17章-洁净厂房的施工技术要点

1、第十七章洁净厂房的施工与管理本工程为8英寸集成电路芯片项目，在 3号建筑（8英寸芯片厂房）的二、三层核心生产区为洁净室系统， 该区域对空气的洁净要求很高，因此对于结构工程、机电通风系统、装饰装修工程的设计和施工等均有特殊的 要求。由于洁净室系统需要进行专业的二次设计，好多具体做法尚不明确，我公司根据以前同类工程的施工经验, 从组织上、管理上和具体关键点的施工控制上对洁净施工进行严格管理，高度重视洁净系统的特殊性，专门组 织洁净系统的施工。第一节 洁净施工的目的与原则一、洁净施工目的在洁净室的建造过程中，始终有粉尘产生，仅靠施工最终阶段的清理是无法清理干净的，而这些无法被清 除的赃物、灰尘会付在

2、洁净室的表面。在洁净室开始起用时，付在室内表面的灰尘会在室内空间飞散，由此而 增大过滤器的初期负荷，以至缩短过滤器的寿命。所以在洁净室的施工过程中，需采取相应措施，最大程度地减轻洁净室的初期负荷，尽早达到洁净室的性 能要求是很重要的。二、洁净施工基本原则1、垃圾、灰尘等不得带入洁净室内。2、在洁净室内不允许产生垃圾、尘土。3、一旦发生灰尘，应立即清扫、排除，不得使其扩散。4、防止赃物、灰尘堆积。第二节洁净厂房的施工内容一、本工程洁净施工的内容（洁净室系统需要进行专业二次设计）：洁净室吊顶系统：吊顶龙骨采用能承重的加密封垫的T型龙骨，能够安装FFU设备，灯具为泪滴灯安装在龙骨上，所有龙骨（铝合金

3、除外）均要求设备厂家进行环氧树脂涂层和阳极电镀处理。吊顶安装1200X 600mm的风机过滤器单元（FFU）。洁净室墙面系统：无龙骨墙面（三明治板），壁板总厚度为50mn 60mm自撑铝蜂窝状空心墙板或岩棉夹 心板，附有垂直压型铝条，连续的底部预顶部滑道，墙板的表面是铝板喷塑或者金属壁板；龙骨墙面总厚度为 100mm铝框架配以6.35mm厚的蜂窝状空心板或12mnB石膏板，墙板用连续的密封圈密封。洁净室门：自动滑动门、手动控制洁净室门、钢制洁净室防火门。洁净室可升降高架地板：安装在支架可调节的可移动的活动地板，地板是600mm#方的实心铸铝板，可以承受1700kg/ H的压力，每平方厘米 70

4、kg的重量，最大变形量是 2mm动荷载是365kg。表面铺设乙烯基防腐 防静电面板；格栅地板的开孔率要满足通风量的要求，每块地板安装调节阀，地板的面漆均使用耐磨漆。洁净室不可升降地板系统：单层橡胶地板、涂有丙烯酸涂料的防静电地板。洁净室的特殊要求：在工艺流程需要的地方设置通道、洗手处和风淋室。二、洁净施工要求与标准1、洁净室装饰表面质量要求一览表使用部位要 求 项 目发尘性耐磨性耐水性防静电防霉性气密性压缝条吊顶涂料不掉皮、粉化-口J耐清洗电阻为105-10 8 Q耐潮湿、霉变-板材不广尘、 无裂痕-可擦洗-板缝平 齐、密封平直、小于 0.5mm隔墙涂料/、掉皮、粉化-RJ帆清 洗电阻为105

5、-10 8 Q帆潮湿、 霉变-板材不产尘、无裂痕-可耐擦 洗-板缝平 齐、密封平直、小于 0.5mm抹灰按高级球 灰-耐潮湿-耐潮湿、霉变-地面涂料不起壳、脱皮耐磨耐清洗电阻为105-10 8 Q-卷材不虚铺、缝隙对 齐、不积 灰耐磨耐清洗电阻为105-10 8 Q-缝隙密 封，不虚 焊缝隙焊接 牢固，平 滑水磨石不起砂，密 实，光滑耐磨耐清洗-2、工程验收1）洁净室的工程验收宜分为两个阶段进行，即先进行竣工验收，再进行综合性能全面评定。3）竣工验收的检测和调整应在空态或静态下进行。综合性能全面评定的检测状态，由建设、设计和施工单位 三方协商确定。任何一种检测得出的洁净度级别，必须注明检测状态

6、。4）在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不应多于2人，均必须穿洁净工作服，尽量少走动。5）竣工验收和综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位配合。6）竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能 检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。7）洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：（1）各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹 淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；（2）高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封；5-17-1各类调节装置应严密

7、、调节灵活、操作方便；（4）净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；（5）洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；（6）送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的 密封处理应可靠严密；（7）洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封；（8）各种刷涂保温工程应符合有关规定；8）净化空调器或空调器、排风系统、局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等）、空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备、烟感、温感火灾自动报警装置、自动灭火装置、净化空调自动调节装置 和其他有试运转要求的设

8、备的单机试运转，应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应 符合现行国家标准建筑安装工程质量检验评定标准TJ305 （通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。第三节洁净厂房的主要施工工序壮口. 、主 事一队公 安装吊 安装轻质安装风口一_+女衣风官泪扫风官漏风机查-1顶龙骨隔墙龙骨一电气照明U安装电气桥架. 电气配管安装5-17-2施工阶 段第1阶段第2阶段第3阶段第4阶段第5阶段第6阶段普通建筑工程风管及电力线 路的安装等洁净室的安装空调通风系统鉴定怙净室纪念工程内 容建筑物施工， 扩建或重新布 置完成工程，其 中包括隐蔽工 程，敷设风管、 电线

9、和其它公 用管线安装围护结 构，完成微气 候参数自动调 节系统的安装换气次数的计 算平衡，调整微 气候参数自动 控制系统，安装 HEPA滤器鉴定空态洁净室 包括检查HEPAd： 滤器（在严格要求 区）和完整性完成设备安装 鉴定表态洁净 室目的准备安装洁净 室和公用管线 用的场地洁净室安装准 备就绪准备向洁净室 送风准备鉴定洁净 室空态鉴定静态鉴定需用文 件设计、施工组 织设计设计安装文件，设 计设计，执行文件试验大纲试验大纲实施方 式提交场地，普 通建筑工程准 备完成,接入 公用管线试验风管的密 闭性，检查公 用管线和能源 载体检查洁净室的 密闭性，调整 通风系统测试备忘录测试备忘录测试备忘录

10、实施者普通建筑施工 单位专业安装单位洁净室安装单 位定货方或专业 公司定货方或专业公 司定货方或专业 公司工作服-目标-组成人员保护 普通建筑施工 服装人员保护 普通建筑施工 服装人员和结构保 护 洁净连裤服环境保护 长罩衫（长衫） 帽、洁净鞋（靴）环境保护 长罩衫（长衫）、 胡须、口罩，手套， 洁净鞋（靴）环境保护 该级别洁净室 专用洁净服出入制 度普通仅许可的人 员，出入口（物 品出入）控制， 在专用区拆除 包装第2阶段+按一 定路线出入第3阶段+ 工作 时间有固定值 班的第4阶段+工具带 进洁净室之前需 要处理动态洁净室出 入制度洁净度 施工管 理培训无有有有有有参数控 制目视洁净度目视

11、洁净度用洁净餐布检 查第4阶段+粒子计 数，试验大纲第5阶段清扫每天清扫垃圾每天清扫用吸尘器每天 清扫用洁净餐布检 查，用吸尘器和 湿餐巾（海棉） 清扫清扫规程用吸尘 器及HEPAd：滤器 清扫清扫规程（消 毒规程）限制不吸烟第1阶段+在安 装区内不得进 食和喝水第2阶段+不焊 接，不切割， 不拆卸运输包 装箱，不从事 未经规定的工 作同第3阶段第4阶段+人员卫 生要求第5阶段+运 行要求第四节洁净厂房的施工管理要点第五节洁净厂房的分阶段施工管理宏观上分为下面几个阶段进行总体控制：一、开工前1、开工前必须对公司的职员、管理人员及作业人员进行有关洁净室的知识、施工方法及作业程序等的教 育，提高认

12、识。2、使所有施工人员了解洁净区域的划分及各区域的洁净等级。二、施工过程中在施工过程中我们将严格监督和指导各关键点、关键工序的施工，对工程的总体质量负责。（一）结构施工混凝土浇筑时，分仓线尽量不通过洁净区域。洞口预留位置、尺寸必须保证准确，做到100%佥验。（二）装修施工洁净区域的施工必须在屋面防水工程和外围护结构完成、外门、外窗安装完毕后进行。1、墙面施工本工程洁净墙壁系统为无龙骨墙（三明治壁板）、有龙骨墙面（铝框架配以6.35mm厚的蜂窝状空心板或12mm 厚的石膏板），一般转角处可用弧形材料或密封材料处理，墙面施工要减少积尘面。配合金属壁板施工的金属件很多，如天地糟、工字铝、铝合金阴角、

13、铝合金阳角、门窗框料等，基本为铝制品。目前，国外与国内各厂商之产品形式、安装方式基本相同。我们将严格控制转角节点部位的的施工。1）壁板与壁板阴阳角连接2）壁板与窗之间连接今年钦校4台具学板盒层3）壁板与地面连接4）非金属壁板类材料在洁净室中的应用洁净室内平面与立面之间阴阳角部位的连接是影响洁净等级的关键部位之一。金属壁板及其连接节点作为 超净化区域重要组成部分，已被广泛应用于此类工程中。5-17-3但上述形式的铝合金阴阳角只限于各种金属壁板与金属壁板之间的安装，但对于壁板与非壁板之间的连 接、非壁板与非壁板之间的连接无法有效解决。根据我公司同类工程的经验，结合工程实际情况对金属壁板及 连接节点

14、进行了局部改进，特别是通过对现有铝合金阴阳角材的改进，可突破洁净区域必须用金属壁板这一局 限、增大材料选型面。改进后的阴阳角材可将房间内各种材料墙面与各种吊顶装饰面进行有效连接，不仅提高洁净区域内的气密性，而且可大大降低建造成本，将洁净区域适用范围进行扩展，在其他用途的建筑物内也可 以广泛应用。非金属壁板连接节点2、吊顶施工吊顶采用耐清洗的涂料、板材，施工不掉皮、粉化、不产尘。(1)天棚的装饰材料(石膏板、轻钢龙骨)要在洁净区外加工并清扫干净后搬入到指定场所，且不能长 时间放置，应尽快安装。(2)在洁净区内，禁止进行石膏板、轻钢龙骨的切割等作业。(3)不须要材料不要长时间放置在洁净区，应随时清

15、除。(4)为避免墙壁剔凿及暗埋配管等的返工，设备、电气要同建筑方面很好地配合协调，经事先确认后再施3、地面施工地面耐磨、耐清洗、不起尘，地面垫层下铺设防水薄膜作防潮层。(1)涂料地面为防止完全硬化，施工温度不能低于 5C。在温度接近20c的条件下施工，也要加少量凝剂。一次涂抹不 能太厚。(2)卷材地面卷材地面的基层处理必须十分平，充分干，全清污；按现场尺寸划分、裁割，在遇到与墙交接处留数厘米 富余量。(3)板材地面拼贴前应根据板材大小、厚薄和方正程度选择归类，以防在大面积施工时，由于累积误差，造成最后缝隙 很大，不可收拾。4、预埋件与构配件预埋在钢筋混凝土构件和墙体上的铁件、木框等应牢固，木砖

16、和木框应做防腐处理，预埋铁件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联，不能与设备支架(如传送带吊杆、风管吊杆以及有振动的设备 )和管线支架相联接。踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2-3mm当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角，其圆角半径R应大于50mm当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。密封墙面、吊顶、地面接头处必须用密封胶认真处理，与门窗的缝隙在正压面密封。(三)通风工程5-17-4净化空调系统的风管及其零部件的制作除按一般通风空调系统的要求进行外，还有其特殊之处，主要是：场地：必须是已做好墙壁、地面和门窗且经常清扫的房间。接缝：不允许管道有横向接缝，纵向接缝也要尽量减少，而

17、当底边v800mm时，在底边上也不许有纵向接缝。密封：所有咬口缝、翻边处、钏钉处都必须涂密封胶。加固筋：不许设在管内。法兰：四角应设螺钉孔，孔距v 100mm螺钉、螺母、垫片、钏钉均应镀锌。测孔：管径大于500mnf勺应设清扫孔及各种测孔。存放：制作完成后用中性清洗液冲洗，干燥后用塑料膜封口待安装。拆封：只允许在安装时拆开管道端口封膜，安装中间停顿时应再封好端口。清洁：风阀、消声器等各种风管零部件，安装时必须清除内表面的油污和尘土，应用不易掉纤维的材料多 次擦拭系统内表面。密封：各种密封垫（不论是管道法兰上的还是各种密闭门框上的）严禁在其表面刷涂涂料风管制作与安装时必须注意：制作风管、部件前，

18、应将镀锌钢板上的油污和灰尘擦洗干净，防止钢板表面的油膜沾染灰尘。在油污擦洗 后再用清水擦布将清洗剂的残留物擦净。洁净系统的风管、部件制作时时，应选择环境清洁、干燥、远离尘源或上风侧作为预制加工的场地。制作 完毕应将两端和所有开口处用塑料薄膜包口封闭，用粘胶带粘牢，防止灰尘进入风管内。风管安装前，在施工现场将风管两端封闭塑料薄膜打开，再一次将风管内后来带入的灰尘进行擦拭。系统 安装完毕或暂停安装时，必须将风管的开口处封闭，防止灰尘进入。洁净系统风管的咬口形式，采用咬口缝隙较小的转角咬口及联合角咬口。洁净系统对风管的咬口缝必须达到连续、紧密、宽度均匀，无孔洞、半咬口及胀裂现象。风管的咬口缝、钏钉孔

19、及风管翻边的四个角，必须用密封胶进行密封。密封胶应采用对金属不腐蚀、流动 性好、固化快、富于弹性及遇到潮湿不易脱落的产品。 在涂抹密封胶时，为保证密封胶与金属薄板粘接的牢固， 涂抹前必须将密封处的油污擦洗干净。洁净系统风管拼接缝不能过多。矩形风管底边800Mlm内，不应有拼接缝；800Mlm上，尽量减少纵向接缝，但不得有横向接缝。风管安装完毕后，必须进行漏风检查方法和指标，如下表：（四）洁净设备安装高效过滤器的安装安装前清洁：安装前系统应空吹清洁；洁净室应再次全面清扫，如用吸尘器吸尘，不得用普通吸尘器，必 须用配有超净袋的吸尘器；在吊顶内安装，吊顶内应进行清扫；系统试运转12h后再次清洁洁净室

20、，方可安装高效过滤器拆包：高效过滤器的安装应在系统风管和空调机组内灰尘擦洗干净并运转后，而且洁净室内彻底打扫干净 后，方可开箱。只能在安装现场、安装时刻现拆高效过滤器包装。取出之后应作外观检查，并要每一台有性能 指标的具体检测数据。检漏：对安装好的过滤器作检漏，检漏的重点是过滤器边框密封质量。并在安装前检查其上密封胶有无开裂，滤纸局部有无损坏。高效过滤器安装后，对安装的严密性和高效过 滤器本体有无损坏，采用浊度计或尘埃粒子计数器进行检漏。空气吹淋室安装空气吹淋室安装前应检查基础（或地面）表面是否平整，其平整度应符合空调器安装的要求。为了减少空气吹淋室运转时产生振动，应在底座下垫上厚度不小于5M

21、K胶板；空气吹淋室安装后，应根据该设备的技术文件和使用说明书，对规定的各种动作进行试验调整，使其各项 技术指标达到要求。如风机启动，电加热器的投入对吹淋空气的加热，两门的联锁及时间继电器的试验和整定 等，使达到下列要求：两门互锁。即一门打开时，另一门打不开，使洁净室与外面不直接接通；空气吹淋室在吹淋过程中，两门均打不开；进入洁净室必须经过吹淋，由洁净室出来不要吹淋。为了保证吹淋效果，必须使喷咀射出的气流吹到被吹淋人员的全身。对喷咀的吹淋角度一般应调整至：顶 部向下20。，两侧水平相错10。空调器的安装安装空调器时应对设备进行清洗、擦试，除去尘土、杂物和油污。设备检查门的门框应平整，密封垫安装符合要求。空调器接缝做密封处理，安装完成后进行密封检查，空调器漏风率不大于2%（五）给水排水管道和电线管的安装给水排水管道穿过洁净室的墙壁和楼板应设套管，套管内不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产 尘的密封材料封闭。管道外表面的保温层，应采用不产尘的不燃