三坐标测量机校准规范的介绍课件

坐标测量机校准规范介绍国内外有关坐标测量机的校准及标准简介坐标测量机校准规范JJF1064－2000介绍各类校准方法的比较坐标测量机校准规范介绍国内外有关坐标测量机的校准及标准简介国内外坐标测量机的标准及规范一、标准及规范VDI/VDE2617 德国工程师协会关于三坐标测量机的精度特性及其检验CMMA-1989 坐标测量机生产商协会关于坐标测量机的检验规范BSIBS6808 英国标准研究院关于坐标测量机性能检验的方法JISB7440-1987日本“三坐标测量机的精度实验方法”B89.1.12M-1985美国国家标准研究院发布的坐标测量机性能评定的推荐 标准ISO10360-2：1994国际标准化组织发布的“坐标测量机性能评定”JJG799-92 中华人民共和国三坐标测量机检定规程（试行）GB/T16857.2-1997中华人民共和国国家标准“坐标测量机的性能评定”JJF1064-2000 中华人民共和国国家计量校准规范“坐标测量机校准 规范”国内外坐标测量机的标准及规范一、标准及规范二、六项国际标准ISO/TR10360—1：1994《坐标计量学—第1部分：定义，基本几何原则的应用》ISO/10360—2：1994《坐标计量学—第2部分：坐标测量机（CMM）的性能评定》ISO/DIS10360—3：1994《坐标计量学—第3部分：回转轴为第四坐标的坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—4：1995《坐标计量学—第4部分：扫描型坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—5：1995《坐标计量学—第5部分：具有复合多测头探测系统坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—6：1995《坐标计量学—第6部分：坐标测量几何要素评定软件的检验一致性》二、六项国际标准坐标测量机校准规范 本规范经国家质量技术监督局于2000年03月07日批准并自2000年07月01日起执行

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位：中国计量科学研究院 参加起草单位：青岛前哨朗普测量技术有限公司 中国航空机密机械研究所 机械科学研究院本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释JJF1064-2000代替JJG799-1992坐标测量机校准规范 本规范经国家质量技术监督局于坐标测量机校准规范目录范围 引用文献术语和定义概述计量性能要求校准条件校准项目和校准方法复校时间间隔附录F中间检查坐标测量机校准规范目录范围 坐标测量机校准规范介绍1、范围

本规范适用于使用接触式测头的正交坐标系坐标测量机的校准。不包括对坐标测量机上的旋转工作台的校准。2、引用文献

中华人民共和国国家标准GB/T16857.2—1997eqvISO10362—2:1994 坐标计量学第二部分：坐标测量 机的性能评定

中华人民共和国计量检定规程JJG146—1994 量块 中华人民共和国计量技术规范JJF1001—1998 通用计量术语及定义 中华人民共和国计量技术规范JJF1059—1999 测量不确定度评定与表示 中华人民共和国国家标准GB/T15481—1995 校准和检验实验室能力的通用要求3、术语和定义 3.1 坐标测量机 3.2 坐标测量机的校准 3.3 坐标测量机的示值误差 3.4 坐标测量机的测量方案 3.5 坐标测量机面向任务的校准 3.6 长度实物标准器 3.7 坐标测量机长度测量的示值误差 3.8 坐标测量机轴向长度测量示值误差 3.9 探测误差坐标测量机校准规范介绍1、范围4、概述5、计量性能要求 5.1长度测量最大允许示值误差（MPEE）：

以下列三个表达式的任一式表达：

MPEE=±[(A+L/K)B](见图1) (1)

MPEE=±(A+L/K)(见图2) (2)

MPEE=±B(见图3) (3) 式中：A——常数项，m，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；

L——被测长度，mm; K——无量纲常数，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；

B——MPEE的最大值，m，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定。

5.2轴向长度测量最大允许示值误差（MPEE1）：

以下列三个表达式的任一式表达：

MPEE1=±[(A1+L/K1)B1](见图1) (4)

MPEE1=±(A1+L/K1)(见图2) (5)

MPEE1=±B1

(见图3) (6)5.3最大允许探测误差（MPEP）：

MPEP，以m为单位，是坐标测量机探测误差允许的最大值，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要 确定。

4、概述

7、校准条件7.1标准器7.1.1 长度测量标准器 经校准的量块、步距规或球（孔）板等。7.1.2 探测误差测量标准器 经校准的标准球。直径在10mm至50mm，其形状误差应优于被测坐标测量机最大允 许探测误差的1/5。 本项校准不应使用随机配备的、用于测头标定的球。7.2 激光干涉仪位置测量系统的不确定度应小于最大允许位置示值误差的1/5。7.3环境条件7.3.1 环境条件要求 环境温度20ºC。环境温度的偏差，变化的时间梯度和空间梯度应在生产商规定的允许 范围内。 环境振动应在生产商规定的允许范围内。7.3.2 环境条件的测量 实验室环境温度应有记录。校准时需检查至当日的一周温度记录。 测量过程中应测量和记录坐标测量机的温度变化和温度梯度的情况。测量点应不少于4点，分布在不同方 向和不同高度。

7、校准条件

8、校准项目和校准方法8.1.2 使用量块进行长度测量示值误差校准 （如下图所示）

8、校准项目和校准方法三坐标测量机校准规范的介绍课件

A.探针——在制造商规定范围内任意配置

B.标准器的方位——7个不同方位，至少包含四个空间对角线方向。

C.量块数及长度的选择——每个方位用五块量块，最大长度不小于测量空间对角线长度的66%；最小长度 不超过30mm;其他量块长度间隔基本均匀。 例：ZC8645 对角线长=1100 66%726选800mm *应理解为：不小于被测方位最大长度的66%

D.标准器长度方向的确定： 常数A较小的：用工作面确定长度方向。 常数A较大的：用标准器的侧面确定长度方向。

A.探针——在制造商规定范围内任意配置

E. 长度测量值——量块两个工作面上两点间沿标准器长度方向的距离。

F. 测量次数——每方位五量块，每一量块测3次（组），共得35组105个长度测量值。

G. 校准结果的处理——对所有105个长度测量值计算其E和E1

a. 标准器的校准值（带修正量的值）作为约定的真值。 b. 坐标机有修正系统误差的软件，可以对示值进行系统误差修正； 当用户具备了规定的环境条件时， 除测量机数据处理系统原有误差自动修正外，不允许对计算机输 出结果进行温度或其他因素的人工 修正； 当被测测量机软件带有温度修正功能时，可以进行修正，如需人工输入温度值，只能在测量前输入。 H. 综合性的评定 —长度测量示值误差E不大于最大允许示值误差MPEE

—轴向长度测量示值误差E1不大于轴向长度最大允许示值误差MPEE1

— 35组长度测量值，允许最多有5组，其中三次重复测量中有一次超出制造商规定的E值。对超差的测 量长度，在相应的方位重复测10次。 *标准器的最大长度超过1000mm时，如何处理。

a. 所需标准器大于1m，但大于最长运动轴长度的1/2。 即最长轴小于2m，测12个方位，对角线至少6个方位。

b. 最长轴大于2m的测量机，除测12个方位外，同时要用激光干涉仪补充进行三个轴向位置示值误差的测量。

E. 长度测量值——量块两个工作面上两点

测量方位如图4

a. 三个轴向，测六个位置X3，Y2，Z1。

b. 每条线在全长上均匀测10个间隔。

c. 往返测三次。

d. 可以进行误差修正。

e. 修正后的任何一点应在制造商规定的最大允许位置示值误差范围内。8.1.3 通过球（孔）板进行长度测量示值误差校准

注：交付验收时，不用此法，避免与国家标准产生矛盾。

测量方位如图4注：交付验收时，不用此法，

8.2 探测误差的校准 探针位置——按制造商限定范围任意配置，一般用20mm的测杆。 校准过程——在标准球上选取25个探测点进行探测，探测点须均布。 探测点建议：极点上一点；极点下30º4点均布；极点下60º8点均布，相对上组旋转22.5º；极点下90º12 点均布 ，相对前一组旋转20º。

结果处理：用25个测量值计算出最小二乘球中心，求出25个测点到球心的距离R，P=RMAX-RMIN

综合性评定：探测误差P不大于最大允许探测误差MPEP，允许重复再测一次。

8.2 探测误差的校准检测报告实例：检测报告实例：

9、复校时间间隔 复校（检定）周期：建议为1年 当中间检查发生突变时，应及时查明原因，排除故障重新校准。 附录F中间检查

在坐标测量机复校间隔内进行定期中间检查是坐标测量机用户的责任。其作用是确认校准的有效性。中间检查是使用简单工具了解坐标测量机性能的变化。长度测量误差和探测误差可以作为中间检查的指标。 长度测量误差的中间检查可以使用各种明确定义了特征参数的标准器。标准器的特征参数必须稳定，机械结构坚固，表面粗糙度不应显著影响测量不确定度。根据坐标测量机的测量任务，建议选择下列标准器： ——量块 ——球立方体

9、复校时间间隔 ——球板或孔板； ——球棒——能够体现典型几何特征参数的特制标准器。探测系统的中间检查与校准过程相同，见本规范的相应部分。为了估计长度测量误差的校准状态，至少测量校准中的4个位置（每次至少1个位置）。这些位置是可能产生较大长度测量误差的位置。探针长度与校准过程中的一样。在校准结束后，应该立即由坐标测量机用户在校准条件下进行一次中间检查。以后的测量误差可以与这个“标准条件下”的结果进行比较，长度测量误差的变化反映了坐标测量机状态的变化。中间检查测量的间隔应该不超过1个月，通过标准球测量决定探测误差的检验应该每天或每周进行。在怀疑碰撞、环境温度发生突然的或剧烈的变化，以及对坐标测量机准确度状态有怀疑时，应该立即进行中间检查测量。 ——球板或孔板； ——球棒三坐标测量机校准规范的介绍课件几类校准方法的比较几类校准方法的比较B89简介：三项技术指标： 1、重复性：把标准球放置在工作区中心，然后四点测球，求中心坐标，算出球心的变动范 围。B89简介： 2、线性位移精度：用步距规式激光在三轴测10点，测三次。三坐标测量机校准规范的介绍课件 3、空间精度：用球棒。三坐标测量机校准规范的介绍课件VDI/VDE简介：

U—坐标测量机的测量准确度

U1—一维（轴向）测量准确度

U2—二维测量准确度

U3—三维测量准确度

V—测头的测量准确度

V1—测头一维测量准确度

V2—测头二维测量准确度

V3—测头三维测量准确度VDI/VDE简介：B89性能指标（美国标准）用RenishawTP2-5五方向测头作标准性能测试线性位移 X-Axis(m) 4.4(.00017”)精度 Y-Axis(m) 5.2(.00020”)5.4节 Z-Axis(m) 3.8(.00015”)空间性能5.5节 (m) 8.8(.00035”)球棒长度 (mm) 550(21.6”)重复性5.3节 (m) 3.3(.00013”)VDI/VDE性能指标（欧洲标准）

U1(m) 3.5+3.9L/1000 U3(m) 3.8+4.1L/1000L=以mm为单位的测量长度ISO10360-2性能指标

E:(m) 3.8+L/245 R:(m) 6.2JIS性能指标（日本标准）

U1X:(m) 3.5+3.9L/10005.5 U1Y:(m) 3.5+3.9L/10006.6

U1Z:(m) 3.5+3.9L/10005.5 U3:(m) 3.8+4.1L/10005.9L=以mm为单位的测量长度各类标准的性能指标实例：B89性能指标（美国标准）用RenishawTP2-5五方向我们的共同目标!追求人生的美好!我们的共同目标!追求人生的美好!坐标测量机校准规范介绍国内外有关坐标测量机的校准及标准简介坐标测量机校准规范JJF1064－2000介绍各类校准方法的比较坐标测量机校准规范介绍国内外有关坐标测量机的校准及标准简介国内外坐标测量机的标准及规范一、标准及规范VDI/VDE2617 德国工程师协会关于三坐标测量机的精度特性及其检验CMMA-1989 坐标测量机生产商协会关于坐标测量机的检验规范BSIBS6808 英国标准研究院关于坐标测量机性能检验的方法JISB7440-1987日本“三坐标测量机的精度实验方法”B89.1.12M-1985美国国家标准研究院发布的坐标测量机性能评定的推荐 标准ISO10360-2：1994国际标准化组织发布的“坐标测量机性能评定”JJG799-92 中华人民共和国三坐标测量机检定规程（试行）GB/T16857.2-1997中华人民共和国国家标准“坐标测量机的性能评定”JJF1064-2000 中华人民共和国国家计量校准规范“坐标测量机校准 规范”国内外坐标测量机的标准及规范一、标准及规范二、六项国际标准ISO/TR10360—1：1994《坐标计量学—第1部分：定义，基本几何原则的应用》ISO/10360—2：1994《坐标计量学—第2部分：坐标测量机（CMM）的性能评定》ISO/DIS10360—3：1994《坐标计量学—第3部分：回转轴为第四坐标的坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—4：1995《坐标计量学—第4部分：扫描型坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—5：1995《坐标计量学—第5部分：具有复合多测头探测系统坐标测量机的性能评定》ISO/CD10360—6：1995《坐标计量学—第6部分：坐标测量几何要素评定软件的检验一致性》二、六项国际标准坐标测量机校准规范 本规范经国家质量技术监督局于2000年03月07日批准并自2000年07月01日起执行

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位：中国计量科学研究院 参加起草单位：青岛前哨朗普测量技术有限公司 中国航空机密机械研究所 机械科学研究院本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释JJF1064-2000代替JJG799-1992坐标测量机校准规范 本规范经国家质量技术监督局于坐标测量机校准规范目录范围 引用文献术语和定义概述计量性能要求校准条件校准项目和校准方法复校时间间隔附录F中间检查坐标测量机校准规范目录范围 坐标测量机校准规范介绍1、范围

本规范适用于使用接触式测头的正交坐标系坐标测量机的校准。不包括对坐标测量机上的旋转工作台的校准。2、引用文献

中华人民共和国国家标准GB/T16857.2—1997eqvISO10362—2:1994 坐标计量学第二部分：坐标测量 机的性能评定

中华人民共和国计量检定规程JJG146—1994 量块 中华人民共和国计量技术规范JJF1001—1998 通用计量术语及定义 中华人民共和国计量技术规范JJF1059—1999 测量不确定度评定与表示 中华人民共和国国家标准GB/T15481—1995 校准和检验实验室能力的通用要求3、术语和定义 3.1 坐标测量机 3.2 坐标测量机的校准 3.3 坐标测量机的示值误差 3.4 坐标测量机的测量方案 3.5 坐标测量机面向任务的校准 3.6 长度实物标准器 3.7 坐标测量机长度测量的示值误差 3.8 坐标测量机轴向长度测量示值误差 3.9 探测误差坐标测量机校准规范介绍1、范围4、概述5、计量性能要求 5.1长度测量最大允许示值误差（MPEE）：

以下列三个表达式的任一式表达：

MPEE=±[(A+L/K)B](见图1) (1)

MPEE=±(A+L/K)(见图2) (2)

MPEE=±B(见图3) (3) 式中：A——常数项，m，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；

L——被测长度，mm; K——无量纲常数，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；

B——MPEE的最大值，m，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定。

5.2轴向长度测量最大允许示值误差（MPEE1）：

以下列三个表达式的任一式表达：

MPEE1=±[(A1+L/K1)B1](见图1) (4)

MPEE1=±(A1+L/K1)(见图2) (5)

MPEE1=±B1

(见图3) (6)5.3最大允许探测误差（MPEP）：

MPEP，以m为单位，是坐标测量机探测误差允许的最大值，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要 确定。

4、概述

7、校准条件7.1标准器7.1.1 长度测量标准器 经校准的量块、步距规或球（孔）板等。7.1.2 探测误差测量标准器 经校准的标准球。直径在10mm至50mm，其形状误差应优于被测坐标测量机最大允 许探测误差的1/5。 本项校准不应使用随机配备的、用于测头标定的球。7.2 激光干涉仪位置测量系统的不确定度应小于最大允许位置示值误差的1/5。7.3环境条件7.3.1 环境条件要求 环境温度20ºC。环境温度的偏差，变化的时间梯度和空间梯度应在生产商规定的允许 范围内。 环境振动应在生产商规定的允许范围内。7.3.2 环境条件的测量 实验室环境温度应有记录。校准时需检查至当日的一周温度记录。 测量过程中应测量和记录坐标测量机的温度变化和温度梯度的情况。测量点应不少于4点，分布在不同方 向和不同高度。

7、校准条件

8、校准项目和校准方法8.1.2 使用量块进行长度测量示值误差校准 （如下图所示）

8、校准项目和校准方法三坐标测量机校准规范的介绍课件

A.探针——在制造商规定范围内任意配置

B.标准器的方位——7个不同方位，至少包含四个空间对角线方向。

C.量块数及长度的选择——每个方位用五块量块，最大长度不小于测量空间对角线长度的66%；最小长度 不超过30mm;其他量块长度间隔基本均匀。 例：ZC8645 对角线长=1100 66%726选800mm *应理解为：不小于被测方位最大长度的66%

D.标准器长度方向的确定： 常数A较小的：用工作面确定长度方向。 常数A较大的：用标准器的侧面确定长度方向。

A.探针——在制造商规定范围内任意配置

E. 长度测量值——量块两个工作面上两点间沿标准器长度方向的距离。

F. 测量次数——每方位五量块，每一量块测3次（组），共得35组105个长度测量值。

G. 校准结果的处理——对所有105个长度测量值计算其E和E1

a. 标准器的校准值（带修正量的值）作为约定的真值。 b. 坐标机有修正系统误差的软件，可以对示值进行系统误差修正； 当用户具备了规定的环境条件时， 除测量机数据处理系统原有误差自动修正外，不允许对计算机输 出结果进行温度或其他因素的人工 修正； 当被测测量机软件带有温度修正功能时，可以进行修正，如需人工输入温度值，只能在测量前输入。 H. 综合性的评定 —长度测量示值误差E不大于最大允许示值误差MPEE

—轴向长度测量示值误差E1不大于轴向长度最大允许示值误差MPEE1

— 35组长度测量值，允许最多有5组，其中三次重复测量中有一次超出制造商规定的E值。对超差的测 量长度，在相应的方位重复测10次。 *标准器的最大长度超过1000mm时，如何处理。

a. 所需标准器大于1m，但大于最长运动轴长度的1/2。 即最长轴小于2m，测12个方位，对角线至少6个方位。

b. 最长轴大于2m的测量机，除测12个方位外，同时要用激光干涉仪补充进行三个轴向位置示值误差的测量。

E. 长度测量值——量块两个工作面上两点

测量方位如图4

a. 三个轴向，测六个位置X3，Y2，Z1。

b. 每条线在全长上均匀测10个间隔。

c. 往返测三次。

d. 可以进行误差修正。

e. 修正后的任何一点应在制造商规定的最大允许位置示值误差范围内。8.1.3 通过球（孔）板进行长度测量示值误差校准

注：交付验收时，不用此法，避免与国家标准产生矛盾。

测量方位如图4注：交付验收时，不用此法，

8.2 探测误差的校准 探针位置——按制造商限定范围任意配置，一般用20mm的测杆。 校准过程——在标准球上选取25个探测点进行探测，探测点须均布。 探测点建议：极点上一点；极点下30º4点均布；极点下60º8点均布，相对上组旋转22.5º；极点下90º12 点均布 ，相对前一组旋转20º。

结果处理：用25个测量值计算出最小二乘球中心，求出25个测点到球心的距离R，P=RMAX-RMIN

综合性评定：探测误差P不大于最大允许探测误差MPEP，允许重复再测一次。

8.2 探测误差的校准检测报告实例：检测报告实例：

9、复校时间间隔 复校（检定）周期：建议为1年 当中间检查发生突变时，应及时查明原因，排除故障重新校准。 附录F中间检查

在坐标测量机复校间隔内进行定期中间检查是坐标测量机用户的责任。其作用是确认校准的有效性。中间检查是使用简单工具了解坐标测量机性能的变化。长度测量误差和探测误差可以作为中间检查的指标。 长度测量误差的中间检查可以使用各种明确定义了特征参数的标准器。标准器的特征参数必须稳定，机械结构坚固，表面粗糙度不应显著影响测量不确定度。根据坐标测量机的测量任务，建议选择下列标准器： ——量块 ——球立方体

9、复校时间间隔 ——球板或孔板； ——球棒——能够体现典型几何特征参数的特制标准器。探测系统的中间检查与校准过程相同，见本规范的相应部分。为了估计长度测量误差的校准状态，至少测量校准中的4个位置（每次至少1个位置）。这些位置是可能产生较大长度测量误差的位置。探针长度与校准过程中的一样。在