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文档简介

ST400三维表面形貌仪（美NANOVEA产品介绍：ST400型三维表面形貌仪是一款多功能的三维形貌仪，采用国际领先的白光共 聚焦技术，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高， 速度快，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，并具有多种选项，包含 360旋转工作台，原子力显微镜模块，光学显微镜，特征区域定位等多种功能模块。应用范围广适合大样品的测试测量范围：150mmX 150mm 3600旋转工作台带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）1355/2027/062 云产品特性：采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙 材料（金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、 头发、牙齿）；尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面不受样品反射率的影响6，不受环境光的影响7，测量简单，样品无需特殊处理8，Z方向，测量范围大：为27mm主要技术参数：1，扫描范围：150mmX150mm（最大可选 600mm*600mm）2， 扫描步长：0.1 m3，扫描速度：20mm/s4， Z方向测量范围：27mm4， Z方向测量分辨率：2nm产品应用:MEMS、半导体材料、太阳能电池、

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