cf 彩色滤光片的研究开发和生产

1、1彩色滤光片的研究开发和生产彩色滤光片的研究开发和生产SHENZHEN LAIBAO HI-TECH CO., LTD.2彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片彩色滤光片显示器显示器彩色手机笔记本电脑电子字典可视电话PDA监控面板游戏机3 偏光片偏光片 彩色滤光片彩色滤光片 定向层定向层 液晶液晶 ITO透明电极透明电极 偏光片偏光片 背光源背光源彩色滤光片在彩色彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用显示器中的应用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃4 偏光片偏光片 彩色滤光片彩色滤光片 定向层定向层 液晶液晶 TFT ITO透明电极透明电极 偏光片偏光片 背光源背光源彩色滤光片在彩

2、色滤光片在TFT显示器中的应用显示器中的应用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃5深圳莱宝深圳莱宝CF生产线生产线 2002年5月设备到厂，开始安装调试 2002年9月投入试生产 月生产能力：3万片 填补了国内彩色滤光片生产的空白6CF 的研究开发和生产的研究开发和生产 前言前言一、彩色滤光片的构成一、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片生产线简介二、彩色滤光片生产线简介三、试验和研究开发工作三、试验和研究开发工作四、彩色滤光片的品质性能四、彩色滤光片的品质性能五、彩色滤光片设计要点五、彩色滤光片设计要点7CF 的研究开发和生产的研究开发和生产一、一、CF 的构成的构成 透过型透过型-TRANSMISS

3、IVE TYPE 反射型反射型-TRANSFLECTIVE TYPE （REFLECTIVE TYPE）8透过型透过型 CF 的构造的构造 红红 色色 光光 绿绿 色色 光光 蓝蓝 色色 光光 透明导电膜透明导电膜 保护膜保护膜 红绿蓝膜红绿蓝膜 黑矩阵膜黑矩阵膜 SiO2 膜膜 白白 色色 光光 白白 色色 光光 白白 色色 光光玻玻 璃璃 基基 板板9反射型反射型 CF 的构造的构造 红红 色色 光光 绿绿 色色 光光 蓝蓝 色色 光光 透明导电膜透明导电膜 保护膜保护膜 红绿蓝膜红绿蓝膜 黑矩阵膜黑矩阵膜 反射膜反射膜 开口开口 白白 色色 光光 白白 色色 光光 白白 色色 光光玻玻

4、璃璃 基基 板板10CF 的研究开发和生产的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介二、彩色滤光片生产线简介 1、CF 制做方法制做方法 2、CF 生产流程生产流程11彩色滤光片制做方法彩色滤光片制做方法电着法 印刷法 光刻型 非光刻型 喷墨法 颜料分散法 彩胶法12颜料分散型光刻胶颜料分散型光刻胶CF的制做的制做 光刻胶 滴胶 玻璃 旋转涂胶 紫外线 铬掩膜板 图形曝光 图形显像13CF 生产流程生产流程 1000 级净化级净化 O/C 线线 B 线线 G 线线 R 线线 BK 线线 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝

5、曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗 后烘烤后烘烤 现现 像像 曝曝 光光 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗 后烘烤后烘烤 预烘烤预烘烤 旋转涂胶旋转涂胶 清清 洗洗14CF 的研究开发和生产的研究开发和生产三、试验和研究开发工作三、试验和研究开发工作 1、工艺试验与结果、工艺试验与结果 2、研发工作、研发工作15BK 膜特性膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点：生产流程简单 成本低 反射率低 污染小膜厚0.81.5m时，其OD值为1.83.5以上最小宽度：10 m16BM 膜厚膜

6、厚 - OD值值1.522.533.5412BK 膜厚( u m)OD 值高O D值 胶普通B K 胶17BK 膜的样式膜的样式 BM BS BL (Black matrix) (Black Stripe) (Black Less)18R、G、B 膜的特性膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性：色度（透过型和反射型） 透光率 膜厚 尺寸精度19膜厚膜厚 - 色度色度 0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 x20膜厚膜厚 - 后烘烤后烘烤60708090100012345后烘烤次数膜减率( % )BK 膜

7、R 膜G 膜B 膜O/C 膜521膜厚膜厚-转速转速0.60.811.21.41.6450500550600650700转速 ( rpm)膜厚 ( um)22膜厚均匀性膜厚均匀性1230.00.20.40.60.81.01.2膜厚 （um ）位置 膜厚偏差：1.83%23曝光能量曝光能量-线宽线宽697071727374100200300400500600曝光能量（m J / c m 2)线宽（u m ）MASK 线宽：70um24现像时间、温度现像时间、温度-线宽线宽70717273747530405060现像时间（S ）线宽（u m ）3525MASK线宽：70um25图形对位控制图形对位

8、控制一、MASK 的制做精度和套合精度二、采用先进的图象处理和对位技术，提高对位精度三、研究设计了曝光机精密温控装置，稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度26O/C 膜层膜层一、材料：丙烯系树脂二、膜厚：12um三、功能 1、保护RGB色层 2、表面平坦化 微观波纹度：无O/C层，0.8600.1225um 有O/C层，0.6770.963um27ITO 膜层膜层 镀膜工艺：RF+DC 镀膜温度：小于230 电 阻 率：1.8x10-4.cm 面 电 阻：7-15 透 过 率：大于80%28ITO膜电阻率膜电阻率-RF功率分量功率分量1.522.533.501020304050RF功

9、率分量（% ）RF功率分量（% ）ITO膜电阻率（1 0 - 4 .cm）ITO膜电阻率（1 0 - 4 .cm）29CF 的研究开发和生产的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能四、彩色滤光片的品质性能 彩色滤光片产品主要性能指标彩色滤光片产品主要性能指标 30彩色滤光片产品主要性能指标（一）彩色滤光片产品主要性能指标（一）项项 目目性能指标性能指标1.基片 材料钠钙玻璃，抛光，镀SiO2膜长度300、400、420mm，14、16”宽度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al 膜厚1000反射率90%开口精度 3m31彩色滤光片产品主要性能指标（二

10、）彩色滤光片产品主要性能指标（二）项项 目目性能指标性能指标3.BM 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0mOD值1.7（ 3.0）图形精度 3m4.RGB 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0m图形精度 3m32彩色滤光片产品主要性能指标（三）彩色滤光片产品主要性能指标（三）项项 目目性能指标性能指标5.O/C 材料丙烯系树脂膜厚1.4m透过率80% (550nm)像素间高度差 0.15m6.ITO 膜厚2000电阻Rs10 透过率80% (550nm)33彩色滤光片产品主要性能指标（四）彩色滤光片产品主要性能指标（四）34彩色滤光片产品主要性能指标（五）彩色滤光片产品主要性能指标（五）项项 目目性能指标性能指标8.可靠性 温度稳定性250, 1小时1.无膨胀、无开裂、 无损伤 2. 透过率变化率 10% 3. E*ab5 耐化学性能 5% NaOH, 50, 20分钟NMP, 25, 30分钟丙酮，25,30分钟O/C 附着性3M, No. 610 胶带无损伤ITO稳定性250, 1小时电阻变化率10%35CF 的研究开发和生产的研究开发和生产五、彩色滤光片设计要点五、彩色滤光片设计要点 1、客户提出的