防静电定期检测示范

1、* *防静电定期检测规范* *5、作业程序5.1 测试方法：5.1.1 测试环境：环境温度23 ±5 C ,相对湿度40%70%。5.1.2 测试仪器使用方法5.1.2.1 静电场测试仪（TREK520）静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键："POWER"、“RANGE/ZERO ”、“HOLD"，按“POWER”键开机/关机。该仪器有两个量程：02KV、020KV, 可通过按“RANGE/ZERO ”键进行切换。当显示3位小数时，量程范围为02KV ; 当显示2位小数时，量程范围为020KV。每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将 sens

2、or对准一个已知的电 压为0V的导体上，按“ RANGE/ZERO ”键至少3秒钟。为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每 分钟120次的速度，施加适当的压力（24千克力），单向摩擦待测物表面20 次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯 重合在一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“ .018”, 则实际电压为18V。5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385 ）ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不

3、变， 测试时将被测 物放于绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（24KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读数。如果被测材料为软性材料，可施加 46kg的压力进行测试5.1.2.3 接地电阻测试仪(EMI-20780 )EMI-20780 可以测试点对点电阻（RTT）,接地电阻（RTG）、体积电阻，和表面 电阻率，配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为：1x 103?-1012?;测试电压为：10V或100V+/-5% ;测试精度为：+/-10%；测试时间为15 秒；测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“ A”插口，注意白色

4、连接线和 黑色连接线的插头不同，不要插错.然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极； 按下“D”测试按键15秒，这时LCD屏幕按顺序显示如下： 华氏温度 摄氏温度 相对湿度 电阻值 所采用的测试电压电阻测试结果由“ B”显示屏和“C”冥数LED指示灯共同显示，例如电阻值为175 ,1.75显示在“B”显示屏上，同时“C”LED指示灯的8会亮，表示测试结果为：1.75 x108QO如果LCD显示屏显示“ 1 :,说明超过该仪器测试范围。测试电压为10V或100V,按下“ F”键，采用10V电压测试，如果不按下“ F”键，仪 器会根据不同测试材料自动选择测试电压.阻值在105 Q以下时采用10V测试

5、电压，阻 值在106。以上时采用100V测试电压5.1.2.4 人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）测试步骤：1 .员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正确。左右两 脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。2 .扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提示“请您按下测试键”。 手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）开始测试， 3秒后仪器将测试完 毕。3 .如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的 LCD面板显示“通过”，如果 测试不合格，仪器”嘟嘟嘟嘟”短响8声，同时仪器的LCD面板显

6、示“不通过”。不通 过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即到IPQA处更换。4 . IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。000 , 000 Q,显示如下:* *5.1.2.5 接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）1 .沿被测接地极E'使电位探棒P'和电流探棒C'依直线彼此相距20米，且电位 探棒P'系在E'和C'之间。2 .E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。3 .将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。4 .将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指

7、针指“ 0”。5 .当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。6 .当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确 读数。7 .当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个印的联结片打开，分别用导线联接到 被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。8 .当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度 过低时，可沿探棒注水使其湿润。5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A）1、打开测试仪（718）电源，将测试

8、仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属 端相连接，同时按下静电产生仪“ +”按钮和测试仪“ HOLD”键，测试仪显静电值应大 于 “+1000V ” 。2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显 示值应大于-40V小于+40V。3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属 端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“ HOLD”键，测试仪显静电值应小 于 “-1000V ” 。4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示 值应大于-40V小于+40V。5、

9、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。注意：要求平衡电压为-400平衡电压040V5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800 ）:测试时，开关旋转至“ 1801 FALL”档，SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“ 1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格5.2测试项目5.2.1 静电接地极电阻测试每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Q,将测试结果记录在ESD点检记录表格 中。5.2.2 设备、仪器接地电阻测试每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接

10、地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在ESD点检记录表格中。1 .设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10QO测试频率：每月。2 .电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗 要小于10 Q。测试频率：每天。5.2.3 静电接地线接地电阻：每半年ESD专员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端 插在电源地线孔里。要求电阻值小于10 Q。测试结果记录在ESD点检记录表格 中。5.2.4 防静电工服PET程师或指定人员，每季度对员工的工衣

11、用 EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1X105?WRs< 1 X109?（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚 对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在ESD点检记录表格中。 如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。5.2.5 防静电工作台ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在 1 X1051 X 109欧姆和接地电阻在1X1061 X109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结 果平均值记录在ESD点检记录表格中。

12、5.2.6 地板由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在 1*10 51*10 9?之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立 区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距 离为0.6米1米，测试结果记录在ESD点检记录表格中。同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在 1*10 5-1*10 9。之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端 插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在ESD点检记录表 格中。5.2.7 物流器具（如：周转箱、周

13、转车、货架）5.2.7.1 由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于100V,周转箱表面电阻：1X103?- 1X109?,每次每种器具抽检，每1 条线抽检10Pcs ,如果有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在ESD点检记录表 格中。5.2.7.2由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，货 架表面电阻小于1X109?,接地电阻在1X103?-1 X109?之间。测试结果记录在ESD点检记录表格中。1.1.8 腕带、工鞋性能检测操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门人员进

14、行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需 立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。腕带系统电阻：800K Q10M Q;工鞋系统电阻：100KQ-35M Q。1.1.9 静电场检测由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一次测试，并将测试结果记录在ESD点检记录表格中。测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/-100 V1.1.10 离子风机测试由ESD专员负责每季度使用3M

15、-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在ESD点检记录表格中测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方 30厘米；合格标准：1000V降到100V的消电时间 小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试1.1.11 防静电工作椅子由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在1 X105-1 X109欧姆之间，。将测试结果平均值记录在ESD点检记录表格中。1.1.12 传送带测试由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在 1X105-1 X

16、109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在ESD点检记 录表格中。1.1.13 手腕监视器测试由ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合 格立即更换5.3 防静电包装材料的测试5.3.1 认证测试：首先要求供应商送样给 PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经 PE验证合格后方可采购。防静电性能测试环境要求：温度23 ±5C，湿度15 +5%测试项目材料表面电阻摩擦电压屏蔽泄漏电压高温环境模拟测试ESD标志PE®VVVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有机保护屏VVV缓冲材料VV屏敝

17、袋VVVVV防静电胶带VVVV防静电防尘布VV打为必测项目高温测试：在温度为60C,湿度为15%的干燥箱内烘烤12天或在温度为70 C,湿度为15%的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试5.3.2 接收测试品管部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。不定期全检。检验要求如下：防静电性能测试环境要求：温度23 ±5C,湿度4070%测试项目材料表面电阻摩擦电压屏敝泄漏电压高温环境模拟测试ESD标志PE®VVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有机保护屏VVO缓冲材料VVO防静电胶带VVVV屏敝袋VVVV防静电防尘布VV* *5.3.

18、3 点检测试由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。要求表面电阻在 1X104-1 X1011欧姆之间，摩擦电压小于100V。每条线测试5Pcs,若有3Pcs不合格则整条线全检并更换相应物料。以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQA发现将没收,找替代品或者做防静电加工。5.4 各类防静电物品、设施检测指标测试项目摩擦电压表面电阻系统电阻防静电工服、工帽1 X105?WRs< 1X109?工鞋1 X105?< Rs<10.1 X106?<X109?R<3.5 X107?腕带内面V 1 X1

19、05 Q0.8 X106?<外面1 X107 QR<3.5 X107?防静电地板0.1 X106?WRs<0.1 X106?wr< 11 X109?X109?工作台1 X106?WRs< 10.75 X106?WR<X109?1 X109?周转箱、周转<100V1 X103?W Rs< 1盒、托盘、料盒、防静电刷X109?子、防静电镣子、防静电推车传送带1 X106?w Rs< 1X109?防静电工作椅1 X105?<Rs<1 X109?1 X106? < R<1 X10 9?PEt<100V1 X104?W

20、Rs< 1X1011?吸塑盒<100V1 X104?< Rs< 1X1011?汽珠袋、泡棉<100V1 X104?< Rs< 1X1011?缓冲材料<100V1 X104?WRs<1X1011?屏蔽型防静电袋<100V1 X104?< Rs< 1X1011?防静电胶带<100V1 X104?< Rs< 1X1011?防静电有机玻璃板<100V1 X104?< Rs< 1X1011?* *防静电防尘布、手套、指套<100V1 X104?W RS< 1X1011?注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，要求小于100V