扩散边角烧焦原因排查实验报告1107A夜

1、扩散边角烧焦原因排查实验报告扩散边角烧焦原因排查实验报告 技技 术术 部部 张张洪栋洪栋2013.11.07A夜一、实验背景一、实验背景二、实验验证、排查及调试二、实验验证、排查及调试 1.验证排查跟踪验证排查跟踪 2.观察调试、跟踪统计，直到异常消失观察调试、跟踪统计，直到异常消失三、三、实验实验结果结果-小结小结目录目录一.实验背景实验背景 背景背景： 近期每班都有扩散后边角烧焦电池片，且数量很大，对扩散、刻蚀、甚至PE都造成一定数量的返工片，应陆经理指导，A班工艺依靠自己对制绒和扩散的了解作出以下验证并做出相应的排查实验。二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试由于班夜班只有一个工

2、艺，有各工序异常处理和点检要做，无法作出各个疑点全面验证，现只做针对性的验证（个人认为最可能的原因以及对此原因的验证及成功调试，直到异常解决），此报告以过程性验证为主，内容如下： 验证验证、根据对制绒线的了解，怀疑跟制绒1线第1道有关，对制绒线第1道的片子进行针对性排查，收集100pcs制绒1线第1道的片子，和制绒1线其它2-5道300片混合，在扩散的一个炉管生产，要求这100片朝同一方向放置。二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试出管后如下图：制绒1线第1道的片子有部分边角烧焦（21pcs烧焦）边角烧焦制绒1线第2-5道混合的片子全部正常，没有烧焦片二二.实验验证、排查及调试实验验证

3、、排查及调试结论结论1：根据制绒1线第1道的片子和第2-5道的片子的对比发现：制绒1线第1道存在异常； 观察烧焦情况怀疑是药液残留，但不知道是正面还是背面的药液残留。 验证验证2、取制绒1线第1道400片，200片用正面扩散，另200片用背面扩散（正常是用背面扩散），正面扩散石英舟放于炉口，背面扩散放于炉尾，扩散1-2管作业。二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试出管后如下图：正面扩散的片子同一位置烧焦严重且有向面蔓延趋势背面扩散的片子烧焦轻微且只有角尖炉口为正面扩散的片子炉尾为背面扩散的片子二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试结论结论2：根据制绒1线第1道的片子正面和背面扩

4、散对比发现：正面扩散比背面扩散明显严重的多，说明药液残留的位置极有可能在制绒硅片正面，扩散时背面受轻微影响； 观察烧焦情况怀疑是硅片上的碱液没有完全被中和，即6号酸槽酸刀喷淋可能有异常，“验证3”能验证是酸槽第1道的问题，如下： 验证验证3、取制绒1线第1道100片，将这100片在6号酸槽前的5号槽中第4道重新进片，然后最后下片后正常扩散，这100片是有药液残留的，如果扩散后无烧焦则说明药液残留被酸槽第4道洗干净了，也说明是酸槽第1道有问题。二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试出管后如右图：扩散后的片子全部正常，无烧焦二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试结论结论3：根据制绒

5、1线第1道的片子重新在5号槽第4道进片，下片后正常扩散发现无烧焦，则异常在6号酸槽的第1道，上酸刀喷淋硅片正面，下酸刀喷淋硅片背面，现在是正面药液残留，说明异常为6号酸槽第1道的上酸刀喷淋有问题或者碱槽风刀问题。以下进行观察和调试：二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试观察观察：1、观察6号酸槽第1道的上酸刀喷淋发现硅片的异常角位置没有喷淋到酸液；制绒1线第5道下料口硅片的药液残留位置电池片此位置总有部分触及不到酸液或不能长时间与酸反应二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试观察观察：2.观察4号槽碱槽和5号水槽风刀后1道的片子发现最里面的边缘时有时无微量水珠在（碱槽水槽风刀的吹

6、干效果本身就差一些），而此位置正好又是酸槽酸液经常无法喷淋到的。形成了水膜保护，使得片子边缘的表面碱液不能被酸液完全中和。被风刀吹过的片子时有时无残留的液体水珠二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试观察观察：清洗4、5号槽风刀，清洗后好了很多，但仍然时常有水珠，吹干效果不佳，查找新风刀准备更换新风刀，未找到备用风刀。准备调试6号槽来减少碱残留。调试：调试：1、调节6号酸槽的第1个酸刀角度并加大喷淋力度（目的是将片子表面有可能残留的液体冲掉）二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试调试调试：2、调节6号酸槽的第3个酸刀角度将其向前喷淋转向为向后喷淋。如图：酸刀方向向前喷，此处不能长时间与酸反应改1酸刀向后喷，片子所有位置均可长时间接触酸液反应此酸刀向前喷淋此酸刀改为向后喷淋二二.实验验证、排查及调试实验验证、排查及调试跟踪统计：跟踪统计：调试后观察制绒1线到扩散后的边缘烧焦情况如下：调试结束时间为2:30，之后跟踪了制绒一线做的4管电池片到扩散后均无烧焦。之后继续统计，如下：三三、实验结果、实验结果-小结小结实验小结：实验小结： 4号碱槽风刀吹干效果不佳，时常留下微量碱珠，而5号水槽同样位置也有同样问题，靠近边缘的片子时常有吹不到边的情况，水槽后就会有微量水珠，水珠起到了类似水膜保护的作用，使片子边缘的表面碱液不能被酸液完全中和，扩散后为烧焦片。 此次实验调试后仍出