原子层沉积操作步骤_第1页
原子层沉积操作步骤_第2页
原子层沉积操作步骤_第3页
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文档简介

1、原子层沉积操作步骤1、开机：开普氮（压力0.4-0.6MPa）、高纯氮气瓶（压力小于0.1MPa）；开总电源；开水冷机。2、放样品：点击“进气”，待压强升至1个大气压后，打开腔体，放 入样品。点击“设置”，将流量重新设置为：20。3、开机械泵：先打开机械泵电源开关，然后点击“泵阀 开”。4、设置温度参数：点击“设置”，开始设置温度参数，例如 1： 200 度；2： 230度；11 （水）：50度，或者11 （臭氧）：0度；10（Al 源）：0度。循环次数根据需要设置。流量：20。点击“确定”， 开始加热，加热时间不少于45min。5、排水：加热45min后，若之前用过水，而本次实验用臭氧，则需

2、 排水。点击“模式1”，将前驱体4的脉冲时间设为：1000ms，清 洗时间设为：5s，关闭小窗，点击“开始”，n个循环后，点击“结 束”，排水完成。6、设置沉积模式参数：点击“模式1”或者“模式2”，设置前驱体 和水（或者臭氧）的脉冲时间和清洗时间。以沉积氧化铝为例， 前驱体3为铝源，前驱体4为水（或者臭氧），其他为空置，设置 前驱体3的脉冲时间为：60ms，清洗时间设为：10s；设置前驱体 4的脉冲时间为：50ms，清洗时间设为：30s。7、设置载气流量和循环次数：点击“设置”，流量设置为：20；循环 次数根据所需样品厚度而定。8、开始实验：打开相应前驱体的手动阀，如果使用臭氧作为反应源，

3、则需打开臭氧的截止阀。（如果使用臭氧作为反应源，请参考臭氧 发生器操作说明）。点击“开始”，开始镀膜。9、取样品：当所设置的循环次数完成后，循环次数自动清零。点击“设置”将流量重新设置为：0。关闭源的手动阀（若用臭氧，还 需关闭臭氧的截止阀），点击“泵阀 关”，点击“进气”，大约 5min后气压达到1个大气压，开腔体，取出样品。10、抽真空：点击“泵阀开”，气压下降后，点击“进气”关闭高 纯氮的减压阀，流量下降至1位数时，点“设置”将将流量重新 设置为：0。（若下次实验换另外的源，则需排空，具体操作：点击“泵阀 开”， 气压下降后，点击“进气”，点击“模式1”，将前驱体3的脉冲 时间设为：50

4、0ms，清洗时间设为：5s，将前驱体4的脉冲时间设 为：1000ms，清洗时间设为：10s，关闭小窗，点击“开始” 100 个循环后，点击“结束”，排空完成。）11、关仪器：点击“设置”，将1、2和11 （水）的温度设为：0，将所用源的温度设为：0。点击“泵阀关”，关机械泵，关总电 源，关普氮、关水冷。臭氧发生器操作步骤1、开水冷。2、气体调节：开氧气瓶减压阀（压力小于0.05MPa）,通过气体调 节旋钮调节进气压力（1个小格），调节进气流量为150 NL/h， 等待10min。3、开机与功率调节：按下电源开关开机，屏幕显示“主电源开启， 变频器关闭，功率10%”后，按下“设置”键，通过牛”或者-”键改变设定值，一般设置在30%-40%，不能超过53%。按 下“逆变器”键2秒钟启动

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