垂直连续镀铜课件

1、垂直連續鍍銅 JETCHEM JETCHEM (WUXI) CHEMICAL TECHNOLOGIES CO., LTD. 超特(無錫)化學科技有限公司 酸性鍍銅概述: 直流電鍍 脈衝電鍍酸性鍍銅概述直流電鍍:- 水平電鍍制程- 垂直電鍍制程- 槽體設計-分體壓縮式- TP值- 酸性銅添加劑 - 延展性酸性鍍銅水平電鍍制程制程 酸性鍍銅垂直電鍍制程工藝流程酸性鍍銅基本原理反應機理: 陽極 Cuo - Cu+2 + 2e- 陰極 Cu+2 + 2e- - Cuo ANODESANODES+H+SO4-2SO4-2H+H+Cu+2Cu+2Cu+2Cu+2酸性鍍銅槽體設計AirAirFILTERAN

2、ODESANODESPUMP隔板陽極袋酸性鍍銅熱應力高溫室溫Stresses imparted to a PTH due to thermal Z-axis expansion conditions.ABCDA: 銅箔斷裂B: 內層銅斷裂C: 孔銅斷裂D: 邊角斷裂酸性鍍銅厚度分布+理論情況情況1情況3+情況2酸性鍍銅陽極袋ANODE SHIELDANODE SHIELDA N O D E S H I E L D陽極梆酸性鍍銅陽極與陰極距離不可接受的可接受的酸性鍍銅TP值 TP 計算公式EADCBF% T P (C+D) x2 (A+B+E+F) =酸性鍍銅High Aspect Ratio

3、Recommended Bath ParametersLow High酸性鍍銅High Aspect Ratio Important parameters - high influence酸性鍍銅High Aspect Ratio Important parameters - medium influence酸性鍍銅High Aspect Ratio Recommended Bath Parameters酸性鍍銅光澤劑 / 整平劑 分布狀況酸性鍍銅整平能力 整平程度 a. 平整性變差 b.沒有作用僅僅覆蓋上 c. 很好整平性酸性鍍銅光澤劑 / 整平劑 工作機理模型酸性鍍銅光澤劑化學類型酸性鍍銅

4、整平劑化學類型酸性鍍銅PC-UT鍍銅光澤劑主要成份酸性鍍銅延展性酸性鍍銅不同壓力拉力銅箔表1. 有很好延展性。2.一般狀況，在很大拉力下較易斷裂 。3.較差狀況,很容易斷裂。 酸性鍍銅概述: 脈衝電鍍 酸性鍍銅 - 脈衝電鍍酸性鍍銅 - 脈衝電鍍酸性鍍銅 - 脈衝電鍍酸性鍍銅 - 脈衝電鍍酸性鍍銅 - 脈衝電鍍Amps0.5 sec10 sec酸性鍍銅 - 脈衝電鍍酸性鍍銅 - 脈衝電鍍對溶液流動影響酸性鍍銅 - 脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅 - 脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅 - 脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢酸性鍍銅 - 脈