特气系统安全操作规范_信息与通信_工程科技

1、1. 目的 Purpose1.1 本操作作业标准目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以防止人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。2. 管制范围 Scope2.1 本操作标准适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。3. 管理职责 Responsibility3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务效劳内容。3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。3.2 厂务单位主管3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。3.2.2 维持稳定的厂务供给系统所需之人员出勤管理

2、。3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供给系统之正常运转及改进维护。3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变

3、事宜。4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。统计气体，每日/周/月用量。统计气瓶、库存量，原那么上现场要有足够15天运行库存量。整理特气系统仪器仪表Gas detector、PT等的校正记录。提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。日常运转事项 气体钢瓶的更换含硅烷、氢气站，特气房内。 N2 Yard(大宗气体气站：N2) 灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查 特气系统仪器仪表Gas detector、PT等的定期校正。 紧急应变：包括T

4、rouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理。6. 表单 Form特气系统点检表序号工程情况记录REMARKYESNO其它1检查设备、房间排风是否正常？2检查门锁、窗锁是否正常？3检查设备外观是否正常？4危险标识是否剥落？5阀件编号是否有误？6巡视管道状况、标签是否脱落7确认N2吹扫盘是否正常？8确认CDA、GN2供给压力是否正常？9检查PIG TAIL是否被损坏或污染？10检查加热系统是否正常Local Scrubber 检查保养方案表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每季每年检查主电源(Main power)电压检查加热器#1, #2 的温度检查氮气、流量检查

5、注入、排气压力确认错误(Error)状态检查传感器High，Low状态检查指示灯工作状态检查各导管有无粉尘堆积压力计是否需更换检查是否需更换传感器、控制器检查是否需更换继电器、风扇备注： “：值班技术人员可以单独进行维护操作“：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护Sensor 检查保养表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年通过监视屏幕观察Sensor的状态更换Sensor检查吸气泵是否故障检查热裂解模块是否故障检查模/数转换模块是否故障备注： “：值班技术人员可以单独进行维护操作“：值班技术人员在系统工程师指导下进

6、行检查和维护“：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护气瓶柜/架检查保养方案检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年检查气瓶的压力、重量检查设备、房间排风是否正常检查门锁、窗锁是否正常检查外观是否正常危险标识是否剥落设备标识是否剥落阀件编号是否有误巡视管道状况、标签是否脱落确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常确认CDA、GN2供给压力是否正常确认N2吹扫盘是否正常压力传感器和真空传感器校正观察PIG TAIL是否被损坏或污染核检故障报警装置是否正常核检关机报警装置是否正常检查加热系统是否正常核检左右供气自动切换装置是否正常仪表校正备注： “：值班技术人员可以单独进行

7、维护操作“：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护VMB/VMP维修保养方案表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年检查设备排风是否正常检查门锁、窗锁是否正常检查外观是否正常危险标识是否剥落设备标识是否剥落阀件编号是否有误巡视管道状况、标签是否脱落确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常确认CDA、GN2供给压力是否正常确认N2吹扫盘是否正常核检故障报警装置是否正常核检关机报警装置是否正常备注： “：值班技术人员可以单独进行维护操作“：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导

8、下检查和维护7. 参考文件 Reference Document7.1 无8. 作业流程 Flow Chart8.1 Ar 供气流程Ar Rack 供气流程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢翻开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或2。3别离旧钢瓶，并安装新钢瓶。4然后翻开新钢瓶阀门，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后关闭HPV1或2。5关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。6保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.注意：1.在供给气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门翻开，使两个调压

9、阀同时供气，并保持调压阀门适当成都翻开，不要关闭。2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。8.2 PN2 供气流程N2 Rack 供气流程Step.Content.1先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭。2慢慢翻开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent 阀门3用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶。4翻开钢瓶阀门，然后翻开关闭Vent阀门15次进行吹扫，翻开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.5然后翻开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进行保压测试1小时。6保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi.7翻开LPI可供给P-N2,翻开H

10、PI2可供给高压P-N2.8.3 H2供气流程H2 Rack 供气流程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢翻开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或2。3翻开PNBV,PGI1或2，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次进行吹扫。结束后全部关闭。4别离旧钢瓶，并安装新钢瓶。5然后翻开PNBV,PGI1或2，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后全部关闭。6翻开钢瓶阀门，然后一点点翻开HPV1或2,将残留N2排空，然后关闭HPV1或2，7关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。8保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，然后触摸屏

11、上，选择stand by.注意：1.在供给气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门翻开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都翻开，不要关闭。2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。8.4 全自动气柜和BSGS 供气流程全自动气柜和BSGS供气流程Step.Content.1A 瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭(有Valve shutter者，拆下Valve shutter，然后确认，并关闭PMV1.2“A select进入A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2 供给正常。3选择“ Pre-purge，输入密码，“Confirm可能要点两次，进入1P(第一次吹扫)，-L(负压测试)，2P(第二次吹扫)42P结束后，进入钢瓶更换阶段。确认PIV,PGI翻开，确认新瓶日期。5别离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接。6连接好之后，“Confirm进入“3P，“+L,“4P阶段。74P结束后，按“cancel进入下阶段。按“process Gas flow，输入密码，8检查HPT，LPT数值，按“Process，气柜会自动排空内部气体。 9如有Valve shutter,然后安装Valve shutter，把Valve shutter 先套在钢瓶上，拧紧，然后插入气管