洁净室的测试及验收标准

1、干净室的测试及查收标准控制干净室空气参数的目的检查干净室能否吻合给定的干净度级别。不论是在投产调试工作完成后的干净室检测阶段，还是干净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议（16）中都详细地制定了和提出了干净室空气参数的测试和控制方法。到现在这些方法已成为广大科技界的共同财产。在干净室内，按其用途的不一样应控制以下参数：1、测试状态的确定2、空气中粒子的浓度3、气流的风速和单向性（对单向气流而言）4、风量和换气次数5、最后过滤器的整体性6、空气温度和湿度7、干净室的密闭性8、干净室表面的干净度测试状态的确定：依据设计要求，一般干净室都是对干净室内的空气进行静态检测，一般不做动向

2、检测，如需动向检测，需要拟定或参照其余标准。空气粒子浓度的检测干净度级别干净室和干净区均按一项指标区分级别必定粒径粒子的最大同意浓度（每1m3空气中的粒子数）。空气干净度级别和空气干净度的测定方法均按下表中的规定确立，依据该标准的规定，干净室的干净级别是由粒径给定阀值D的粒子的最大同意浓度确立的。在确立实质干净室的干净度级别时，对付粒径阀值的粒子进行统计，下边的粒子给定粒径都是指阀值粒径。所列为整数级别序数N和最常有值D的粒子最大同意浓度粒子最大同意浓度Cn颗m3，粒径以下值，微米ISON级ISO1级102-ISO2级10024104-ISO3级1000237102358-ISO4级10000

3、2370102035283-ISO5级1000002370010200352083229ISO6级1000000237000102000352008320293ISO7级-352000832002930ISO8级-352000083200029300ISO9级-8320000293000备注：浓度值Cn应四舍五入，小数点后保留三位，在实质状况下粒子浓度的实质偏差是存在的，求不出精度很高的浓度。干净度级别表示实例ISO4级；静态；给定粒径微米（352粒子/m3）。ISO5级；静态；给定粒径微米（3520粒子/m3）；微米（29粒子/m3）。所以，在测试详细的干净室的相应干净度级别时，不需要检测如

4、上表所示的该级别的全部粒子粒径。而只需检测为该种干净室给定的粒子粒径。测定干净度级其余方法在检测干净室的干净度级别时，应测定干净室内1点或数点的悬浮粒子浓度（即取样点的粒子浓度）。所以一定满足以下要求1）确认干净室的状态与给定的吻合；2）确立给定粒径，干净室取样点的数目和地点；3）确立每一取样点的取样数目；4）确立对每一种给定粒径在每1取样点上，每1次取样的取样量和取样时间；5）取样以后对付每一种给定粒径的粒子进行相应统计；6）将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内（适于采纳无计算机软件的粒子计数器的场合下）；7）整理获得的数据；8）对结果进行解析；9）整理方案确立级别应吻合上表要

5、求。气流的检测在干净室中的气流：气流风速（平时是控制单向气流的风速）气流均匀性（单向气流风速稳固性）并目视检查气流。空气（单向气流）的风速微风量空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。测试点的数目应大于被测表面面积的平方根，但不得小于3，应在每一个设定的网格中进行丈量，丈量点应均匀地分布在平面上。应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在议论气流的均匀性时，应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。每1点的丈量时间不得少于10秒。而且要确立均匀值，最大和最小值。气流的均匀性依据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据，议论单向气流

6、的均匀性，建议该平面应距离过滤器表面（风口）300毫米以上。平面上各点处的风速相差不得超出20%-30%。检验过滤器的整体性最后过滤器（HEPA，ULPA过滤器）是干净室的重要部分。这些过滤器安设在干净室的吊顶和墙上，装在设备微风管内。应进行泄漏检查，以控制过滤器的整体性，过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏，会超出OCTP5125-99。制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验，附过滤器检测报告，现场不做检漏。温度的检测在干净室内采纳两种方法控制温度：一般控制特别控制（一般控制）在通风空调系统投产-调试时，以及在干净室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。规定工作席工作区高度处的温度，以及

7、必需时，其余工作点的温度都要加以控制。在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。相对湿度的控制待通风空调系统工作稳固后，相对湿度的控制可与温度的丈量同时进行。最少在每一处对相对湿度有要求的地域内设1个点进行相对湿度的丈量，为了使传感器连续稳固，丈量的连续时间不得少于6分钟。干净实验室技术指标面积干净度对外温度湿度照度新风序压差房间名称排风号2级Pa%RHLux%M1万级判定室1237（万）+2020-2640-7030030无2万级判定室2167（万）+2020-2640-7030030无3万级判定室37（万）+2020-2640-7030030无4缓冲间67（万）+1520-2640-7020030无5准备间无020-2640-7020030无（2）百级、千级实验室1百级实验室25（百）+2020-2640-7030030无2百级实验室15（百）+2020-2640-7030030无3千级实验室26（千）+1520-2640-7030030无4千级实验室16（千）+1520-2640-7030030无5千级干净6（千）+1020-2640-7025030无走廊6千级干净7（万）+1020-2640-7025030无准备间6换衣间7（万）+1020-2620030无格式1（式样）记录书工段，取样时期房间状态干净室取样（空态、静态、动向）给定干净