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第一节第一节 磁敏传感器磁敏传感器 磁敏传感器是基于磁电转换的传感器,主要原理有霍尔效应和磁阻效应。一、霍尔式传感器一、霍尔式传感器 (一)霍尔效应将一载流导体置于磁场中,磁场方向与电流方向正交,则在与两者垂直的方向上产生横向电势霍尔电势,这一现象称为霍尔效应。 对于N型半导体材料,载流子为电子。在如图的磁场下,受到洛仑兹力作用(方向如图),有:同时,电场作用于电子的电场力为:当二力平衡时,达到动态平衡,有又因为, ;所以, 其中,n为单位体积中的载流子数。 LfevBHEHUfeEebHUvBbInevbd /HUIB ned (二)霍尔系数与灵敏度霍尔系数:再由 可得: 由于电子的迁移率大于空穴,所以,霍尔元件多采用N型半导体材料。 2. 灵敏度:金属不宜做霍尔元件;电子密度高, 和 小。材料电阻率 高、迁移率 大,则霍尔效应强。1. 减小,灵敏度高;但不能过小,否则使元件输出电阻增加。1HRne/HHKRd HHUKIB1neHRHKHRd(三)材料及测量电路 常用测量有:N型的锗(Ge)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)。 符号及测量电路:
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