SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀_第1页
SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀_第2页
SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀_第3页
SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀_第4页
SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀_第5页
已阅读5页，还剩89页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

在这个生产工艺过程中按照工作区域可分为9个模组(M1M9)。硅片进M2模组时，它与液面保有一定的距离，然后通过骨轮带动药液进行硅片的单边刻蚀。另外还通过一套升降旋转机构对其它两边进行刻蚀。M模组有两个单独药缸，升降旋转机构在它们中间。药液通过骨轮只对背面硅片进行化学腐蚀，其目的就是完全打断硅片正反的联系，移走磷酸盐玻璃增强抗反射膜，使背结吸收的光更好。M2硝酸浓度为63%、氢氟酸为50%进行刻蚀。药缸浓度采用样品滴定控制。药液一直保持不断循环，药液通过热交换器进行冷却。左边图形是一个控制开关，它是用来控制设备上滑动门窗的。当钥匙方向指向1时，通过门窗边缘的传感器给PC指令，使门窗上定位销通过气缸的作用撤出，这时门窗就可以打开但不影响机器正常运转。如按下机器按钮，右边辅助菜单我们可以接受使用的文件。按下右所需边按钮就可获取机器信息。如果按下F3按钮，那么维护开关是打开的，其余开关是受约束的。如果按下F4按钮，那么恢复信息，复位信号。 如果按下F6，在这菜单中能准确反应一星期的工作情况的时间。 如果按下F7，在这菜单中显示不同测试数据及管理信息系统。如果按下F9,在这菜单中显示机器全部预警和警告菜单如果按下F10,在这菜单中显示机器控制的单元参数诊断说明。7在F1 Sta

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论