镀膜操作员试题库-最新的

1、镀膜操作员试题库1.SiO2料面的哪些因素对镀膜曲线有影响？A、B DA .平整度B.高度C.洁净度D.硬度2. 真空度的单位有哪些？A、C、D A . PaB. NC. TorrD. mbar3. 用普通加热工艺镀膜时，烘烤的恒温时间最少要求是多少？A A . 20分钟B. 30分钟 C. 40分钟 D. 50分钟4. 普通IR膜系，哪两个波长段最容易掉坑？A、B A . 400nmB. 500nm C. 600nmD. 900nm5. 用分光光度计检测光谱曲线的中心波长时，镜片放倾斜了，如此测量值与真实值比拟,C A .相等B.偏长C.偏短D.不一定6. 流程卡外表质量20um,是指AA、

2、点子大小B 点子比例 C、点子间隔D、道子宽度7. 穿脱净化服流程A A、手套t浴帽t净化帽t净化服t净化鞋t口罩B浴帽t净化帽t净化服t净化鞋t口罩t手套C手套t口罩D手套T口罩T浴帽T净化帽T净化服T净化鞋8. 在镀膜过程中，石英晶振可以显示以下哪些数值？（ AD ）A、蒸发速率B、蒸发温度 C、真空度D、膜层厚度9. 材料蒸发时，充氧的主要目的有哪些？ ABA、补充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜层吸收B、使每次镀膜时，真空室内的真空状态相接近 C、使蒸发更稳定 D、使控制更准确。10. 镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是ABCDA、使同圈的膜层厚度分布均匀B、使内外排膜层厚

3、度分布均匀C、使同圈温度分布均匀D、使内外排温度分布均匀11. 现在我们生产lr-cut 中心波长650nm平板滤色片，从反射看平板的颜色是 AA、红色B、绿色C、蓝色D、没有规律12. 油扩散泵上面加冷阱，其作用是（A D ）.A.防止扩散油分子回流到真空室B.加快排氣速度 C.防止杂物掉入扩散泵.D、提高膜层附着力13. 为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时根本不和剩余气体分子发生碰撞，故真空室内真 空度要到达10-3Pa以下，以满足（B ）条件A、气体分子平均自由程小于蒸发距离.B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离C、气体分子平均自由程等于蒸发距离。D气体分子平均自由程的平方大于蒸发距离。

4、14. 对镀膜材料进展预熔的目的是A CA、去除材料内部的杂质 B、改变材料的外表形状 C、减少材料的放气 D、提高材料的温度15. 真空镀膜时真空度 X围应在CA、低真空B、中真空C、高真空 D、超高真空16. 电子枪“ FIL "灯变红，故障原因是CA、电子枪高压线路故障 B、真空室底下门没有关好C、电子枪灯丝有问题D、电子枪电流回路故障。17. 提高膜层聚集密度工艺有ADA、提高离子源功率 B、降低温度C、降低真空度 D、提高温度18. 黄色互补色是BA、绿色B、蓝色C、红色D、紫红色19. 增强膜层和镜片附着强度，以下那些因素有关 ABCDA、镜片外表清洁度 B、镜片外表温度

5、 C、真空室内清洁度 D、膜层材料20. 镀650土 10 IR-CUT滤色片，请问镀出在哪个波长X围内合格BA 640660nm B、640655nm C、630-660nm D、635-660nm21. 在可见光光谱中，绿色波长X围是DA 600-570 B、500-450 C、630-600 D、570-50022. RF离子源中和器正常工作时，需要如下哪些气体？（ AC ）冷却时需要什么气体？（ C ）A、氧气（02） B、氮气（N2） C、氩气（Ar） D、氦气（He）23. 镀膜镜片外表产生杂质，以下哪些是可能原因？ ABCDA、材料本身不纯，有杂质B、预熔时没熔透，镀膜时有飞溅

6、C、光斑打到边缘或外边，将其它物质镀到镜片上 D、坩埚盖板太脏，预熔时有膜料残渣掉进坩埚24. 镀膜机抽速慢，以下哪些可能会引起？ ABCDA、各类泵油使用时间太长，已变质B、POLYCOLDT问题C、真空室的清洁不到位 D、机器有漏气25. 真空室内部清扫不干净，可能会导致以下哪些结果？ABCDA、机器抽速慢B、产品外表质量差 C、机器效率降低 D、分光特性不重复26. 如下哪些因素影响内外排的均匀性？（ ABD ）A、电子枪光斑的位置 B、电子枪光斑的形状、大小C、真空度不稳定 D、修正板的形状和上升高度27. 正常情况下，真空室内部清洗干净后，机器的抽气速度将（B ）A、变慢B、变快C、

7、不变D、无法判断。28. 电子枪灯丝变形，可能有以下哪些结果？ ABCDA、电子枪光斑变形，位置打偏B、内外排分布不均匀 C、分光特性不良 D、产生杂质29. 在一样光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率ASiO2电子枪功率A、大于B、小于C、等于D、不知道30. 如下属于镀膜机粗抽阀门符号是 CA、LV B、SLV C、RV D SRV30.1 Torr= ( BC )A、1Pa B、133Pa C、1.33Mbar D、IMbar31. 光驰OTFCt膜机离子源有C片栅极片ABC丨因素有关33. 如果你镀出来一罩产品有的圈产品合格，有的圈产品不合格，与如下A、光斑不在中心位置 B

8、、修正板变形 C、电子枪档板松掉 D、蒸发速率不稳34. 在镀IR-CUT时，镀出产品外表发黑，其原因是 DA、镀膜材料受到污染 B、内外排分布不均匀C、温度没有加D、充氧不够35. 如下那个符号代表高阀CA、FV B 、MBP C、MV36.如下那个符号代表光控AA OPM B 、EB C、MBP37.关门抽真空，般当真空度抽到A 1.5E-3Pa B、5.0E-3Pa C38.目前控制膜厚种类有ACA、光学膜厚仪控制 B、电子枪控制D、DPD 、PFCB时开始自动预熔膜料、2.0E-3Pa D 、5.0E-5PaC、晶振膜厚仪控制 D、电脑控制39. MgF2材料，我们可以采用是哪种蒸发方

9、式：ADA 电子枪蒸发B、钼舟蒸发阻蒸法C、都不是D、离子辅助蒸发40. 正常可升降修正板的镀膜机，假如EB2正在镀膜,EB1,EB2上方的修正板，处于何种状态？(BC )A、EB1上方的修正板升起 B、EB2上方的修正板升起 C、EB1上方的修正板下降 D、EB2 上方的修正板下降41. 莱宝镀膜机在镀膜过程中，需要操作员工关注以下哪些情况?( ABCD )A、蒸发速率稳定情况 B、APC充氧情况C、电子枪光斑位置与大小情况D、光控曲线的走向与形状42. 手动预熔材料时，应注意如下哪些事项？ ABCDA、真空室内达到一定的真空度，开始加电流预熔材料B、光斑不能打到坩埚边上，更不能打到坩埚外边

10、 C、预熔时的最高电流一定要高于蒸发时的电流D、不同材料不同的预熔电流43. 如下哪些部件在机器运行时需要冷却水？（ BCD ）A、电子枪B、扩散泵C、坩埚盘D、晶振头44. 对于AR膜而言，如下哪个波段反射率偏高时，镜片的反射光呈现红色？ DA、40042Onm B 、500530nmC 、58062Onm D、630760nm45. 每台机器安装修正板的目的是（C ）A、调整内外排温度分布 B、调整机器内的真空度分布C、调整内外排膜厚分布 D调整同圈厚度分布46. 如果加热板下方的温度探头移位，比正常时要低许多，结果镜片温度将会：BA、比正常时低 B、比正常时高 C、根本不变D、划破镜片4

11、7. 在蒸镀膜料时，电子枪电流有，但加不高的原因是 ADA、装电子枪灯丝螺丝松了B、电子枪灯丝寿命到期C、灯丝断了 D、高压引线松动48. 镀膜机中EB代表的含义CA、电脑B、扩散泵C、电子枪D、光斑49. 如下B丨符号代表Y方向的光斑大小A、YP B 、YSC 、XPD、EB50. 如下A丨符号代表X方向的光斑位置AXPB、XS C、YP D、EB51. 以下材料折射率最高的是C，折射率最低的是DA、SIO2 B 、AL2O3 C 、TIO2 D 、MGF252. 晶振不好会导致以下哪些结果ACA、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、外表不好D、膜层结实度不好53. 充氧不稳会导致以下哪些

12、结果AA、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、外表不好D、膜层结实度不好54. 光控曲线不好会导致以下哪些结果 AA、整罩分光特性超差 B、均匀性不好C、外表不好D、膜层结实度不好55. 温度不对会导致以下哪些结果ABDA、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、外表不好D、膜层结实度不好56. 真空度不对会导致以下哪些结果 ABDA、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、外表不好D、膜层结实度不好1. 镀膜膜层厚度监控方法有晶控和光控 两种。2. 产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为 0.8% 。3. 目前GENE机的透亮工艺其烘

13、烤温度是250/150/150。4. 目前规定的防污板更换周期为12 罩。更换防污板空镀时要镀铬 。5. 光学厚度=物理厚度 X折射率 。6. 测量真空的器械称为 真空计。一般分为电离规真空计和电阻式真空计两种。7修正板有R记号的是 枪2 填枪1或枪2修正板。8. 烘烤时间在原有根底上加长半小时，中心波长会偏长填偏长或偏短。9. 电子枪的高压是 7千伏。10. 光源灯使用寿命一般为：2000小时。11.1个标准大气压 =1.01*10 + 5 Pa。12. 按照目前工艺要求，镀膜三罩后需更换铝板和 修正板 的铝箔。13. 放片盒上的标示，该标示 跟踪号、产品规格、 材料、圈数、 数量。14.

14、当某罩产品良品数低于 40%判定为报废。15.1Torr 133 Pa ; 1 标准大气压=760Torr ; 1A安=1000 mA毫安；16.10 毫米=1000S丝=10000 卩 m微米=10000000 nm纳米=100000000 ?埃；17. 镀膜时蒸发速率的单位是？ /s ;18. 镀膜机的系统可分为抽真空系统、蒸发系统、膜厚控制系统和辅助系统 四个系统。19. 光是沿直线传播；它是一种频率极高的电磁波；一般可见光X围在400700纳米之间。20. 光学低通滤波器，简称OLPF ,它是使通过数码相机的或数码摄象机镜头后的光滤去其高频 波段，只让一定X围内的低频光波通过频率控制器

15、件， 对于高像素的的 CCD或CMO图象 传感器，为了提高彩色 CCD或 CMO图象传感器有效分辨率和彩色复原性，必须在镜头和CCD或 CMO图象传感器之间加上光学水晶低通滤波器，使图象更清晰和稳定。21. 离子辅助IAD原理：IAD技术是在电子束蒸发的同时用离子束轰击，离子由离子源产生，离子束由栅极引出，电子枪和离子源各自独立工作。膜层在离子的轰击作用下获得能量，使结构得到改善。22. 次品片标示卡要标示的内容有跟踪号、规格、材料、数量、膜系。23. 电子枪的XS指光斑上下大小，XP指光斑上下位置，YS指光斑左右大小,YP指光斑左右24. 莱宝机电子枪的高压是 8千伏。25. 莱宝机陶瓷加热

16、片的 O形触点的方向为 向下填向上或向下。26. 莱宝机在吹水过程中，吹掉的是离子源加热系统、离子源发射系统、Sio2电子枪系统和Tio2电子枪系统这四个局部的冷却水。27. 假设曲线波长变长，那应该把修正叶加宽填加宽或减窄。28. 当某罩产品良品数低于 40%判定为报废。29. 背反式光控镀膜机生产 IR CUT滤色片，每层开镀时，TiO2材料的起始光控曲线方向向上,SiO2材料的光控曲线方向向下。30. 新科隆机SID1350中的离子源，有3片栅极，从上到下依次为 TOP , MID , BOT ;栅极间 总共有12片陶瓷片绝缘.30. 1看到水中筷子是弯曲的，利用光的折射原理2看到镜子里

17、自已像，利用光的反射 原理3光学薄膜利用光的干预原理 .31. 真空可以大致分为四段，分别为 初真空、低真空、高真空、超高真空.32. 在真空的定义 X围内，高真空度 X围是10-1 Pa -10-6 Pa33. 目前我们镀膜机抽真空系统一般由机械泵、罗茨泵、扩散泵组成34. 保持镀膜机开门时间尽可能的短，是为了防止真空室内部的护板吸附空气中的水汽， 使镀膜机的抽速变慢，影响产品的品质。35. 普通加热工艺镀制的薄膜微观结构是柱状结构，为了改善膜层结构，提高聚集密度，分别出现了三种成膜工艺离子辅助镀、反响离子镀、溅射镀36. 镀单层MgF2,目前镀的是500nm晶振厚度显示是 1000A,而现

18、在需要镀 550nm那么输 入晶振厚度约为 1100 A37. 该层晶振厚度是800A，现已镀了 150A，由于某种原因充气而需要加镀，那么加镀晶振厚度是650 A38. 写出镀膜机各控制阀门的中文名称：MV高阀DP扩散泵RV粗抽阀SLV细充气阀FV辅助阀39. 光学玻璃BK7折射率为1.517,如此该玻璃外表单面反射率是4.219% 。40. 石英晶体控制原理主要是利用了石英晶体的两个效应，即压电效应和质量负荷效应。41. 晶振片和镀膜材料应放在枯燥器 中的目的是： 防止在空气中受潮 。42. 机器大清洗后应进展抽真空和加热处理，才能正常生产。1. 扩散泵油被氧化后，仍然可以使用一段时间。X

19、 2. 每次开机前都需要对镀膜机进展全面检查，但换电时例外。 X 3. 对12分积分/年累计大于12分含12分违纪者，公司有权给予解除劳动合同 V 4. 工作时间上网玩游戏，看影视剧，听耳机是可以原谅的 X 5. 上片过程中，有人从球罩边上快速地走过，但没碰到片，不会对产品质量造成影响。X 6. 有急事时，镀膜车间里可以接听手机。X 7. 坩埚挡板装偏了会导致漏料问题。V 8. TQ2的充氧量过多会导致脱膜问题。V 9. 戴手套的手指可以接触产品片的外表。X 10. 曲线要求一样的前后两罩产品片可以混到一起，不会产生不良后果。X 11. 自动关机时不需要考虑真空度就可以直接关机X12. 自动关

20、机时只要把总电源关掉就可以了 X13. 关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源 x14. 手动开机时，打开扩散泵DP加热开关前先需把 MV阀打开，否如此会影响扩散泵抽速X15. 手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却 50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵x16. 在镀膜前先需核对所镀镜片与流程卡是否相符 V17. 添加SI02膜料药勺可以拿来添加氟化镁膜料X18. 镀膜员工可以保管不合格镜片 X19. 不合格镜片非专职人员可以随便拿取X20. 在装韩一电子枪时，装好电子枪灯丝拧紧电子枪灯冒，但拧紧之后又要倒转1/4圈V21. 电子枪光斑X方位置偏移不在中心时，我们只需调节XP V22

21、. 在一样光斑条件下，电子枪镀AL2O3电流跟MGF2电流大小差不多 X23. 镀膜机镀膜完毕，不需要冷却可直接充气X24. 每次更换晶振，除了我们换上新的晶振，还必须把晶振头也清冼干净V25. 滤片主要材料是人造光学水晶X.26. 镀膜机冷却水的水温越低越好X.27. 换过防污板之后不烘烤就可以上片，这样可以节省时间X .28. 倒片时可以不用戴乳胶手套 X .29. 换电之后扩散泵要重新预热50分钟后才能升高阀 X .30. 按作业流程要求在上片之前一定要查看合同评审单，确认是否能上片V丨.31. 镀膜TI3O5其中一层没有充氧，这样对曲线没有影响.（ X ）32. 换电时先关机械泵，再关

22、预阀，后关扩散泵.（ X ）33. 镀膜净化间规定每 3小时记录一次温湿度.（ X ）34. 净化级别是千级的意思是指每立方米空间中含有0.5um的颗粒粉尘小于1000个。（V ）35. “ 6S"是整理Seiri、整顿（Seito）、清扫（Seizo）、清洁（Seimitsu）、素养（Shitsuke） 和安全Safety、这六个词的缩写。（V ）1简述在镀膜过程中产生杂质的原因和对策？答：原因对策1.电子枪周围没有打扫干净用吸尘器、百洁布等清冼电子枪部件 2坩锅没有清冼干净坩锅边缘用百洁布、酒精、纱布清冼干净3镀膜时电子枪光斑不在中间而打到边缘镀膜时必须把电子枪光斑打到中间而不能

23、打偏4预熔材料不透彻把膜料充分地预熔透彻5预熔膜料电流加得太快加电流要缓慢，不要加的太快6.电子枪档板不干净每罩要更换电子枪档板，以与电子枪档板要清冼干净 7.膜料污染防止膜料相互污染，以与保存方法8.膜料本身不纯更换其它品种膜料2从操作角度来看，如何操作和保养才能让一台镀膜机的膜系稳定？答：此题是员工自由发挥题目，没有明确答案，可以从以下三个方面考虑：1、如何按照作业指导书进展操作？ 2、如何维护设备日常保养？ 3、在镀膜时出现问题时， 怎样去解决这些 问题？3. 简述一下镀金属膜须知事项？答：高的真空度 、低基板温度、快蒸4. 在使用扩散泵应注意那些事项？答：1、冷却水不足，必须关闭扩散泵

24、，否如此轻如此会造成返油，重如此会使扩散泵过热造成扩散泵油烧焦。机器假如有自动保护装置，会自动停止扩散泵加热，并报警2、扩散泵必须在低真空阀关闭， 预抽阀开启，且系统真空高于真空室真空时才能打开， 否如此会 造成真空室返油5. 为什么要在高真空下镀膜？答：1、真空状态下，膜料的熔点温度和蒸发温度要比在大气状态下低得多。对高熔点的氧化物膜料，在真空状态下其熔点要低得多。也就容易到蒸发温度而不需太高的能量。2、真空状态下，真空室中空气极少，膜料分子从蒸发源到达基片外表的路程中几乎不与残留在真 空室中的气体分子碰撞，即分子自由程长。膜料容易沉积在基片上。3、由于真空室中气体分子少，因而氧分子、硫分子

25、等化学活泼分子也少，高温状态的膜料分子就不会与之发生化学变化，从而保证膜层的膜料纯度。6. 晶振水堵塞后你怎么进展疏通 ？答：把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开，并把阀门关上，用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气，看出口处是否有异物流出？7. 镀膜机在自动镀膜时发生报警，而作为一名操作员工应如何处理报警？答：首先按报警暂停按纽， 查看报警内容，看自已是否知道？能否自已解决？如不能自已解决，查看作业指导书是否有，如没有向组长汇报，由组长再向技术人员询问如何解决，直到报警内容消除后才能按继续镀膜的键。8作为一名交班者，你个人认为应该让接班者清楚哪些事情，同时作为一个接班者你个人认为应该从前一班中清

26、楚哪些事情？答：此题是员工发挥题，可以从以下几个方面答题1、本班在上班时，生产那些产品，以与用的什么膜系来镀膜的？2、在本班期间出现了那些问题，用什么方法来解决的？以与要注意那些问题，这些都要交给下个班，也需要下个班来询问这些问题。3、上个班有那些试制需要下个班来完成，把被交待情况详细交给下过班。9. 简述一下镀膜机的开机与关机过程。答：开机 冷却水和压缩空气检查 开稳压电源 开机器总电源 加热扩散泵 开电子枪电源 打 开光控电源 开记录仪开关 开晶振开关 打开电脑关机：打扫机器 抽真空 关扩散泵 关电子 枪电源 关光控电源 关记录仪开关 关晶振开关 关电脑 关总电源10. 在镀膜之前为什么要

27、预熔材料？答：在镀膜之前要把材料预熔透彻，主要是为了材料进展放气，消除材料中其它成份，保持镀膜不产生飞溅和保持真空度稳定。11. 在镀膜上伞镜片之前，我们应注意和确认那些项目？答：1流程卡与镀膜片相符 2可否同罩3是否是被镀膜面4膜料与程序里的坩埚号是否对 应5档板的平稳，有无松动6晶片的寿命与活性值。7电子枪寿命与有无异物 8光控片是 否够用12. 离子源使用完毕后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？答：主要目的是快速冷却，由于氩气是不活泼性气体，很难与离子源部件发生氧化。13. 机器在开镀之前我们进展恒温的目的是什么？答、使机器内所要镀制的镜片温度均匀。14. 机器镀膜完毕，没

28、有直接充入大气，而是先冷却，冷却的目的是什么？答：其目的是保持镜片温度缓慢降低，防止镜片温度突然下降，导致镜片炸裂。15. 如何用简单的方法检验刚换好的氧气或氩气瓶各联结处是否漏气？答：1、先打开瓶阀，在一个小塑料盒子盛入一些洗衣粉或洗涤精和水，搅拌成泡沫，用纱布把这些泡沫攒到各个联结处，看是否有小汽泡冒出，如有说明该联结处有漏气。2、先打开瓶阀，之后再关掉，看各表指针读数是否变化。16. 如果晶振速率突然不稳你该怎么处理？答：如果是晶振控制的可以按照不稳时间和电流估计出实际所蒸镀的厚度，之后换一片晶振加镀；如果是光控控制的可以以光控为准换一片晶振继续蒸镀。17作为一名镀膜员工，为了把工作做得

29、更好，你想学习镀膜工艺技术中哪些方面的知识？18. 请列举一下，你认为镀膜员工容易出现的错误有哪些？有什么好的预防和补救措施？19. 扩散泵的结构如如下图所示，请标示出个局部名称，并说明其作用。1 冷阱：帮助油蒸汽冷却回流，防止油分子进入到真空腔室内2泵体冷却水管：帮助油蒸汽冷却回流，冷却泵体，3三级喷嘴：通过喷嘴， 让高速向上的油蒸汽转变方向，形成向下的蒸汽流 带动水分子向下流动达到抽取真空的目的。4挡油板：防止油蒸汽被抽走，有冷却油蒸汽的作用，让抽到此处的油蒸汽回流。5加热电炉丝：给扩散泵油加温，使之能达到较高的温度。获得高速向上的油蒸汽。20. 写出镀膜过程应注意哪些参数变化？答：镀膜过

30、程中应注意真空度是否稳定、光量走值是否平滑无波动、蒸发速率稳定在设定X围内、电子枪能量是否稳定、离子源的各参数变化。21. 写出更换防污板和上下片过程中的须知事项。答：更换防污板时要注意：当前罩数镀制到后几层时，由操作人员或副操作到辅助房要求准备防污板，把准备好的防污板用酒精擦拭干净，清点数量是否有少拿或多拿的现象。等待镀完。镀完后开始更换防污板，换板过程中要注意拆卸时由外到里、由下至上，安装时由里到外、由上至下的顺序。这样可以减少动作的重复和减少灰尘的残留。换完污板后要检查各污板是否安装到位、是否有螺丝松动、是否有错装或漏装等现象。防止因此导致的生产事 故。上下片须知事项：当机器镀制完最后一

31、层后，准备该罩需更换的各部件比如灯丝、光控片、晶振片、视窗玻璃等。准备下一罩产品，与时获得将镀制产品的信息。将下片推车准备好等待开箱。 打开箱门后，将推车摇至所需高度注意一定要升降到位，防止撞到机 器内部各部件，将装片球罩卸下，开始清洁机器内部卫生和将产品取出注意由于刚下片 时温度较高，所以要戴上手套等防止烫伤。还要与时测试产品的曲线变化。清洁完毕，检查各部件是否安装更换到位。然后开始上片上片前应确认该产品生产批号与规格要求是否 与上罩相符，如异常应与时通知当班值机人员做好调整准备。上片过程中应注意轻拿轻放，注意人员走动，注意不应有幅度过大的行为动作。将产品放入机器后再次确认机器设备的状态，确

32、认无误后关箱开始抽真空。22. 请写出镀膜机从关箱到获得高真空状态的抽真空作业流程，要求写明步骤和须知事项，可用流程图表示。假设机器准备工作都已经完成8分答：自动状态 按下“真空室抽气'键一一预阀关闭一一微量抽气阀打开一一低阀打开一一 微量抽气阀关闭一一等待抽至低真空状态一一关闭低阀一一打开预阀一一打开高阀一一获 得较高真空手动状态 按下“机械泵RP "此过程罗茨泵MBP等待30秒一一按下罗茨泵MBP 关闭预阀FV此过程必须在开启低阀前完成，否如此会导致返油现象一一按下微量抽气阀SRV 按下低阀RV一一关闭微量抽气阀SRV等待真空度达到所需真空如 6.0*10-1PA一一关闭

33、低阀RV 打开预阀FV一一打开高阀MV获得所需的高真 空。在整个抽真空过程中，切记勿错误操作，必须按照此流程进展作业。23. 请简述镀膜光弛机开、关机作业指导书。答：开机1、 开机前确认：开机前先确认冷却水压力0.2MPA和温度V 25C、压缩空气压力 0.5MPA、电压200V± 15%是否正常，正常后打开机器总电源开关；然后再依次打开电子枪控制柜电源和 POLY COLD勺电源。2、 打开机器总电源后再按下主操作面板上的主电源按钮，然后在触摸屏上按下“泵启动/ 停止按钮，启动模式切换为手动模式； 再按下“泵抽气按钮。启动后，约90分钟后“泵 加热'按钮灯自动点亮。完成泵的

34、准备工作。关机1、自动关机：检查确认真空室内无其他非使用物品，关闭真空室门，在泵“启动/停止界面下的泵启动模式内按下“自动停止"按钮， 显示确认画面，按“是"按钮后装置进入排气状态，排气完成后，约 1.5小时FV、MBP RP自动关闭，约2小时后装置停止，之冷却阀关 闭。2、手动关机：手动关机可不对真空室排气，在“抽气界面内的抽气模式下按下“手动按钮，然后按下“ DP ,过1.5小时以后依次按下“ FV MBP，间隔30秒再按下“ RP , 然后再按下猪操作面板上的主电源 “关按钮，在关闭机器控制柜总电源开关， 手动关机完 成。24. 请简述光弛机晶振片换装作业要点。答：1

35、、拆卸 左手托住防污盖板，右手拧下固定螺丝取下防污板；用左手手指托住晶振绝 热铜罩，右手用内六角或一字螺丝刀拧松两边固定螺丝，将其取下。注意：为防止烫伤，拆卸防污罩时请带上隔热手套；拧螺丝时注意使用力度，防止拧滑螺丝内六角扳手插到螺13 / 16丝的底部用左手手指托住晶振传感器托盘， 右手用内六角扳手拧松中央的六角螺丝， 卸下晶振传感器 托盘；用十字螺丝刀拆下托盘后面的 3个螺丝，别离托盘的上下局部， 将上局部弹簧朝上放 置在桌面上。翻转托盘下半局部，将旧晶振片倒在白纸或绸布上面，然后再放回晶振盒中。注意：别离晶振传感器时，注意上半局部的镀金弹簧片不能弄站脏、变形，更不可断裂；保证每一个弹簧的

36、三个脚的高度和弯曲度60度都相等；放置时应将镀金弹簧片朝上平放在工作台上，严禁反放。取出晶振片时要小心，不可使其滑动或掉落，使之划伤或破裂2、清洁 清洁掉托盘底部的绝热铜罩测定部开孔处周围的膜料等污物，把清洁干净后的部件放到无水酒精中浸泡，然后拿出用干净绸布擦拭干净，自然枯燥。注意：清洁工作有辅助房完成，采用氟化氢氨浸泡，各部件每次更换防污板时更换，在氟化氢氨溶液中浸泡20分钟后用百洁布去除掉残留的脏物。3、 组装晶振传感器托盘小心将六片新的晶振片放进晶振传感器托盘下半局部的晶振底座内，轻轻盖上托盘上半局部，将托盘上半局部的六个弹簧片各个对准底座内的每一个晶振片， 上下螺丝孔对齐，然后用左手手

37、指轻轻压下，右手用十字螺丝刀拧上固定托盘上下局部的三 颗镀金螺丝，组装好晶振传感器托盘。注意：放如新的晶振片时要特别小心，可把晶振盒口对准晶振底座的晶振片槽轻轻倒进晶振片，也可用竹夹夹住晶振片边缘把其放进晶振底座内。晶振片不可放反，上下外表更不能划伤、受污。螺丝不能拧得过紧，防止拧滑拧坏4、安装 用手轻拿晶振传感器托盘的边缘，把其装回机器内，调整位置使托盘中轴上的缺口卡住挡块后拧紧托盘中央的固定螺丝，然后装上绝热铜罩， 稍微拧紧其两边的固定螺丝，装上防污盖板。注意：晶振传感器托盘中央的固定螺丝和绝热铜罩两边的固定螺丝稍 微拧紧即可，防止螺丝拧滑，严禁过度用力。装好后晶振片应全部暴露在绝热铜罩开孔X围内，否如此要拆下绝热铜罩重新调整晶振传感器托盘5、检测 启动ACS系统后，点击主操作画面“水晶传感检测"按钮进入检测画面，选择检 查X围1-6丨后点击“检查开始"。开始检测，检测完毕后，好的晶振片呈白色，不好的 呈黄色。另外满载检测过程中没检测的显示灰色。检测完成后点击“完成'退出检测画面回到主菜单。注意：检测完成后要记录检测结果，记录不良晶振片的编号，在使用时跳过不 用，防止镀