干涉光刻制作纳米结构研究课件_第1页
干涉光刻制作纳米结构研究课件_第2页
干涉光刻制作纳米结构研究课件_第3页
干涉光刻制作纳米结构研究课件_第4页
干涉光刻制作纳米结构研究课件_第5页
已阅读5页，还剩18页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、干涉光刻制作纳米结构研究专业：电子科学与技术姓名：步惊云学号：2011090080055指导教师：聂风目录1234 研究背景和目的课题理论基础研究成果展示后期目标一、 研究背景和目的 干涉光刻工艺的研究已经在国外兴起多年，这种工艺在加工亚微米尺度的表面结构表现出极大的优势，也为这些领域的研究提供了一重强有力的加工手段。 小尺度纳米结构加工中，Johannes等人证明了激光干涉光刻的加工尺度可以突破其光波波长极限，而进一步将表面图形尺度缩小； Ke Du研究小组以激光干涉光刻工艺加工的表面结构为基础，通过淀积金属的方法得到了质量很好的模版； Ivan B.Divliansky证明了该工艺加工出的

2、表面结构在光子晶体应用中表现出非常好的应用价值。 而国内仅有少数高校和科研机构对激光干涉工艺进行研究，起步较早的有四川大学、南京大学以及复旦大学 尽管相对于国外起步较晚，但我国的干涉光刻技术在稳步追赶1 研究现状一、研究背景和目的开发一款使用405nm激光器为光源的Lloyds mirror激光干涉光刻设备，具备大面积、小尺度、稳定度高和工艺简单等优点；为亚微米尺度的加工提供了一种相对廉价且方便的手段，将大大推动国内对表面周期性纳米结构应用的研究；结合实验提出一些新的加工理念，将更为丰富激光干涉光刻工艺加工结构的种类，为激光干涉光刻在新的材料新的应用领域提供坚实的基础 2 研究目的二、课题理论

3、基础两束波长为，强度同为 的平面波分别以相同的入射角对称地入射到同一平面，该平面的光强分步可以写为这两束光干涉的强度在X-Z平面内沿着X方向成正弦变化，在垂直于X轴方向的平面上形成光栅线条图案，其周期P取决于 1 干涉光刻基本原理二、课题理论基础正文内容介绍 2 Lloyds-mirror激光干涉光刻平台 由于这套系统借助于一面与样品平面呈90平面反射镜,因此在仅需要一个光束,便可由反射镜所反射的部分光波同直接照射在样品平台的光波产生的干涉条纹来加工表面纳米结构二、课题理论基础3 光刻工艺流程图气相成底膜旋转涂胶软烘对准和曝光曝光后烘培显影坚膜显影后检查三、研究成果展示 1 不同周期光栅结构的

4、加工周期700nm，入射角17周期1.2um，入射角8三、研究成果展示 2 不同占空比光栅结构的加工占空比约为1:1.5占空比约为2:1三、研究成果展示 3 多尺度光栅结构的加工1400nm+700nm 三、研究成果展示 4 二维单周期点阵结构的加工1400nm1400nm三、研究成果展示 4 二维单周期点阵结构的加工SEM扫描结果三、研究成果展示5 二维多尺度结构的加工1400nm+700nm+460nm三、研究成果展示6 曝光时长对结构的影响曝光50秒曝光65秒曝光75秒三、研究成果展示7 灰尘对光镜照片的影响硅片表面灰尘光路中的灰尘三、研究成果展示8 显影时间过长对光镜照片的影响三、研究成果展示9 表面形貌SEM扫描结果AFM扫描结果

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 医学制药

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论