氦气仪的基础知识(20110726Dakin)

1、Emerson Confidential刘恒丰2011-08-26Emerson Confidential2l1. 氦气测试系统的工作原理图l2. 氦气测试仪的原理图l3. 氦气仪的界面及操作l4. 氦气仪测试前的检查与点检l5. 氦气测试仪的故障及处理l6. 氦气仪操作过程中的注意思事项l7. 氦气仪的日常保养Emerson Confidential3lPressure is 22barEmerson Confidential4l氦气仪的工作方框图Emerson Confidential5三、氦气仪的工作界面1、F1可更改第一行的参数2、F3可更改第三行的参数3、显示分析仪里的真空压力4、自

2、动校准5、MUTE静音键6、CYCLE键是开始/停止7、SNIFFER键即吸附检测模式8、NEXT键9、SETPOINT参数菜单10、“”键改变参数11、SPECTRO分析仪菜单12、“”键改变参数13、MAINTENANCE维修参数表14、OTHER其它参数表15、RESET键重设16、 F4可更改第四行的参数17、 F2可更改第二行的参数Maintenance item1、各按键工能及工作界面Emerson Confidential6三、氦气仪远程控制板工作界面2、远程控制板操作界面Emerson Confidential7四、氦气仪开机前的点检l氦气仪保护氮气管是否有插上蓝色氮气管是否插

3、上压力值1.50.5barEmerson Confidential8四、氦气仪开机前的点检l氦气仪与模具是否连接好1、上面红圈里的紧固是否向下锁紧2、下面蓝色圈里的紧固件是否上紧Emerson Confidential9四、氦气仪开机前的点检l下模具上的四个密封圈是否有上好4O型（密封圈）是否有上Emerson Confidential10四、氦气仪开机前的点检l上模具上的四个密封圈是否有上好4O型（密封圈）是否有上Emerson Confidential11四、氦气仪开机前的点检l上模具上的四个密封圈是否有上好氦气压力值3.00.5MPaEmerson Confidential12五、氦气仪

4、的故障及处理故障后面板的显示面板中的故障报警Emerson Confidential13五、氦气仪的故障及处理故障后的提示音通常情况下，提示音会提示你下一步该做什么如出理故障后，氦气仪不断的语音提示出错。一直报警，这时应停下机来。找相关工程师处理。（主显示板已不是正常的工作界面）正常工作界面（待机）Emerson Confidential14六、氦气仪操作中的注意事项1、开机前的点检工作。2、在下压模具前一定要确保已放四个端子，且没有掉下去的（混料小端子）3、操作中出现不良品后氦气仪会立刻保护（停止工作），5秒后氦气仪会重启（但模具会开启）需立刻按关机4、工作中突然没氮气的保护(有氮气时端子会和向上跳动)5、模具在没有放好端子下压模具时不得按下氦气仪开始键6、在待测产品漏气品超过20%时停机、上报Emerson Confidential15七、氦气仪日常保养1、将氦气仪从模具中拆下后一定要将上面的检测口盖好，防止灰尘、其它杂物等进