镀膜车间新员工培训讲义

1、生产一部员工培训教材生产一部员工培训教材华阳光学 公司质量方针公司质量方针 最大限度地满足客户需求，永无止境地追求产品质优。 让质量融入到公司每一位员工的自觉意识中， 让“致力于好第一次和每一次”成为公司每位员工的自觉行为。5S知识1.整理：应有与不应有”的区分，目的：A、腾出时间、空间活用；B、防止误用、误送； C、塑造清爽的 工作场所2.整顿：将应有的定位目的：A、工作场所一目了然；B、消除找物品的时间； C、整整齐齐的工作 环境；D、消除过多的积压物品3.清扫：彻底清理干净目的：A、稳定品质；B、减少工业停害4.清洁：就是没有污染、杂物、油污、场地清洁。 5.修养：心中不断追求完善的想法

2、目的：A、培养好习惯、遵守规则的员工；B、营造团队的精神 公司基本规章制度公司基本规章制度1.牢记自己的机台、班次、带班人员； 轮班顺序：早班晚班中班早班早班：8:00-16:00 中班16:00-00:00 晚班00:00-8:00 常白班：8:3012:00 13:0017:30 早班/中班用餐时间0.5H：11：3012：30、17：3018：302.按时上下班，不迟到早退，不旷工，原则上不得随意请假，如有事请假，需提前向车间主任及带班人员申请，得到允许后准假，病假需出示医院证明，上班时间外出需车间领导签批“外勤单”,不允许电话请假； 员工请假2天以内（含2天）需经部门主管审批，2天以上

3、需要分管领导审批。现在增加一条，请病事假7天以上（含天）以上除分管领导审批外须知会总经理。 请假返厂后需及时提交请假条；3.上下班有序打卡进出，上班必须穿工衣、工鞋、戴厂牌，工鞋不能穿出厂外；不允许穿拖鞋、短裤、七分裤上班； 4.车间保持干净整洁，不允许带食品、水杯进入车间；非吸烟区不准吸烟，吸烟需在指定区域，烟头、烟灰投入专用垃圾桶内，不允许坐在地上抽烟，中夜班不允许坐在地上吃夜宵；保持吸烟区干净整洁，中晚班夜宵食品包装袋严禁乱扔； 5.在车间内禁止嬉戏打闹、大声喧哗、串岗、睡觉、吃东西、听音乐、玩手机。非紧急情况不得接打私人电话。 6.早班会应按时参加，时间规定是上班前十分钟，双手置于背后

4、立正，不得交头接耳； 7.按时完成生产指标，如需加班应服从公司安排，服从厂方合理的工作安排及调动；8.认真及时做好工作记录，生产看板、镀膜记录表、5S点检表及时准确进行记录，杜绝弄虚作假。生产安全事项l操作人员安全l设备安全操作人员安全l设备高压 电子枪（两枪）高压(电柜，发射体，变压器，扩散泵）、轰击高压l设备高温 扩散泵高温、轰击棒高温，烘箱高温 坩锅 l设备高速旋转 机械泵、罗茨泵，维持泵 安全注意事项安全注意事项1.操作人员安全操作人员安全 高压 电子枪高压、轰击高压、扩散泵炉盘高压高温 扩散泵高温、轰击棒高温、烘箱高温、坩埚材料高温高速旋转 机械泵、罗茨泵、维持泵、工转设备安全l扩散

5、泵工作时，不可充入大气。 l高压开启，操作人员不可离开机器。l设备出现问题，立刻关闭高压，找技术人员解决。什么是真空真空技术 我们可以把空气看成真空中分布了大量的气体分子。 真空是相对的，并非一个气体分子都没有。真空区域划分 低真空: 1x105 to 1x102 Pa 中真空：1x102 to 1x10-1 Pa 高真空：1x10-1 to 1x10-5 Pa真空技术真空的获得机械泵罗茨泵扩散泵真空技术 机械泵 用于抽低真空。 可直接对真空室抽气。 极限真空：10-1Pa。真空技术 真空获得设备真空获得设备机械机械泵泵 旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空

6、腔内切位置上，空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片，旋片间用弹簧连接，使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转子的转动是由马达带动的，定子置于油箱中，油起到密切、润滑与冷却的作用。真空的获得机械泵 容器经过管道进入泵内空间。 泵内阀片转动时，气体被吸入。 阀片继续转动，泵内空间与待抽真空容器隔断，此后将气体排出。 此过程不断重复，排气口浸在油内，借助油密封。真空技术为什么掺气？为什么掺气？l由于大气中都含有一定量的水蒸气，所以泵工作时所抽除的气体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合物。这种混合气体在泵内被压缩排气的过程中，如果可凝性气体的分压力超过了泵温下的饱和蒸气压，那么它们就会凝结并与泵

7、油混合，随油一起循环。当它们返回到高真空端时又重新蒸发变成蒸汽。随着泵的运转，凝结物不断增加，使泵的极限真空和抽速降低。当抽除的气体中湿度较大时，泵油的污染更加严重，使泵的密封、润滑和冷却性能变差，以至于经常更换新油。l 气镇法是防止蒸汽凝结从而避免油污染的有效方法。这种方法是将室温干燥的空气经气镇孔进入泵的压缩腔中与被抽气体相混合。当把这种混合气体压缩到排气压力时，由于掺气作用使得其中的蒸汽分压能保持在泵温状态的饱和蒸气压以下，因而蒸汽不会凝结而与其它气体一起被排至泵外。被抽气体中蒸汽的含量越多，掺入的干燥气体量就需越多。l 真空技术罗茨泵 用于抽中真空。 工作范围：真空度高于8x102。

8、极限真空：10-2Pa。真空技术罗茨泵 用于抽中真空。 工作范围：真空度高于8x102。 极限真空：10-2Pa。l真空获得设备真空获得设备罗茨泵罗茨泵l罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。罗茨泵在较宽的压强范围内有较大的抽速； 真空技术罗茨泵 用于抽中真空。 工作范围：真空度高于8x102。 极限真空：10-2Pa。扩散泵 用于抽高真空。 工作条件： 1、真空度高于4.0 x100Pa。 2、内部温度达到250。 极限真空：10-5 Pa。真空技术扩散泵 用于抽高真空。 工作条件： 真空度高于4.0 x100Pa。 内部温度达到250。 极限真空：10

9、-5 Pa。真空技术扩散泵 扩散泵内油被加热到250。 油蒸汽沿泵芯管筒上升，在喷口盖处受路径制约，油分子高速喷出。 气态油分子接触到泵壁受冷，变为液态，回流到底部。 进入泵体的气体分子，受到油蒸汽高速流动的影响，向下飞去，被机械泵抽走。真空技术水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管；4. 泵壳； 5. 加热器扩散泵扩散泵l是：油蒸发喷射凝结，重复循环l由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300500)，故能有效地带走气体分子。l扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。l注意事项 扩散泵油

10、在高温下一旦接触大气就会变质，无法继续正常工作； 即使在常温下，长期的接触大气，也会因泵油吸收空气中的水分而使泵的性能下降。 因此应尽量让扩散泵保持在良好的真空状态；充分的水冷却。 问题问题l为什么用三种不同性能的真空泵来抽真空？l三种真空泵的工作条件？l根据真空泵的工作条件把三种不同的性能的泵组合，设计一个可以抽高真空的真空泵组？真空设备的操作 对于基本单位的真空设备，我们都有了比较全面地了解。但完整的真空获得设备要复杂得多，我们应该如何操作？真空设备的操作真空设备的操作 在上班初次开机时，设备的各个环节都处于停机状态，我们需要做哪些准备工作？ 电源 气源 循环水真空设备的操作电源电源气源气

11、源循环水循环水REDAY下面应该做什么下面应该做什么扩散泵快冷状态扩散泵快冷状态REDAYl镀膜机运行所需要的条件（水，电，气）l电 380Vl水-冷却（机械泵、罗茨泵、扩散泵、维持泵、电子枪、坩埚）50-80L/Minl气-气动阀（维持阀、旁通阀、预阀、低阀、高阀、放气阀、挡板）0.45-0.65MPa真空系统的使用1.开 水（50-80L/Min）、电、气（0.45-0.65Mpa） 注意事项：检查出水口，所有管道出水是否正常，扩散泵快冷是否关闭)2.开维持泵维持阀扩散泵（扩散泵加热90分钟以上，温度达到250） 注意事项：开完扩散泵，检查扩散泵三相电源指示灯是否正常（开机的主要目的是为了

12、加热扩散泵，扩散泵温度需达到250方可使用，否则扩散泵抽速降低且容易造成真空室返油漏气）开机步骤真空设备的操作开机械泵开机械泵（截止阀）（截止阀）旁通阀旁通阀防湍阀、低阀防湍阀、低阀开真空计开真空计真空度到真空度到8.0*E2关旁通阀，开罗茨泵关旁通阀，开罗茨泵真空度真空度4.0*E0关防湍阀、低阀，开预阀，开高阀关防湍阀、低阀，开预阀，开高阀真空度到真空度到2.5E-2开灯丝预热，开灯丝预热，1.4*E-2抽真空（恢复真空）步骤加完材料,换晶片、观察窗，上玻片，关真空室门，再执行以下步骤：真空设备的操作l思考题 开机步骤中每一步操作的目的是什么？真空设备的操作真空设备的操作l此时为什么不能开

13、罗茨泵、扩散泵？l罗茨泵的工作条件？ l扩散泵的工作条件？真空设备的操作真空设备的操作真空设备的操作真空设备的操作真空设备的操作l我们需要的真空度是多少？l我们抽真空的目的是什么？真空设备的操作真空设备的操作当一锅膜镀完之后：关闭1、2枪高压灯丝扫描工转缓慢降至0伏等待2分钟（灯丝、材料冷却），再开放气阀（注意事项：一定要先关灯丝冷却才能放气，否则灯丝容易氧化变形）镀完膜放气步骤及注意事项关机步骤关闭扩散泵冷却90分钟以上，温度降至100度以下关维持阀、维持泵在关闭水、电、气开关真空设备的操作真空设备的操作问题问题l完整的开机步骤？l正确的恢复真空步骤？l完整的关机步骤？l怎么知道真空的是多怎

14、么知道真空的是多少？少？l用什么办法测量用什么办法测量真空测量l电离规管 用来测量高真空单元，测量范围为 1x10-1Pa 1x10-5 Pal电阻规管 用来测量低真空单元，测量极限为 1x10-1Pal电阻规管 和电离规管的测得值，分别显示在真空计的两个模块。真空测量镀膜技术镀膜技术l液态l气态l固态l物质三态镀膜技术l以水为例l液态水l水蒸气l冰镀膜技术l以水为例l液态水l水蒸气l冰l镀膜的基本原理： 利用物质吸热和放热后，物质形态发生变化； 镀膜材料被加热成气态，附着到玻片上，放热变成固态。镀膜技术镀膜设备电阻蒸发技术电子枪蒸发技术镀膜技术镀膜设备电阻蒸发技术 利用电阻通过电流生热的原理

15、，加热蒸发舟内薄膜材料。 用于蒸发U3材料。镀膜技术 电阻蒸发（U3)U3脱膜剂采用阻蒸蒸发，速率不能超过15/S原理：加大 阻蒸电流，阻蒸产生热能使其材料达到熔点蒸发镀膜设备电阻蒸发技术 利用电阻通过电流生热的原理，加热蒸发舟内薄膜材料。镀膜技术镀膜设备 电子枪蒸发技术 在高压作用下，电子枪灯丝发射出高能电子束，加热蒸发薄膜材料。 用于蒸发SiO2 和 U5 材料。镀膜技术镀膜技术镀膜设备电子枪蒸发 水冷却坩埚 发射体上的灯丝发射电子束 磁场使电子束发生偏转，撞 击坩埚内膜料，使膜料蒸发。 电子枪工作原理(电子束蒸发） 金属灯丝在高温状态下，内部的一部分电子获得足够的能量，逸出金属表面，发射

16、出热电子，在电磁场的作用下，热电子高速运动，并形成细束轰击膜层材料表面，热电子的动能转变为热能，使膜层材料迅速升温而蒸发，沉积在玻璃表面而形成薄膜。电子枪工作原理图电子枪工作原理图l1-发射体；发射体；2-阳极；阳极；3-电磁线圈；电磁线圈；4-水冷水冷坩埚；坩埚；5，6-收集极收集极l7-电子轨迹；电子轨迹；8-正离子轨迹；正离子轨迹；9-散射电子散射电子轨迹；轨迹；10-等离子体等离子体12345678910镀膜技术镀膜设备电子枪蒸发 水冷却坩埚 发射体上的灯丝发 射电子束 磁场使电子束发生 偏转，撞击坩埚内 膜料，使膜料蒸发。 镀膜技术成膜原理 膜料经过热蒸发后成为气态分子，到达工件表面

17、后，以分子形式重组结构。镀膜技术高倍电子显微镜下的薄膜表面形状 l我们学会了真空技术和镀膜技术，还有那些知识要掌握？ 光学薄膜光学薄膜 -基础知识介绍基础知识介绍七七 光变薄膜光变薄膜l什么是薄膜？什么是薄膜？l 所谓薄膜，就是物体表面的一层很薄的膜。自然界中薄膜种类和数量都很多，例如：肥皂水形成的肥皂泡；烟盒内部的铝箔；冬天由外面进入温暖的屋内时，眼镜片表面会结一层水膜；镜子背面的铝膜 ； l光学薄膜，是指在光学元件，通常是光学玻璃镜片，上运用物理的或化学的方法在其表面镀上一层或多层厚度为几百至几千纳米（符号为nm, 1nm=10-3m=10-6mm=10-9m）不同材料的薄膜，以使其光谱特

18、性达到特定要求。例如，组成照相机镜头的镜片表面一般都会镀上一层增透膜，以使更多的光能进入相机内部，使照相更清晰。，等等，这些都是薄膜。光是什么？光是什么？光是一种电磁波光是一种电磁波，在真空中的，可见光波长范围是700400nm ；红外光为约700 到107nm量级;紫外光1-400nm；比紫外光短的还有X射线、射线（0.001nm）等；而比红外长的就是我们熟悉的无线电波。什么叫光的干涉？什么叫光的干涉？物理定义： 当2个或多个光波（光束）在空间叠加时，在叠加区域内出现的各点强度稳定的强弱分布现象。产生的条件：1、光波产生的相位差固定不变2、光波的振幅不能相互垂直3、光波的频率要一致什么叫做光

19、学薄膜？什么叫做光学薄膜？所谓光学薄膜，首先它应该是薄的然后它应该会产生一定光学效应的那么要薄到什么程度呢？定性的讲：它的厚度应该和入射光波长可以相 比拟的物理意义上讲：能引起光的干涉现象的膜层绿变红绿变红红变绿红变绿黄变绿红变金红变金绿变蓝 我司光变产品介绍我司光变产品介绍 lWG-银变绿 GR-绿变紫红 lGO-墨绿变浅紫红 BO-蓝绿变浅紫红 lBY-蓝绿变黄 PG-紫变草绿 l RG-紫红变绿 OG-浅紫红变绿l SG-银红变绿 SU-金变绿 YG-黄变绿 l YB-黄绿变蓝绿 GB-草绿变蓝 GP-蓝绿变紫 l BR-蓝变紫红 PY-紫变金黄 RY-紫红变金黄l OY-浅紫红变金黄

20、YS-金黄变银绿A品：比B品略深B品：标品（合格品）C品：比B品略浅Z品：B+A+C（次品）NG：报废品影响产品质量的因素影响产品质量的因素膜的颜色，膜质，膜亮度 产品质量判定脱膜剂，影响膜质，溶于水脱膜剂，影响膜质，溶于水滤杂光，半吸收层，影响亮度滤杂光，半吸收层，影响亮度决定膜的颜色决定膜的颜色反射层反射层决定膜的颜色决定膜的颜色滤杂光，半吸收层，影响亮度滤杂光，半吸收层，影响亮度U3 170埃U5 45埃SIO2 根据色种U6 200埃SIO2 根据色种U5 45埃光变薄膜的基本膜系结构及各层的作用U3、U5、U6、C2、SIO2（公司材料）蒸发方（公司材料）蒸发方式式U5采用电子枪（2枪）蒸发，速率不能超过8/SU6采用电子枪（2枪）蒸发，速率不能超过15/SC2采用电子枪（2枪）蒸发,速率不能超过25/SSIO2采用电子枪（1枪）蒸发，速率不能超过53/S；l怎么知道工件上的膜怎么知道工件上的膜厚是多少了？厚是多少了？l用什么办法测量用什么办法测量膜厚监控仪膜