全球半导体晶体生长仿真著名商业软件FEMAG

1、全球半导体晶体生长仿真著名商业软件FEMAGFEMAG软件是由比利时鲁汶大学研 发的晶体生长数值仿真软件。20世纪80 年代中期，鲁汶大学Francois Dupret教 授带领其团队，开始晶体生长的研究，经 过10多年的行业研发及应用，Frangois Dupret教授于2003年成立了 FEMAG S.A.(总部设在比利时Louvain-la-Neuve 市)，正式推出晶体生长数值仿真软件 FEMAG。如今，FEMAG软件已成为全球 行业用户高度认可的数值仿真工具，在品 体生长数值模拟领域处于国际领先地位。 F产品与服务FEMAG Soft擅长所有类型品体材料生长方面的工艺模拟专业技术，比

2、如：直拉法(Czochralski)区熔法(Floating Zone)适用于铸锭定向凝固过程工艺(DS)，Bridgman法物理气相传输法(PVT)产品模块FEMAG/CZ-Czochralski (CZ) Process适用于Czochralski直拉法生长工艺和Kyropoulos生长工艺FEMAG/DS-Directional Solidification (DS) Process 适用于铸锭定向凝固过程工艺FEMAG/FZ-Float Zone Process (FZ)适用于区熔法生长工艺主要功能1.全局热传递分析“全局性”即包涵所有拉品要素在内，并考虑传热模式的耦合。全局热传 递模

3、拟分析，主要考虑:炉内的辐射和传导、熔体对流和炉内气体流量分析。热应力分析按照经验，一般情况下，品体位错的产生与晶体生长过程中热应力的变化 有着密切的关系。该软件可以进行三维的非轴对称和非各向同性温度场热应力 分析计算，可以提出对晶体总的剪切力预估。“位错”的产生是由于在晶体生长过程中，热剪应力超越临界水平,被称为 CRSS（临界分剪应力），而导致的塑性变形。点缺陷预报该软件可以预知在晶体生长过程中的点缺陷（自裂缝和空缺），该仿真可以很 好的预测在晶体生长过程中点缺陷的分布。动态仿真动态仿真提供了对复杂几何形状对于时间演变的预测。该预测把发生在品 体生长和冷却过程中所有瞬时的影响因素都考虑在内

4、。为了准确地预报晶体点 缺陷和氧分，布动态仿真尤其是不可或缺的。固液界面跟踪在拉晶的过程中准确预测固液界面同样是一个关键问题。对于不同的柑祸 旋转速度和不同的提拉高度，其固液界面是不同的。加热器功率预测利用软件动态仿真反算加热功率对于生长合格晶体也是非常必要的。绘制温度梯度通过仿真，固液交界面的温度梯度可以很方便的计算出来。这一结果对于理 论缺陷的预报是非常有用的。技术特色1.全局建模（Global modeling）将熔炉分为宏观单元（macroelements)，包含液体与固体成分、散热机箱、cement接合单元时间相关建模(Time dependent modeling)使用与时间相关的

5、仿真模型，比如准稳态、准动态、Cz生长逆向或直接动态模型FEM 离散化使用 2D、Spectral 3D、Cartesian 3D 等模型几何建模可以准确处理变形体、界面以及所有的边界层求解技术高效线性求解+Newton & Raphson迭代模拟软件的优点晶体生长模拟软件能够提供晶体生长炉内部环境及晶体生长过程，从 而为生产商提供必要的信息，以便分析晶体生长过程特征及其工艺优缺点是否 符合市场需求。通过模拟软件提供的功能，生产商可以提高工艺改进、优化时 的目标与优先次序。模拟软件所提供的虚拟实验使晶体生长商在物理实现之前设计、校验 他们的生产工艺。虚拟实验不但操作方便、经济实惠、而且基本上不存在任何 技术限制。应用范围FEMAG Soft公司的模拟软件应用于开发、优化以下类型的晶体生长工艺:-IC级单晶硅和光伏级品体硅-III-V族化合物半导体品体材料，如GaAs/GaP等锗单品蓝宝石、氧化物和卤化物 碳化硅应用领域10多年来，FEMAG Soft公司所开发的软件产品获得