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1、太阳能电池工艺培训目 录一、引言二、太阳电池的结构三、太阳电池片的生产工艺流程人类社会面临的能源现状人类社会面临的能源现状v一次能源的面临枯竭；社会开展对能源需求的v增加，加剧全球能源紧张。v环境恶化的压力和减排CO2的需要，促进了可再v生能源的利用。光伏技术是最直接和有效的途径v和方法。一、引言一、引言太阳能电池发电的优点太阳能电池发电的优点v太阳能发电无污染、平安、寿命长、维护简单、资源永不枯竭等特点，使得太阳能产业自20世纪80年代以来得到了迅速开展。全球光伏电池的生产持续高速增长，每年以30-40%的速度递增。 一、引言一、引言太阳能电池的市场太阳能电池的市场v太阳能电池供不应求，形成

2、了目前太阳能行业在世界范围内特有的“卖方市场格局。庞大的市场需求量强烈刺激着国际、国内太阳能产业的开展。一、引言一、引言太阳能电池的应用范围太阳能电池的应用范围v上世纪50年代太阳能电池的出现为太阳能利用带来了质的飞跃，从卫星、飞船，到高山、海岛，以及偏远的山村、牧场、沙漠，到建筑物的屋顶，光伏电池板将阳光转化为电流，以满足照明、电子仪器和动力用电等多种需要。从制造出第一块太阳能电池以来，太阳能光电应用已从简单的照明，开展到航天、通讯、石油、交通、电力和国防等领域。一、引言一、引言相关的政策相关的政策v欧洲、美国、日本都制订了强有力的扶持太阳能开展的政策，使得光伏市场得到了快速开展。v2005

3、年3月我国正式公布了?中华人民共和国可再生能源法?，2006年开始实施。一、引言一、引言一、引言一、引言太阳电池的历史太阳电池的历史v1839年法国实验物理学家 Edmund Bacquerel贝克勒v尔发现了光生伏特效应v1941年奥尔在硅上发现了光伏效应v1954年Chaipin恰宾和Carlson (卡尔松)等人在贝尔v实验室制成了光电转换效率达6%的世界上第一块实用的v硅太阳电池，标志着太阳电池研制工作的重大进展v1959年第一个光电转换效率为5的多晶硅太阳电池问v世v1960年硅太阳电池发电首次并入常规电网v1975年，美国科学家制作出非晶硅太阳电池v 80年代初，太阳电池开始规模化

4、生产一、引言一、引言 太阳电池按材料分类太阳电池按材料分类v太阳电池太阳电池将太阳光能直接转换为电能的半将太阳光能直接转换为电能的半导体器件导体器件 种类 硅太阳电池 1) 硅太阳电池 1) 单晶硅电池 2) 化合物太阳电池 2) 多晶硅电池 3) 染料敏化电池 3) 非晶硅薄膜电池 4) 硒光电池 4) 多晶硅薄膜电池一、引言一、引言单晶与多晶硅片单晶与多晶硅片v单晶和多晶硅片的生产工艺不一，多晶是正方的，单晶硅片的四个角是有弧度的,准方片v对于成品电池更好区分：v 单晶电池外表状态均一，而多晶外表有花纹。v 尺寸: 103x103, 125x125,150 x150, 156x156二、太

5、阳电池的结构与工作过程二、太阳电池的结构与工作过程二、太阳电池的结构与工作过程二、太阳电池的结构与工作过程单晶与多晶硅片单晶与多晶硅片单晶硅片单晶硅片多晶硅片多晶硅片正电极铝背场负电极主栅线负电极子栅线二、太阳电池的结构与工作过程二、太阳电池的结构与工作过程多晶电池片多晶电池片 太阳电池的工作过程太阳电池的工作过程 光生伏特效应光生伏特效应吸收光子，产生电子空穴对电子空穴对被内建电场别离，在PN结两端产生电势将PN结用导线连接，形成电流 在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换二、太阳电池的结构与工作过程二、太阳电池的结构与工作过程太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程测

6、试分选制绒去磷硅玻璃烧结印刷电极PECVD等离子刻蚀组件扩散三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程1-制绒制绒v1.单晶：制绒：NaOH、Na2SiO3、IPA(异丙醇)清洗：HCl、HFv2.多晶：制绒： HNO3 、 HF清洗： HCl、HFv制绒的作用：减少光的反射三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程制绒的原理制绒的原理2322H2SiONaOHNaOH2SivIPA：消泡剂vNa2SiO3：控制反响速度vHCl：氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、Ag +、Cu +、 Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶

7、于水的络合物，到达去除硅片外表的金属离子的作用。vHF：去除硅片外表的硅酸钠和氧化物OHNOSiFHHFHNOSi22623OH2SiFHHF6SiO2622三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程单晶硅绒面400倍三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程多晶硅绒面400倍三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程2-扩散扩散在P型半导体外表掺杂五价元素磷在硅片外表形成P-N结P型半导体硅v扩散的目的：形成P-N结三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程扩散装置示意图扩散装置示意图三、

8、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程扩散原理扩散原理vPOCl3在高温下600分解生成五氯化磷PCl5和五氧化二磷P2O5，有充足的氧气时，其反响式如下：25223ClOPC600OPOClv生成的P2O5在扩散温度下与硅反响，生成二氧化硅SiO2和磷原子，其反响式如下：4P5SiO5SiO2P252三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程3-等离子体刻蚀等离子体刻蚀v 目的：去除边缘PN结，防止上下短路磷硅玻璃磷硅玻璃P型硅N型硅N型硅三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程v首先，母体分子CF4在高

9、能量的电子的碰撞作用v下分解成多种中性基团或离子。v其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下v到达SiO2外表，并在外表上发生化学反响。v生产过程中，在中CF4掺入O2，这样有利于提高vSi和SiO2的刻蚀速率。它们的离子以及CF,CF,CF,CFCF23e4三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程4-去磷硅玻璃去磷硅玻璃v用HF酸把上下外表的磷硅玻璃去除P型硅N型硅N型硅三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程v扩散过程中在硅片外表形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。 什么是磷硅玻璃？什么是磷硅玻璃？三、三、

10、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程v氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四氟化硅气体。v假设氢氟酸过量，反响生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反响生成可溶性的络和物六氟硅酸。v总反响式为：O2HSiF4HFSiO242SiFH2HFSiF624O2HSiFH6HFSiO2622磷硅玻璃的去除磷硅玻璃的去除三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程v PECVDv=Plasma Enhanced Chemical Vapor Depositionv 即“等离子增强化学气相沉积。它是借助微波使气体硅烷，氨气电离，而在硅片上沉积薄膜氮化硅的一

11、种方法。太阳电池制造过程太阳电池制造过程5-PECVD三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程PECVD的作用的作用v 在太阳电池外表沉积深蓝色减反膜SiNxHy膜。其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、阻挡金属和水蒸汽扩散的能力；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其它酸与它根本不起作用。 三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程PECVD的反响过程24335034H12Ni43SNHSiH等离子体HSiHSiSSiH6HiH332233504等离子体HNNNH3HH2223503等离子体三、三、太阳能电池片的生产工

12、艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程6-背电极印刷背电极印刷v 在太阳电池反面丝网印刷印上引出电极v 使用浆料是银铝浆背电极三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程7-7-背电场印刷背电场印刷v在太阳电池反面丝网印刷铝浆v通过烧结穿透反面PN结v和P型硅形成良好的接触背电场三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程8-8-正电极印刷正电极印刷v在太阳电池正面丝网印刷银浆，形成负电极v正面电极有主栅线和副栅线组成主栅线副栅线三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池

13、片的生产工艺流程丝网印刷的原理丝网印刷的原理v 刮刀推挤浆料 , 并借由网版刮刀面起伏之网结阻拦 ,使浆料呈逆向滚动状态 , 当浆料行进至版膜图文区时即往下穿透网孔接触硅片, 刮刀继续往前推移时 , 那么因网版张力及离版间距 , 使浆料脱离网版附着于硅片上 , 达成印刷的目的。三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程9-9-烧结烧结v 硅片从炉子的入口处进入枯燥区，随着温度的升高， 硅片上的浆料中的溶剂释放出来，环境气体吸收从浆料溢出的有机溶剂，释放出来的有机溶剂通过废气抽气管排出枯燥区；三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工

14、艺流程太阳电池制造过程太阳电池制造过程9-9-烧结烧结v 硅片由枯燥区进入快速烧结区，随着温度的继续升高，浆料的有机粘合剂成分将被耗尽，浆料中的银或铝单质渗入硅片外表形成电极或电场；三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程 光强：1000W/m2 光谱分布：AM1.5 电池温度：25太阳电池制造过程太阳电池制造过程10-测试分选测试分选通过模拟太阳灯光照射到电池片外表测试太阳电池的电性能参数三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程 太阳光谱分布太阳电池制造过程太阳电池制造过程10-测试分选测试分选三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程太阳电池电性能参数太阳电池的电性能参数：Isc、VocImp Vmp、Pmax、Rs、Rsh、FF、EFF三、三、太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程短路电流短路电流IscIsc： 理想情况下，等于光生电流理想情况下，等于光生电流ILIL。 影响因素：面积、光强、温度影响因素：面积、光强、温度 125125太阳电池太阳电池 5A 5A左右左右 156156太阳电池太阳电池 8A 8A左右左右开路电压开路电压VocVoc：影响因素：光强、温度、材料特：影响因素：光强