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文档简介

无尘室用材料23表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準US Federal Standard 209E） 45圖8.1空氣淨化系統 6789圖8.2HEPA過濾器的概略圖 1011圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率 12圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 13圖8.5粒子捕集的方法 14圖8.6空氣過濾器之捕集效率 1516圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 17(續)圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 18圖8.8真空泵的分類 19圖8.9擴散泵 20圖8.10路茲泵的概路圖 21圖8.11路茲泵的抽氣原理 22圖8.12渦輪分子泵 23圖8.13冷凍式幫浦 24圖8.14氣體的平衡蒸氣壓 25圖8.15空氣壓縮機的概略圖 262728圖8.16空氣乾燥機的概略圖 2930圖8.17安全輸送系統 31圖8.18(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應 32圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理 333435363738

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