玻璃镀膜工艺规程

1、玻璃镀膜工艺规程RDBL/WJ-7.5.1-11概述：本规程对镀膜玻璃的工艺控制做了具体的规定，以确保镀膜玻璃生产的精确控制,保证产品的质量；适用范围：适用于镀膜玻璃的工艺控制；职责：微机岗工艺控制员主要负责，生产技术科（工艺主管）监督执行；具体操作与规则：4.1溅射室抽真空至4X10-5mbar以下，抽气时间不能少于8小时；4.2根据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期，但必须保证在靶材溅痕最深处剩余3mm前 换靶，如有临时性大批量生产任务，可根据批量调整换靶周期；4.3检查设备各部分是否全部正常，包括：a真空泵系统：运转情况、油位、油质、泵温；b阴极冷却水系统：运转情况、水温、水压，要求水压

2、0.40.7MPa,水温40C，温 控单元必须在生产前8小时启动；c循环冷却水系统:运转情况、水温、水压，要求水压0.60.7MPa,供水温度低于30C；d去离子水单元:运转情况、电导率，要求电导率低于15us/cm，发现电导率超标及时进 行树脂再生；e电渗析器：检查电流、电压、淡水出口电导率、水槽中水的电导率，要求水槽中水的 电导率低于180us/cm，发现超标及时换水，电导率超标禁止给去离子水单元供水；f空压机：运转情况、气压，要求气压在0.60.8MPa；g各工作气体气瓶压力不低于1.5MPa，供气压力为0.2-0.3MPa；h设备任何部位不正常均不能开车生产；4.4预溅射：4.4.1抽

3、气过程中的预溅射：抽气过程中的预溅射，分为两步进行，当真空度达到1 X10-4mbar后即可进行首次预溅射。锡靶:从5KW/10A起动进行金属性溅射，只通氩气100X3sccm，逐步升到35KW/70A， 注意在预溅过程电压超过700V立即降低功率或电流，溅射约20分钟。钛靶、不锈钢靶：采用金属性溅射，功率从5KW、20KW、40KW到55KW，预溅射 约5分钟。镍铭合金：对应的阴极开200SCCM氩气，在手动点靶状态下按功率5、10、15、20KW 开启，在20KW时溅射5分钟，注意观察阴极电源输出功率是否为正常的20KW左 右。银靶：在生产调试前通氩气100, 100, 180SCCM,将

4、功率按10KW, 20KW逐步起动， 在20KW做2分钟金属性溅射即可。硅靶：通氩气20,120,220SCCM下,将功率从1KW开始，逐渐升至8KW,溅射5分钟， 关阴极等5分钟后再从8KW启动，逐渐升至18KW,在18KW做3-5分钟，注意在预溅 过程中电压不要超过700V，连续溅射时间不能超过10分钟，防止靶材脱落。当真空度达到5X10-5mbar后即可进行第二次预溅射。所有靶材均采用金属性溅射，锡靶5分钟，银靶1分钟，其他靶材3-5分钟。锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射，锡靶对应氩气70sccm，氧气 550-600sccm，逐渐调到15KW/20A溅射10分钟，再逐步升到35

5、KW/70A，溅射10 分钟。最后再进行金属性溅射3分钟。关闭阴极和工作气体继续抽气。4.4.2生产前的预溅射：在生产前，应先对靶材进行预溅射，以使靶材进入良好的工作状态，满足生产的需要, 预溅射应遵守以下规定：锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射，锡靶对应氩气70sccm，氧气 550-600sccm，逐渐调到1到35KW/70A，预溅10分钟后开始调整氧量，找出临 界点，记录翻转前的电流，在临界点加20sccm氧气进行预溅，逐渐降氧气流量至 溅射电流接近上次翻转时的电流，以此氧量作为工艺点，在工艺点位置预见溅3 分钟。经过对我们现有设备的长期摸索，工艺点定在50010 sccm比较合适

6、。其他靶材均采用金属性溅射，银靶1分钟，其余靶材3-5分钟。4.4.3生产过程中的预溅射（清靶）：生产过程中要定期对锡靶进行清靶，即对锡靶进行金 属性溅射，第一次清靶在生产约48小时后进行，第二次清靶在生产约72小时后进行，以后 约每生产816小时清一次靶；生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V） 或靶向色差偏大等现象应立即进行清靶，一般用35KW对应300sccm的氧量溅射至阴极电压 达到700V即可，清靶后要重新进行高氧气流量的反应性溅射10-15分钟，然后选择工艺点 的工作，要求工艺点基本与清靶前一样。4.5工艺参数的设置：预溅完成后，停阴极，根据生产需要输入工艺菜单，把所

7、有需用的工 作气体开启，进入“自动准备”状态，开阴极，即可进入样品调试；4.6试产样片：a将待加工玻璃中切裁300X1000mm的玻璃镀成样片；b配合质检员测试样片的透光率、反射率、色差、面电阻等指标;c样片以上指标达到标准要求，在质检员同意后开始生产。4.7生产：1）生产前和生产过程中要认真巡视设备的运行状况，监视工作气体压力及流量、冷却 水压力及温度、压缩空气压力、清洗水电导率、泵的运转情况等，并填写镀膜玻 璃操作日志，如发现不合格的设备状态要及时进行处理并向主管领导报告；交接 班时必须把设备情况和生产情况交接清楚、认真核实。2）镀膜过程中不得擅自改变与溅射室、阴极直接相关的设备的工作状态

8、，如阴极冷却 水温度、压力、溅射室泵群等；3）当工作气体气瓶的压力在V1.5mpa时要更换,并随时保证有一满瓶为备用气瓶；更 换工作气体的气瓶后，应停止生产3分钟；4）每班生产前要正常核对工艺参数存档及所对应的工程，客户名称，实现同一工程，颜 色的一致性。生产过程中配合质检员作好颜色偏差的微调,保持颜色的一致性。5）每五片玻璃记录一次镀膜过程中的最低气压、最高气压、最大电流、最高电压，发 现最大电流变化超过0.3A或最高气压变化超过0.05X10-3mbar以及最高电压变化 超过10V,应立即停止生产，查明原因，予以解决，再重新调试样品；6）通过在线检测设备监测每锅的光学指标及偏差，发现问题及时与质检员沟通。7）每种膜系的生产都必须依质检员提供的工艺菜单为基础，工艺控制员可根据颜色偏 差情况对一些允许调整的工艺参数（速度、氧气流量）做微小的调整；8）生产期间应将当时对应的生产菜单，颜色偏差记录，目标曲线记录打印出来，及时交 付质检员存档，以备下次生产时参考使用。9）反应性溅射时发生金属性溅射，应立即停止生产，重新找工艺点进行调试；10）生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象 应进行清靶；清理后重新找工艺点，重新调试；1