三氯氢硅生产操作规程

1、平安操作规程一、概述1 三氯氢硅的用途三氯氢硅是生产半导体用硅的主要中间体，是有机硅行业中硅烷偶联剂的主要原材料。随着光伏产业的迅猛开展，太阳能电池对多晶硅的需求量大幅增长，三氯氢硅是改进西门子法生产多晶硅的主要原材料。2三氯氢硅的生产机理枯燥的硅粉和枯燥的氯化氢气体在320 pa 左右的工艺条件下，在三氯氢硅合成炉内以流化的形式反响生成三氯氢硅， 其化学反响方程式如下：Si + 3HCL = SiHCL 3 + H2 + 50 千卡在上述工艺条件下，硅粉及氯化氢反响还会产生四氯化硅，其化学反响方程式如下：Si + 4HCL = SiCl 4 + 2H23三氯氢硅的物性 TOC o 1-5 h

2、 z 分子式：SiHCl3分子量：135.5熔点： -134沸点 (101.325kPa) ：相对密度： ( 水=1)1.35 、爆炸极限：6.9-70.0%。三氯硅烷在常温常压下是具有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体，易水解，溶于有机溶剂，水解时产生氯化氢气体而具有强刺激性，空气中能燃烧。4四氯化硅的物性分子式： SiCl4分子量：沸点 (101.325kPa)相对密度 :（ 水=1） 、 （空气 =1）四氯化硅为无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解，性质稳定，可混溶于苯、氯仿、石油醚等多数有机溶剂。四氯化硅属酸性腐蚀品，主要用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂。二、 氯

3、化氢枯燥岗位操作法流程表达来自氯碱厂氯碱氯化氢工段的氯化氢气体以管输的形式进入氯化氢厂房内石墨冷凝器进展深冷脱水处理， 除雾后经石墨预热器将深冷后的氯化氢气体升至常温以上，进入硫酸枯燥塔作进一步的脱水枯燥处理。枯燥后去三氯氢硅厂房。2岗位任务 1 氯化氢厂房及三氯氢硅贮罐区、四氯化硅贮罐区所有设备、管线的巡检； 2 盐酸、稀硫酸的装车操作及浓硫酸的卸车操作； 3 硫酸枯燥塔换酸操作；2 4 三氯氢硅、四氯化硅槽车的装车操作；3主要工艺指标氯化氢纯度）92.0% 压力 0.01 Mpa ;石墨冷凝器出口温度：-12 ；石墨预热器出口温度：45；pa；浓硫酸纯度）98.0%;硫酸枯燥塔内硫酸纯度9

4、5.0%;三氯氢硅贮罐、粗品贮罐操作温度025 Cpa压力 0.05Mpa;粗品贮罐液位： 5-48m3 ；四氯化硅贮罐操作压力00.05Mpa；四氯化硅贮罐液位：40-630m3 ；4开车前的准备和检查4 1 系统用氮气置换完毕，无泄漏；4 2 公用系统运行正常：4 2 1 石墨冷凝器盐水畅通；4. 2. 2热水槽温度）90Cpa,石墨预热器热水畅通；4 2 3 浓硫酸贮罐及硫酸枯燥塔内硫酸贮存量适宜，硫酸泵运行正常；4 2 4 氯化氢压缩机循环冷却水畅通、油泵工作正常，盘车正常；4 2 5 氮气贮罐、仪表风贮罐压力正常，确认贮罐进出口阀门处于开启状态；4 3 确认石墨冷凝器、盐酸酸雾捕集器

5、、石墨预热器排净口处于开启状态，盐酸贮槽进口管线阀门、平衡管线阀门处于开启状态；4 4 三氯氢硅贮罐、粗品贮罐、四氯化硅贮罐进出口阀门及氮气阀、放空阀均处于关闭状态，贮罐压力正常；4. 5仪表引线阀均处于开启状态，DCS运行、指示正常；4 6 工器具及操作运行记录齐全；4 7 三氯氢硅合成岗位已作好开车准备，三氯氢硅合成炉硅粉温度已达工艺指标， 氯化氢分配器相应的氯化氢管线上阀门处于开启状态， 工艺流程畅通；5岗位操作法5 1 硫酸枯燥塔换酸操作当硫酸枯燥塔内硫酸浓度降至95%时，需要对硫酸枯燥塔内硫酸进展换酸操作。在硫酸循环泵运行正常运行情况下，稍微开启硫酸循环泵通往稀硫酸贮罐的泵出口阀，

6、把硫酸枯燥塔内的硫酸送往稀硫酸贮罐， 当硫酸枯燥塔内 硫酸液位降至规定位置时，关硫酸循环泵通往稀硫酸贮罐的泵出口阀。开启浓硫酸泵，翻开浓硫酸泵通往硫酸枯燥塔的泵出口阀，当硫酸枯燥塔内硫酸液位升至规定位置时，关闭浓硫酸泵通往硫酸枯燥塔的泵出口 阀，停浓硫酸泵。做好硫酸枯燥塔换酸操作记录。5 2氯化氢压缩机开车操作5 21确认氯化氢压缩机进口阀处于开启状态，出口阀处于关闭状态；5 22压缩机循环冷却水畅通，氮气阀及放空阀均处于开启状态；5 23翻开氯化氢压缩机进出口管线间的压力平衡阀；5 24压缩机盘车 2周，无杂音、无异常阻力；5 2 5pa；5 2 6 翻开氯化氢压缩机电机；5 2 7 待压缩

7、机运转正常后，关闭压力平衡阀，翻开压缩机出口阀；5 3 氯化氢压缩机停车操作5 3 1 关压缩机出口阀，缓慢翻开压力平衡阀；5 3 2 待压缩机进出口压力一致后，停氯化氢压缩机电机；5 3 3 关压缩机进口阀、氮气阀及放空阀等；5 3 热水泵、硫酸泵、盐酸泵、三氯氢硅泵、四氯化硅泵操作5 3 1 开泵操作：盘车正常，翻开泵进口阀，开电机，待出口压力平稳后缓慢翻开泵出口阀；5 3 2 停泵操作：关泵出口阀，停电机，关泵进口阀；5 4 盐酸、稀硫酸的装车操作及浓硫酸的卸车操作5 4 1 盐酸、稀硫酸的装车操作接好槽车接地线。翻开槽车顶部装料封头，把装车专用橡胶软管插入封头内并固定，翻开盐酸 / 稀

8、硫酸装车球阀，开盐酸泵/ 稀硫酸泵。随时观察盐酸/ 稀硫酸贮罐及槽车液位， 到贮罐或槽车液位至规定位置时，停盐酸泵/ 稀硫酸泵。关盐酸 / 稀硫酸装车球阀，拨出装车专用橡胶软管，安置在指定位置，盖上槽车顶部装料封头。做好槽车装车记录。5 4 2 浓硫酸的卸车操作接好槽车接地线。把浓硫酸卸车专用软管接在槽车卸料管上，并紧固，翻开浓硫酸卸车球阀、槽车卸料阀门，开浓硫酸泵。随时观察浓硫酸贮罐及槽车液位，到贮罐或槽车液位至规定位置时，先后关闭槽车卸料阀及浓硫酸卸车球阀，稍后马上停浓硫酸泵电机。卸下浓硫酸卸车专用软管，安置在指定位置。做好浓硫酸卸车记录。5 5三氯氢硅、四氯化硅槽车的装车操作5 51确认

9、三氯氢硅、四氯化硅贮罐中送料罐的出口阀处于开启状态，送料泵进口阀处于开启状态，记录送料罐初始液位；5 52连接槽车接地线；5 53把装车鹤管装置的液相管线及气相管线分别及槽车的液相进料管线及气相返回管线相连， 翻开槽车及鹤管装置的液相管线、 气相管线上物料阀门；5 5 4 开三氯氢硅 / 四氯化硅送料泵；5 5 5 随时观察三氯氢硅 / 四氯化硅贮罐及槽车液位，当贮罐或槽车液位至规定位置时，停三氯氢硅 / 四氯化硅送料泵，关鹤管装置上的液相管线阀门；5 5 6 把氮气吹扫软管及装车鹤管装置液相管线上的氮气吹扫短接相连，用氮气对液相管线鹤管液相进料阀至槽车段进展吹扫；5 5 7 关闭槽车液相进料

10、阀、气相返回阀及装车鹤管上气相管线阀门，脱开装车鹤管装置及槽车的快速连接接头、 脱开氮气吹扫管线、 脱开槽车接地线，并按规定就位；5 5 8 做好槽车装车记录。6采样分析点6 1 氯化氢纯度分析：采样点硫酸酸雾捕集器出口管线；6 2 氯化氢气体中硫酸含量：采样点硫酸酸雾捕集器出口管线；6 3 硫酸枯燥塔内硫酸浓度分析：采样点硫酸枯燥塔；6 4 浓硫酸浓度分析：采样点浓硫酸贮罐；6 5 盐酸纯度分析：采样点盐酸贮罐；6. 6热水PH值分析：采样点热水槽；6 7 盐水、 0 冷却水、循环水PH 值分析：采样点管架总管，盐酸装车平台处；6 8 三氯氢硅纯度分析：采样点三氯氢硅贮罐；6 9 四氯化硅纯

11、度分析：采样点四氯化硅贮罐；7岗位巡回检查制度7 1 岗位巡检路线：石墨冷凝器、酸雾捕集器、石墨预热器、硫酸泵/ 硫酸枯燥塔、氯化氢压缩机、仪表风贮罐 /氮气贮罐 /氯化氢缓冲罐、热水泵/ 热水槽、盐酸泵/ 盐酸贮罐、硫酸泵/ 硫酸贮罐、三氯氢硅贮罐 / 粗品贮罐、四氯化硅贮罐；7 2 检查内容：设备运转情况，设备的温度、压力、液位情况，管路、阀门的泄漏情况等；7 3 岗位巡检时间：每小时按巡检路线检查一次，并做好巡检记录；7 4 巡检发现问题，应及时请示当班班长予以解决，当班无法解决的，应及时上报部门领导予以解决。三、 三氯氢硅合成岗位操作法流程表达从氯化氢厂房来的枯燥氯化氢气体进入氯化氢分

12、配台分流，通过孔板流量计计量后分别进入四台三氯氢硅合成炉。 外购的硅粉用人工加料的形式从硅粉枯燥器顶部参加， 在硅粉枯燥器内用蒸汽进展预热， 去除硅粉中可能夹带的水份， 经料位计计量后用氮气压入三氯氢硅合成炉内。 硅粉在氯化氢气体的煽动下呈流化态，在320的温度下反响生成三氯氢硅和四氯化硅气体。 反响气首先通过旋风别离器进展除尘处理， 脱除的硅尘到硅尘收集罐后定期用氮气压入三氯氢硅合成炉循环使用； 然后用硅尘过滤器 布袋式过滤器进一步除尘，粘附在布袋上的细硅尘定期用氮气反吹，经硅尘缓冲罐沉降、尾气水洗塔喷淋除尘后从15 米高空集中排放；脱除硅尘后的反响气进入吸附塔，用氯硅烷三氯氢硅和四氯化硅的

13、混合物，液态进展洗涤、冷却，冷却后的反响气进入粗品冷凝器进展冷凝，冷凝液回流至吸附塔，吸附塔内氯硅烷液位至工艺规定指标后压送至粗品贮罐， 反响气中未冷凝局部作为尾气送往尾气处理装置区。2岗位任务 1 三氯氢硅 1#、 2#厂房三氯氢硅合成所有设备、管线的巡检； 2 三氯氢硅合成炉加硅粉操作； 3 硅尘过滤器反吹、硅尘缓冲罐排渣操作；2 4 污水泵运行及污水处理池清理；3主要工艺指标氯化氢分配台压力： 0.10 Mpa ；硅粉枯燥器操作压力0 0.20Mpa;三氯氢硅合成炉底部温度： 320 ；三氯氢硅合成炉压差0 ;硅尘过滤器操作压力 0.08Mpa;粗品冷凝器出口温度： -15 ；污水处理池

14、液位：40 80%；4开车前的准备和检查4 1 系统用氮气置换完毕，无泄漏；4 2 公用系统运行正常：4 2 1 硅粉枯燥器夹套内蒸汽畅通；4 2 2 粗品冷凝器盐水畅通；4 2 3 三氯氢硅合成炉电加热运行正常；4 2 4 污水处理池补水完毕，尾气水洗塔循环水泵运行正常；4 4 吸附泵正常运行第一次开车时，待吸附塔内氯硅烷到达一定量时再开泵 ，吸附塔视镜清晰；4 5 硅粉枯燥器内硅粉料位达45%，用蒸汽加热至150以上；4 6 待启用的三氯氢硅合成炉内已参加硅粉400kg， 用电加热器使三氯氢硅底部温度到达420 以上；4. 7仪表引线阀均处于开启状态，DCS运行、指示正常；4 8 工器具及

15、操作运行记录齐全；5岗位操作法5 1 开车操作5 1 1 确认氯化氢分配台进口总阀及出口支线气动调节阀处于关闭状态；5 1 2 翻开氯化氢分配台进口管线上的放空阀，通知供氯化氢，待氯化氢纯度到达85%以上时，翻开氯化氢分配台进口总阀，翻开待反响三氯氢硅炉氯化氢进口气动调节阀，同时适当关小氯化氢分配台进口管线上的放空阀，稳定氯化氢分配台操作压力；5 1 3 当三氯氢硅合成反响启动后，三氯氢硅合成炉温度升至 320以上时， 翻开对应三氯氢硅合成炉的冷却水进口气动阀， 使合成炉底部温度保持在 320 左右；5 2 正常操作5 2 1 根据反响情况，及时和氯碱厂氯碱调度联系，使各台在反响的三氯氢硅合成

16、炉氯化氢流量保持均衡、稳定；5 2 2 调节降温热水或开电加热，保持合成炉最下部温度在320 10；5 2 3 从反响时间、合成炉上下压差和四点温度变化情况及时向合成炉内补充硅粉，加硅粉操作如下：A检查硅粉枯燥器内硅粉层料位在15%料位计显示以上；pa,然后从放空管放空，对硅粉枯燥器置换三次；pa；D先全开硅粉枯燥器底部下球阀，再翻开上球阀进展加硅粉操作，待硅粉枯燥器内料位下降14%，先关上球阀，再关下球阀；E、加硅粉完毕，如果硅粉枯燥器料位低于15%那么应通过顶部加料料斗往硅粉枯燥器内添加硅粉， 加硅粉前先用氮气置换硅粉枯燥器三次， 在放空 阀开启情况下往硅粉枯燥器参加硅粉。5 2 4 每四

17、小时对硅尘过滤器作一次反吹操作，操作如下：A、翻开待反吹硅尘过滤器旁通阀，关闭硅尘过滤器反响气进出口球阀；B、翻开氮气pa时关氮气吹扫阀，翻开底部排净阀，往硅尘缓冲罐泄至常压 后再翻开氮气吹扫阀，连续吹扫三次，关硅尘过滤器底部排净阀，翻开反响器进出口阀门，关硅尘过滤器旁通阀；5 2 5 每班对硅尘收集器往三氯氢硅合成炉排硅尘一次，每天白班对硅尘缓冲罐清硅渣一次、对污水处理池清理一次；5 2 6 污水处理池用氯碱厂来的渣浆水进展补水无渣浆水时用新鲜水补水 ，当池内水位到达工艺指标时，启动污水泵往氯碱厂污水处理厂排放污水；5 2 7 经常观察系统各点压力、温度及氯化氢流量，每班对粗品作一次粗品纯度

18、分析，并做好岗位运行记录。5 3 停车操作5 3 1 正常停车A、通知氯碱厂调度下调氯化氢的供给量或将氯化氢往其它系统供给，保持 氯化氢分配台压力平稳；B、在不再参加硅粉的情况下，尽量使三氯氢硅合成炉内硅粉反响干净，使 合成炉四点温度差）80C；C关硅粉枯燥器夹套加热蒸汽；D对硅尘过滤器及硅尘收集器反吹一次；E、停吸附塔氯硅烷循环泵及粗品冷凝器盐水运行；F、如停车时间较长，可将三氯氢硅合成炉内硅渣放出，并清洗喷板，复状 后，充氮气0.05Mpa 置换系统三次。5 3 2 紧急停车A、关氯化氢进口气动阀，稍开氯化氢分配台放空阀，马上通知氯碱厂调度氯化氢降量供给，保持氯化氢系统压力平稳；B、如能短

19、期恢复运行，开三氯氢硅合成炉电加热系统保温，如短期不能恢 复，参照正常停车处理。5 4 吸附塔循环泵、尾气水洗塔循环泵、污水泵开停车操作：参照热水泵等操作法；5 5 射流泵操作5 5 1 新开车及检修后开车，应先检查机组各连接部位是否有松动，有松动必须拧紧；5 5 2 电机盘车灵活；5 5 3 水箱内已补满水；5 5 4 开离心泵电机，观察泵按箭头方向运转严禁空转及反转 ；5 5 5 关闭下部卸压球阀，真空机组正常工作； 5 6 停机时先关闭系统进气阀， 再翻开卸压球阀， 待真空度降至常压时，停泵否那么将损坏止回阀 。6采样分析点 1 粗品纯度分析：采样点吸附塔；6. 2污水PH值分析：采样点

20、污水处理池；7岗位巡回检查制度7 1 岗位巡检路线：1#厂房内三氯氢硅合成炉、硅尘收集罐/ 旋风别离器、吸附塔 / 吸附泵、硅粉枯燥器、硅尘过滤器、粗品冷凝器及2# 厂房内三氯氢硅合成炉、硅尘收集罐 / 旋风别离器、吸附塔/ 吸附泵、硅粉枯燥器、硅尘过滤器、粗品冷凝器；7 2 检查内容：7 2 1 设备运转情况，设备的温度、压力、液位情况，管路、阀门的泄漏情况等；7 2 2 对旋风别离器及硅尘收集罐用木棍均匀敲击，使硅尘往硅尘收集罐底部沉降；7 4 巡检发现问题，应及时请示当班班长予以解决，当班无法解决的，应 及时上报部门领导予以解决。四、三氯氢硅精馏岗位操作法流程表达粗品贮罐中的氯硅烷混合物

21、用计量泵送入精馏前塔。精馏塔底部及再沸器相通，再沸器用热水加热，产生氯硅烷蒸汽，氯硅烷蒸汽从塔顶出来后用塔顶换热器进展冷凝， 大局部回流至塔内。 由于三氯氢硅和四氯化硅沸点不同，在一定的操作温度下，富含三氯氢硅的氯硅烷从精馏前塔塔顶馏出，四氯化硅和微量的高沸物那么留在精馏前塔塔底， 经分析合格后定期排放至四氯化硅中间罐， 冷却后用氮气压往四氯化硅贮罐； 塔顶换热器冷凝液中有一局部经计量后分流进入精馏后塔， 在一定操作温度下， 纯洁的三氯氢硅从后塔塔顶馏出， 经塔顶换热器冷凝后一局部经计量分流进入产品计量罐， 分析合格的压往三氯氢硅贮罐， 分析不合格的压往粗品贮罐重新精馏， 精馏后塔塔釜的物料随

22、着四氯化硅浓度的提高， 定期排往粗品中间罐， 经冷却后压往粗品贮罐。未从塔顶换热器冷凝的尾气进入塔顶冷凝器冷媒为 -35 盐水进一步冷凝，冷凝液排入精馏塔，未凝气体那么送往尾气处理装置区。2岗位任务 1 三氯氢硅 1#、 2#厂房三氯氢硅精馏所有设备、管线的巡检； 2 精馏塔及附属设备的现场操作； 3 三氯氢硅计量罐、四氯化硅中间罐及粗品中间罐的压料操作；2 4 计量泵的运行操作；3主要工艺指标精馏塔液位：30-60% ；精馏塔全回流时间：1-2 小时；计量泵流量：1000l/h ；精馏塔分流量：800l/h ；精馏塔回流量：2500l/h ；精微前塔塔顶温度0 38c ；精微前塔塔釜温度）5

23、8C；精微后塔塔顶温度0 32C;精微后塔塔釜温度0 42C;pa；三氯氢硅计量罐操作压力00.20Mpa；四氯化硅中间罐/粗品中间罐操作压力0 0.20Mpa；粗品贮罐液位：5-48m3 ；4开车前的准备和检查4 1 系统用氮气置换完毕，无泄漏；4 2 公用系统运行正常：4 2 1 热水系统运行正常；4 2 2 塔顶换热器内冷却水畅通、塔顶冷凝器内盐水畅通；4 2 3 尾气系统已畅通；4 3 确认本岗位工艺流程畅通，粗品贮罐内粗品贮存量已达20m3 以上，三氯氢硅合成岗位运行正常；4. 4仪表引线阀均处于开启状态，DCS运行、指示正常；4 5 工器具及操作运行记录齐全；5岗位操作法5 1 开

24、车操作5 1 1 翻开前、后塔尾气缓冲罐尾气出口阀门；5 1 2 开计量泵，将粗品泵入精馏前塔，至规定液位40%以上；5 1 3 翻开精馏前塔热水控制气动调节阀向再沸器通入热水，升温；5 1 4 确认精馏前塔分流管线气动调节阀处于关闭状态，翻开精馏前塔回流管线阀门；5 1 5 当精馏前塔塔顶温度升至 30 以上， 前塔回流流量计有流量显示起，精馏前塔进入全回流期；5 1 6 通过对热水量用量的调整，使回流量稳定在2500l/h 左右；5 1 7 待回流时间达1 小时以上，精馏系统运行稳定正常后，翻开精馏前塔分流管线上气动调节阀，按800l/h 左右的流量向精馏后塔进展分流，同时开启计量泵，按1

25、000l/h 的流量向精馏前塔连续补加粗品；5 1 8 精馏后塔操作如上，分流馏出料液进入三氯氢硅计量罐；5 2 正常操作：5 2 1 控制好再沸器热水用量，使精馏塔各点温度和回流量在工艺指标范围内，且保持稳定；5 2 2 调节好精馏塔分流馏出量和精馏前塔进料量，保持精馏塔液位在工艺指标范围内；5 2 3 三氯氢硅计量罐液位到时，对计量罐内三氯氢硅纯度进展分析，分析合格的，压往三氯氢硅贮罐，分析不合格的，压往粗品贮罐；5 2 4 当精馏前塔塔釜温度达58以上、液位达60%以上时，对精馏前塔塔釜物料进展采样分析， 分析合格的， 翻开去四氯化硅中间罐的排料阀门至液位下降到30%时关排料阀门，分析不

26、合格的，继续精馏，提高塔釜温度；5 2 5 第一台四氯化硅中间罐的物料及时用氮气压往第二台四氯化硅中间罐，待四氯化硅温度降至常温后，用氮气压往四氯化硅贮罐；5 2 6 当精馏后塔塔釜温度超过42或精馏后塔液位超过60%时，翻开去粗品中间罐的排料阀门至液位下降到 30%时关排料阀门；5 2 7 当粗品中间罐物料液位到达1.0m3 后及时用氮气压往粗品贮罐；5 3 停车操作A停计量泵；B、关闭精微前塔进口阀门，关闭精微前、后塔分流管线气动调节阀，使精 馏塔进入全回流阶段；C关闭再沸器热水进口气动调节阀；D待精储塔无回流量后，关闭前、后尾气缓冲罐出口阀，停塔顶换热器冷 却水、塔顶冷凝器盐水；E、通过

27、尾气缓冲罐向精微塔内补氮气至pa,保压；5 4 计量泵开停车操作5 4 1 计量泵开车操作A、确认粗品贮罐液位大于5m3送料罐出口阀及计量泵进口阀处于开启状态；B、手动设定计量泵流量至要求量，微开泵出口阀，开计量泵；C开计量泵出口阀，观察泵出口压力正常；5 4 2 计量泵停车操作A停计量泵电机；B、关计量泵出口阀；6采样分析点6 1 三氯氢硅纯度分析：采样点三氯氢硅计量罐、三氯氢硅贮罐、粗品贮罐、塔顶换热器出口管线；6 2 四氯化硅纯度分析：采样点精馏前塔塔釜；7岗位巡回检查制度7 1 岗位巡检路线：1#厂房内四氯化硅中间罐/ 粗品中间罐、精馏前后塔/再沸器、三氯氢硅计量罐、尾气缓冲罐、塔顶换

28、热器、塔顶冷凝器及2#厂房内四氯化硅中间罐 /粗品中间罐、精馏前后塔 / 再沸器、三氯氢硅计量罐、尾气缓冲罐、塔顶换热器、塔顶冷凝器、粗品贮罐、计量泵；7 2 检查内容：设备运转情况，设备的温度、压力、液位情况，管路、阀门的泄漏情况等；7 3 岗位巡检时间：每小时按巡检路线检查一次，并做好巡检记录；7 4 巡检发现问题，应及时请示当班班长予以解决，当班无法解决的，应 及时上报部门领导予以解决。五、尾气处理岗位操作法1 流程表达从粗品冷凝器和精微塔顶冷凝器来的尾气分别进入尾气收集罐I、 n, 经尾气压缩机I、n pa后进入回收尾气冷凝器，冷凝液通过回收液计量罐 I送往粗品贮罐，未冷凝气进入尾气处理装置。尾气处理装置是一套全自动的气体别离装置， 根据填料在不同压力下对各种气体吸附能力的不同， 到达气体别离的目的。经别离后从尾气处理装置出来的气体有3 类，氢气纯度pa返回氯碱厂 pa,进入回收氯化氢冷凝器，冷凝液通过回收液计量罐 n送往粗品贮罐，未冷凝气主要成分为氯化氢返回至氯化氢缓冲罐，及 枯燥后的氯化氢气体混合后重新