欧莱多晶硅溅射靶材规格书

1、东莞市欧莱溅射靶材有限公司多多晶晶硅硅磁磁控控溅溅射射靶靶材材规规格格书书发行：东莞市欧莱溅射靶材有限公司 发行：2009 年 10 月 21 日拟定审核批准版号M.H.TangW.M.GuoHF.Wen1.0WellightWellight材材料料购购买买规规格格文文件件 Omat-WG-Si-01Omat-WG-Si-01编编号号第第1 1页页共共3 3页页版版号号状状态态0101发发行行日日期期名名称称：多多晶晶硅硅靶靶材材(PolySilicon(PolySilicon Target)Target)牌牌号号：2009.10.212009.10.211、适用范围本规格书是东莞市欧莱溅射靶

2、材有限公司(乙方)销售给深圳南玻伟光导电膜有限公司(甲方)的多晶硅溅射靶材规格文件。2、构成本溅射靶材是由靶材及一面金属化构成。3、靶材规格3-1 材质：多晶硅(PolySilicon Target)3-2 纯度: 99.999%以上微量杂质含量(PPM)检查方法As0.1Li0.2化学元素分析ICPB0.03K0.1Al1Hg0.005Fe0.01Ca0.2Ni0.3Cd0.1Cu0.01Na0.1Cr0.5Pb0.001Mn0.2Mg0.4Sb0.03Ti0.04Zr0.01*OH5P0.02Total10ppm3-3 尺寸：1300(+/-0.1)*120(+/-0.1)*12(+/-0

3、.1)mm 见附图号ODWG-Si-013-4 密度：2.33g/cm33-7 表面粗糙度：Ra0.8um(溅射面),Ra6.4um(做金属化)3-8 外观：目视检查无破损、划伤、污迹、裂纹等在使用上有害的缺陷。4、金属化(BSM)4-1 种类：金属化材料为纯铟或白银(镀膜)4-2 粘接度：表面均匀,粘接牢固4-3 检测:用3M胶带测试5、包装及运输5-1无油、指纹等的污迹5-2包装材料要保证里面的货品不变质、破损。5-3包装材料采用有机薄膜真空包装袋。5-4运输时，靶材放于木箱/纸箱里，箱子内侧用珍珠棉严格保护起来。5-5运输、或者其他的一些使用时，要注意避免破损或污染。6、标识6-1 每个

4、靶材的制品名、制造编号、制造日期放于有机薄膜袋外侧。7、出货报告每个靶材的报告上都分别记载有检查结果表。检查项目检查方法7-1 外观（制造商名称，制造编号,靶材名称,表面清洁）目视7-2 尺寸游标卡尺、千分尺7-3 靶面光洁度光洁度对照块7-4 杂质（Fe,Ni,Ti,Cr,Mg,Al,Cd等）ICP7-5 杂质（O/N/C/S）气体分析设备LECO（热燃烧技术）7-6 组成ICP7-7 弯曲度直线规、间隙测量仪7-8 净重电子称7-9 毛重电子称8、杂质分析样本8-1 Fe,Ni,Cr,Cd,Hg,Na,Pb,Ti,Zr,W,Al等：靶材切割部周边采样（每批抽样）8-2 O,N：靶材切割部周边采样（每批抽样）9、保证本靶材在使用过程中出现问题时，甲方应首先出具书面上的通知，并说明原因，由甲乙双方共同查明问题的原因及协商解决办法。在能确定是靶材本身的问题时，乙方应无偿更换靶材。10、附带事项10-1靶材的制造方法更改时，乙方应提前通知甲方，并征得甲方的同意。10-2对于本规格书没有规定的事项，在有疑议产生时，由甲乙双方协商解决。11、有效期间及变更本规格书的有效期为领到规格书后的年内有效，在有效期间若需要更改