洁净室调试方案论文

1、洁净室调试方案XX公司 XXX提要：介绍了洁净室的测试工程及步骤，目的使其测试数据满足设计参数，到达生产需求条件。关键词 测试步骤 测试工程 Clean room testing and commissioning project Youngs Engineering Company Ltd LiMingGangAbstract introduce the clean room testing items and procedure,To Proof the equipment fulfill manufactory standard and designCondition.Keywords

2、testing procedure testing items在测试洁净室之前，假设是能对洁净室测试标准有所了解，能够对测试有所帮助。但每一种行业，每一家公司对洁净室的要求可能不一样，各公司在制定定测试标准时，应依照自己的制程要求,从标准里取出自己适用的局部，要求供给商与测试单位照办，必要时可酌情修改测试的标准，以满足自己的需求。一 洁净室常用名词1 洁净室定义：洁净室是一个为了对空间空气的微粒做控制，所建造的特殊封闭建筑。2 微粒控制：洁净室微粒控制第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，制定恰当的微粒控制方案与洁净室管理模式，以控制微粒污染，粒径和其数量对制程影响

3、是有用的数据。3 外来污染源：从洁净室外进入系统的污染源，外来污染源主要是 由空调通风系统所导入，另外门.窗.墙壁裂缝等也是外来污染源。4 内部污染源：洁净室内部污染的来源，一般是制程机器与操作 员工，最严重污染源是操作员工。5 层流型气流：气流以同一方向移动，这种无尘室称为层流型洁净 室。一般高洁净度的洁净室需要层流型气流。6 乱流型气流：气流方向不受控制，这种无尘室称为乱流型洁净室， 洁净度低要求可用乱流。二 调试人员必须经过洁净室等级培训的人员，并且有两年以上的工作经验。三 调试工具1 BCJ1型尘埃粒子记数器05126291193。2 电子式温湿度计TES1360。3 水银干湿球温度计

4、。4 照度计TES1330/1332/1334 5 风速表(热反响风速计用与低速) 6 噪音表7 微差压计8 电流表9 万用表10 高压冲水枪11 绝缘表二、 调试步骤（一） 准备工作1. 熟悉图纸核对各项设备铭牌与设备表是否相符。2. 清楚调风阀，调水阀，排气阀，泄水阀，各项设备安装位置。清楚各项管道布置与图纸是否相符。3. 清楚楼宇控制方案，控制等级。温湿度传感器及各项控制元件安装具体位置。4. 熟悉各个配电箱安装位置，控制图纸。校核接触器型号，线径及过载器范围。（二） 测试步骤1. 风系统开机前需保证无尘室清洗工作必须完成，风管清洗必须完成。空气处理机清洗必须完成，确保每一个风阀处于全开

5、状态，中初效过滤网安装完毕，然后调整风阀使每一个风口都有风出。2. 水系统（1） 水泵，水塔启动使冷冻水，冷却水水管充满水，末端连通.启动冷动泵，冷却泵,水塔风扇使设备到达额定，流量，扬程，电流。（2） 管道a.加清洗药，除去油污，焊渣，并清洗过滤器（3） 启冷冻主机，热泵机b.检测机组满负荷运转，能否到达设计水温a.确保空气压缩管道试压成功无泄漏，用氮气吹洗管道。b.压缩机散热 水冷管道必须完成风管散热必须完成c.除湿机。枯燥过滤器，稳压罐，压力控制器，平安阀全部调试完成。 保证压缩出的气体是高压，枯燥的气体。a) 必须保证配线，接线的测试工作完成b) 保证控制元件的安装完成c) 配合控制厂

6、家调试并检试程序是否正确。温湿度控制是否准确，做好调试报告。空气处理机开机大约一星期后，然后安装HEPA高效过滤器。运转三天后再进行检测。一、范围：洁净工程与业主合约有标准者，依其标准办理，假设与业主合约无标准者，可按下例工程测试。表一 工程测试工程 AS-BULIT CLASS1.10 100.1K 10K 100K AT REST CLASS1.10 100.1K OPER AT30N CLASS1.10 100.1K 10K 100K备注A风速，风量测试OOO+-20%B气流平行度OOO少于14度C室压核测OOO标定D滤网泄漏检测O无泄漏E洁净度测试OOO标定F噪音检测OOO标定G温湿度

7、测试标定H温湿度均匀度测OOO标定I照度检测OOO标定 O必须做 参考做 不包括1. 测量点距离HEPA约为30cm，距离外框约为30cm。2. 每片滤网至少测2点，取平均风速做为HEPA面风速依据。3. 每点量测t5秒取平均值4. 风速标准/S/S具体见标准5. 风量标准=平均风速*HEPA有效面积。6. 洁净室整体之平均风速及风量应在设定值+20%范围内。B.气流平行度测试只适用与层流型洁净室1. 本测试工程对于全面层流区实施每9m²规划为测量点2. 每一点测量取几根长丝线以PVC胶布贴于天花板上每根丝线间距为30 cm。3. 用数码照像机测量高架地板上处丝线之偏移距离，以计算每

8、点之偏移角度。C室压检测1. 熟悉图纸确认测试点数量及位置，每一独立房间与相邻房间测试点。2. 确认洁净室所有门均为关闭状态。利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量D滤网泄漏检测1. 测定标准10颗采样 风量 /min 测试方法：尘埃粒子计数器 用PARTICE COUNTER之探棒置于HEPA 约25-50mm处，以不超过/s做有规律之全面扫描HEPA 25-50mm 30mm 50mma.当探测棒扫描当中，有超过标准数时，那么以/s速度缓慢测试，找出泄漏位置。判断方法 FILTER及其周围无泄漏为合格 FILTER之修补面积小于FILTER面积之5% 每一FILTER之单点修补尺寸不得大于。

9、E洁净度测试1. 测定粒径1指定洁净度等级 CLASS 1. 10. 100. 1000. 10000 FED 209E标准表二CLASS NAME测试粒径SIU.S.m³ft³ m³ft³ m³ft³ m³ft³ m³ft³M1350 75.7 1124035.0 2657.50 106M2350099.1 75721.4 3091001012400350 2650 106030353M335000991 7570214 30901000100 26500750 106003003530100

10、M4 757002140 3090087510000283100035300M51000002830 6181000035300010000 2470M6100000028300 61801751000003530000100000 24700700M710000000283000 6180017502. 测试的阶段区（1） 竣工AS BUILT阶段，室内静态测试，无尘室无设备，无人。（2） 制程设备进驻AT-REST室内静态测试，无尘室有设备，无人，但设备未运转。（3） 制程设备操作OPERATION阶段，室内动态测试，无尘室有设备，有人。制程设备正常运转投入生产。测试阶段虽为三个阶段，但A

11、T-REST及OPERATION阶段。因制程设备，操作人员等发生因子的掌控，除特别声明处一般均以AS-BUILT阶段测试为验收标准。3.测定高度及测定点数。（1） 层流，非层流A. 测定高度，距FLOOR上1000mmB. 测定点数最少采样点数室内净面积空气洁净度 m²1100100010000100000101322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063取自建筑施工技术资料编制手册表6-89（2） 层流或非层流均应遵守以下原那么：A. 不管面积多小至少要

12、测2点以上。B. 测试点均匀分布，低于5点，应布置于对角线C. 各测试点须一个以上之取样数（1） 测洁净度CLASS，对测定粒径每分钟最少取样风量依据下表。 表三洁净度等级与测试粒径之最小取样风量表CLASS NAME测试粒径umSIU.S.m³ft³ m³ft³ m³ft³ m³ft³ m³ft³M1 9.35 2.000012.67 M20.20 0.94 100.10 0.27 M3 0.10 100 0.10 M4 0.10 1000M510000 M6100000M7（1） 净度测定之

13、粒径及粒子数上限值标准分为FED209E及IES-RP-CC-006-84-T两种标准，除非特别指定，本厂以FED 209E作为验收。A.FED 209E如表二 pcs/ft3的上限值IES-PR-CC-006-84-TCLASSAS-BUILTAT-RESTOPERATION105791007104010005010020010000100100020001000001000030000500005.算出方法：（1） 在测定点中粒子浓度平均值A=C1+C2+Cn/NN测定点取样次数N次C1+Cn=测定点N次测量数值（2） 求各测点平均值MM=A1+A2+An/N N=测定点之总数A1An=测定点平均值1. 启动洁净室所有空调设备，但其他机台设备内为停止状态。2. 测定位置，地面分割为3m*3m之正方形在对角线中心测定。3. 距地板1m处，测量实际噪音，之后关闭洁净室所有空调设备，测量背景噪音。1. 设备正常运转，自动控制状态已运转24小时以上。2. 每个空调系统的控制区至少一点作测试，必须等测试仪器到达稳定时打取。3. 每分钟取一次数据，24小时后有一个测试曲线应在平稳处。1. 洁净室面积500