显示面板用缓冲氧化物刻蚀液编制说明.docx

1、CEMIA团体标准显示面板用缓冲氧化物刻蚀液（征求意见稿）编制说明1工作简况1.1任务来源显示产业的蓬勃发展，使得其关键材料湿电子化学品的需求量也逐年增长，据相关资料统计，2018年，我国液晶面板用湿电子化学品市场需求量达35万吨以上，预计2021年中国大陆显示面板产业用湿电子化学品需求量将达到125万吨，市场前景广阔。缓冲氧化物刻蚀液主要应用于OLED面板制造中缓冲氧化物的刻蚀，预计2021年中国大陆OLED面板产能将达到1800万平米，其中缓冲氧化物刻蚀液的需求量预计将达到1.5万吨。然而，针对显示面板用缓冲氧化物刻蚀液，目前国内尚无统一的相关标准，市场上产品良莠不齐，行业内、企业间形成统

2、一的产品标准迫在眉睫。根据中国电子材料行业协会于2019年8月5日（中电材协2019第13号）文下达的2019年度CEMIA首批团体标准制修订计划（计划编号：CEMIA2019-1-003）,杭州格林达电子材料股份有限公司（以下简称杭州格林达）作为显示面板用缓冲氧化物刻蚀液团体标准的牵头单位，承担了本标准的起草和编制任务。参与标准起草的单位还有：成都京东方光电科技有限公司、迈奇化学股份有限公司和英格尔检测技术服务（上海）有限公司等。本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。1.2目前已完成工作1调研杭州格林达于2019年1月开始收集国内外显示面板用缓冲氧化物刻蚀液相关技术资料并进行对比分析，总结

3、杭州格林达长期以来的电子化学品的实际技术和产品质量状况，了解国内外相关行业技术情况，为制定标准打下了良好基础。1.2. 2标准启动会2019年2月杭州格林达组织本公司相关技术、生产、质量及销售人员召开了本标准的启动会议，标准启动会上相关人员介绍了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的国内外状况、行业发展动向，技术、质量和生产人员介绍了缓冲氧化物刻蚀液产品质量指标及其一般检测方法等。会议最终确定了本标准中编写确定的项目有：主要成分含量、颗粒数、非金属杂质含量和金属杂质含量等。1.2.3起草标准草案2019年6月，杭州格林达起草了本标准草案，并组织本单位及相关单位技术人员对标准草案进行了讨论。根据市场调研及

4、实际情况分析，会议确定了本标准草案中编写的项目有显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的产品外观、主要成分含量、颗粒数、非金属杂质含量和金属杂质含量等共计20余项。1.2.4进行验证试验本标准工作组收集了行业内若干主要缓冲氧化物刻蚀液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的验证。1.2. 5标准讨论稿标准工作组于2019年10月完成标准讨论稿，2019年11月中电材协组织相关技术人员对本标准内部讨论稿进行评审，评审确定本标准规定的范围、产品的具体技术要求及其具体检验方法、产品的检验规则，以及参考的国家标准和行业标准等内容。1.2.6后续工作计划标准工作组计划于2021

5、年12月完成征求意见稿，2022年1月完成送审稿，2022年2月完成报批稿。1.3标准主要起草人及其所做的工作表1标准工作组姓名单位主要工作组长蒋哲男杭州格林达电子材料股份有限公司组织协调标准工作、起草制定、联络意见征集组员邢攸美杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、收集、讨论、汇总，标准执笔高立江杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持胡涛杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持陈东良杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持胡阳成都京东方光电科技有限公司参与标准调研、讨论和技术支持刘伟鑫中国电子材料行业协会参与标准调研、讨论和技术支持闫

6、广学迈奇化学股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持周淑飞迈奇化学股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持张振洋英格尔检测技术服务（上海）有限公司参与标准调研、讨论和技术支持梁龙飞英格尔检测技术服务（上海）有限公司参与标准调研、讨论和技术支持彭澳英格尔检测技术服务（上海）有限公司参与标准调研、讨论和技术支持徐森彪英格尔检测技术服务（上海）有限公司参与标准调研、讨论和技术支持施珂杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持李盈盈杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证洪明卫杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证季文涛杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证

7、王小栋杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证李林佳杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持周利超杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证陈海刚杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研和实验验证2标准编制原则和确定标准主要内容1编制原则本标准严格遵照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则，GB/T1.2-2020标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则的有关规定起草。2.2标准主要内容2.2.1范围（1）本标准规定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规

8、则以及标志、包装、运输、贮存和安全。2.2.2术语和定义（3）GB/T14666界定的术语和定义适用于本文件。2.2.3缩略语（4）下列缩略语适用于本文件。BOE刻蚀液：缓冲氧化物刻蚀液。PFA：四氟乙烯一全氟烷氧基乙烯基酰共聚物，又称过氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。2.2.4分类（5）显示面板用BOE刻蚀液根据显示面板客户使用要求分为I级和II级。2.2.5外观及其检验（6.1）显示面板用BOE刻蚀液的外观将能够从直观角度对产品品质进行初步鉴定，根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定显示面板用BOE刻蚀液的外观为无色透明液体，在自然光下，将试样置于聚乙烯瓶中，用目视法判定外观

9、。2.2.6主要化学成分含量及其检验（6.2）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定显示面板用BOE刻蚀液的氢氟酸含量为（1.0-10.0）±0.1wt%,氟化铉含量为（10.0-40.0）±0.5wt%。本标准依据SJ/T11507-2015集成电路用氧化层缓冲腐蚀液中5.2的规定检验显示面板用BOE刻蚀液的氢氟酸和氟化铉含量。2.2.7表面张力及其检验（6.3）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的表面张力指标管控可由供应商与客户协商决定。用直径大于8cm的聚乙烯塑料测量杯，按GB/T5549-2010表面活性

10、剂用拉起液膜法测定表面张力中7的规定检验显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的表面张力。2.2.8颗粒数及其检验（6.4）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定显示面板用BOE刻蚀液指标I的颗粒数（颗粒直径0.3|im）应不大于200pcs/mL,颗粒数（颗粒直径0.5pn）应不大于50pcs/mL,指标II的颗粒数（颗粒直径0.3|im）应不大于100pcs/mL,颗粒数（颗粒直径0.5|im）应不大于10pcs/mL。本标准依据SJ/T11638电子化学品中颗粒的测试方法检验显示面板用BOE刻蚀液的颗粒数。2.2.9非金属杂质含量及其检验（6.5）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生

11、产实际，本标准规定显示面板用BOE刻蚀液指标【的非金属杂质氯离子的含量应不大于5|ig/g,硝酸根的含量应不大于5pg/g,磷酸根的含量应不大于5pg/g,硫酸根的含量应不大于10g/g,指标II的非金属杂质氯离子的含量应不大于1|ig/g,硝酸根的含量应不大于1|ig/g,磷酸根的含量应不大于1|ig/g,硫酸根的含量应不大于2pg/g。本标准利用离子排斥原理，将产品中的氯离子、硝酸根、磷酸根和硫酸根分离，分离后的待测组分被离子交换浓缩柱富集，通过色谱柱分离，用检测器进行检测，以外标法检验显示面板用BOE刻蚀液的非金属杂质含量。2. 2.10金属杂质含量及其检验（6.6）根据客户应用指标及行

12、业内生产厂家的生产实际，本标准规定显示面板用BOE刻蚀液指标I的金属杂质含量应不大于10ng/g,指标II的金属杂质含量应不大于1ng/go本标准采用电感耦合等离子体质谱法，采用电子天平，在250mLPFA瓶中准确称取20g样品，精确至0.0001g,加入电子级水稀释至60g,精确至0.0001g,摇匀。再依据SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则检验显示面板用BOE刻蚀液的金属杂质含量。3主要试验（或验证）的分析、综述报告，技术经济论证、预期的经济效果1主要试验（或验证）的分析、综述报告本标准各项指标是根据市场供需情况总结出来的，并结合了从行业内各相关企业收集获得的技术资料，

13、完全可以满足显示面板用BOE刻蚀液的应用要求。主要化学成分氢氟酸和氟化铉含量、表面张力、颗粒数、非金属杂质和金属杂质含量等指标进行了试验。收集行业内主要BOE刻蚀液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的检验结果如下：表2BOE刻蚀液(I级)样品的检验结果检验项目指标I样品检验结果#1#2#3#4#5#6#7#8氢氟酸，co/(wt%)(1.0-10.0)±0.12.392.421.996.021.482.051.034.48氟化铉，co/(wt%)(10.0-40.0)±0.538.1535.0238.8229.9935.0435.1

14、239.8230.21表面张力/(mN/m)-符合符合符合符合符合符合符合符合颗粒数(>0.3pm)(pcs/mL)<2007634585513414016143颗粒数(>0.5呻)(pcs/mL)<5011814927283110氯离子(CD,co/(pg/g)<52.621.702.274.012.143.782.041.13硝酸根(NO;),(D/3g/g)<51.882.172.932.862.351.183.213.53磷酸根(PCh3-),co/(Pg/g)<53.341.821.954.603.812.754.332.22硫酸根(SO42

15、-)，co/(pg/g)<106.804.553.717.374.148.316.257.29锂(Li),co/(ng/g)<101.291.854.635.711.495.503.182.81钠(Na),co/(ng/g)<105.543.621.483.596.418.207.986.86镁(Mg)，co/(ng/g)<103.171.993.537.142.326.101.311.44铝(Al),co/(ng/g)<101.362.544.313.841.250.984.281.11钾(K),/(ng/g)<104.013.868.835.076.99

16、7.197.614.47钙(Ca),3/(ng/g)<102.931.012.884.851.746.394.532.40铭(Cr),co/(ng/g)<100.744.711.241.070.972.411.083.14车孟(Mn),col(ng/g)<103.802.493.131.595.836.376.454.84铁(Fe),co/(ng/g)<102.751.145.034.912.895.113.763.86镣(Ni),co/(ng/g)<100.891.592.841.151.312.241.572.81铜(Cu),co/(ng/g)<102.

17、091.063.332.792.174.772.003.15锌(Zn),col(ng/g)<103.552.756.367.354.381.401.966.95钥(Mo),co/(ng/g)<102.872.534.825.721.492.297.453.25镉(Cd),co/(ng/g)<101.380.441.310.824.674.821.311.62铅(Pb),co/(ng/g)<102.111.912.153.482.081.965.053.51表3BOE刻蚀?(攵(II级)样品的检验结果检验项目指标II样品检验结果#1#2#3#4#5#6#7#8氢氟酸，to

18、/（wt%）(1.0-10.0)±0.12.513.482.183.990.761.021.555.54氟化铉，co/（wt%）(10.0-40.0)±0.535.0434.9839.1134.5639.8832.7527.4835.13表面张力/（mN/m）-符合符合符合符合符合符合符合符合颗粒数(>0.3pm)(pcs/mL)<1003022473158746826颗粒数(>0.5gm)(pcs/mL)<1023496435氯离子(CD,co/(pg/g)<10.080.140.720.680.210.460.490.39硝酸根（NOj），

19、co/（|Jg/g）<10.190.060.510.470.280.430.670.85磷酸根(PO43-),CO/(pg/g)<10.030.250.480.950.780.170.710.92硫酸根（SO42-），0）/（pg/g）<20.510.680.420.731.241.820.840.48锂(Li),col(ng/g)<10.290.460.720.140.080.830.840.91钠(Na),col(ng/g)<10.810.880.740.480.070.800.370.24镁(Mg),co/(ng/g)<10.100.060.970.5

20、90.350.750.150.63铝(Al),co/(ng/g)<10.270.010.290.850.810.650.420.13钾(K),/(ng/g)<10.310.270.410.200.930.170.470.42钙(Ca),3/(ng/g)<10.140.800.490.130.950.830.590.44铭(Cr),co/(ng/g)<10.290.530.830.250.710.630.270.13辛孟(Mn),co/(ng/g)<10.070.490.450.270.860.380.460.11铁(Fe),co/(ng/g)<10.450.

21、240.310.630.670.820.110.42镣(Ni),切(ng/g)<10.080.130.550.710.550.290.140.81铜(Cu),col(ng/g)<10.450.590.490.290.650.330.140.62锌(Zn),col(ng/g)<10.210.500.180.140.190.640.510.35钥(Mo),co/(ng/g)<10.390.050.480.980.600.520.660.39镉(Cd),co/(ng/g)<10.260.400.150.470.370.160.440.15铅(Pb),co/(ng/g)&

22、lt;10.130.140.520.200.280.180.290.22由上表2和表3可知，本标准中的主要指标在行业内产品中处于平均水平，适合于行业内进行推广，并且符合产品在下游产业产线内的应用需求。3.2技术经济论证、预期的经济效果中国显示产业由国家战略政策推动和地方税收扶持，己经进入快速发展阶段。预计到2021年，LCD（LiquidCrystalDisplay,液晶显示）产业与OLED（OrganicLightEmittingDiode,有机发光二极管）产业将达到新的产能高度，其中液晶面板生产线将达到50条之多，4.5-6代的OLED产线也将有6-10条先后投产。2018年中国大陆面板产能已居世界第一。不断增加的显示面板产能将导致整体湿化学品用量增加，预计2021年面板产业用湿电子化学品需求量为125万吨，尤其随着新型显示技术的发展，缓冲氧化物刻蚀液用量将急剧增加。（数据来源：电子材料行业协会统计报告）通过本标准的制定，以高标准引领高品质，有利于规