含有新MEMSy5的惯性感器琪在微IMS系统（MEMS技衍可以在晶片上建立迪樽倭和加速言十，形成惯性移勤感器。例如，MEMSens以18.3x18.3x10.2mm包装测量来裂造MAG3g比慢性测量黜件。测量於三他直角事由的旋樽，加速和磁埸。鹰用包含工渠自勤化，