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文档简介
在这个生产工艺过程中按照工作区域可分为9个模组(M1M9)。硅片进M2模组时，它与液面保有一定的距离，然后通过骨轮带动药液进行硅片的单边刻蚀。另外还通过一套升降旋转机构对其它两边进行刻蚀。M模组有两个单独药缸，升降旋转机构在它们中间。药液通过骨轮只对背面硅片进行化学腐蚀，其目的就是完全打断硅片正反的联系，移走磷酸盐玻璃增强抗反射膜，使背结吸收的光更好。M2硝酸浓度为63%、氢氟酸为50%进行刻蚀。药缸浓度采用样品滴定控制。药液一直保持不断循环，药液通过热交换器进行冷却。左边图形是一个控制开关，它是用来控制设备上滑动门窗的。当钥匙方向指向1时，通过门窗边缘的传感器给PC指令，使门窗上定位销通过气缸的作用撤出，这时门窗就可以打开但不影响机器正常运转。如按下机器按钮，右边辅助菜单我们可以接受使用的文件。按下右所需边按钮就可获取机器信息。如果按下F3按钮，那么维护开关是打开的，其余开关是受约束的。如果按下F4按钮，那么恢复信息，复位信号。 如果按下F6，在这菜单中能准确反应一星期的工作情况的时间。 如果按下F7，在这菜单中显示不同测试数据及管理信息系统。如果按下F9,在这菜单中显示机器全部预警和警告菜单如果按下F10,在这菜单中显示机器控制的单元参数诊断说明。7在F1 Sta
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