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文档简介
金屬製程和材料 7Electronic Materials電子材料1234圖7.1矽MOS閘極電極用金屬材料的組合 56圖7.2(a)單晶，(b)多晶，(c)非晶的比較示意圖 7圖7.3一個MOSFET中的多晶矽閘 8圖7.4耐火金屬矽化物的製作，(a)長側牆氧化物，(b)鍍鈦，(c)長出矽化鈦，去除多餘的矽化物 91011圖7.5多晶矽矽化物(polycide)的成長過程 12圖7.6磁電濺鍍(magnetron)設備的概略圖 1314圖7.7蒸鍍用的(a)鎢絲加熱器，(b)坩堝外繞加熱器 15圖7.8蒸鍍機的概略圖 16圖7.9電子束蒸鍍的示意圖 17圖7.10電子束槍和源材料系統 18192021圖7.11接面尖峰 22圖7.12鋁線因電致遷移而產生的斷路情形 23242526272829圖7.13矽積體電路內連線使用的金屬材料組合 3031圖7.14鎢插塞的製作(a)毯覆式沉積鎢，(b)鎢回蝕 3233圖7.15鑲嵌製程 3435363738
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