半导体制程气体介绍

一、半醇醴裂程氟醴介貂：Bulkgas:--GN2GeneralNitrogen:只'幺型谩Filter-80℃--PN2PurifierNitrogen--PH2PurifierHydrgen（以g工色才票示）--PO2PurifierOxygen--HeHelium--ArArgonXP表示舆裂程有同曷X台湾三大氟醴供愿商：r三福化工（舆美阈AirProducts）《受柬氟醴（舆法阈Liquid合作）〔耳整革氟醴（BOC）中普PraxairProcessgas:广Corrosivegas（腐嗡虫性氟醴）Inertgas（葩化性氟醴）<Flammablegas（燃^性氟醴）JToxicgas（毒性氟醴）Generalgas:/CDA:CompressorDryAir（舆裂程辗同曷，只有Partical冏题）。<ICA:InstrumentCompressorAir（倭表用屋幺宿空氟）。|BCA:BreathincCompressorAir（呼吸系、统用屋幺宿空氟）。二、氟醴之物理特性：A.氟醴分类直:.不活性氟醴:N2、Ar、He、SF6、CO2、CF4..（惰性氟醴）.助燃性氟醴：02、Cl2、NF3、N2O...可燃性氟醴：H2、PH3、B2H6、SiH2Cl2、NH3、CH4...自燃性氟繇SiH4、SC2H6...毒性氟醴:PH3、Cl2、AsH3、B2H6、HCl、SiH4、Si2H6、NH3..三、氟醴供鹰系统三、氟醴供鹰系统:Bulkgas---室外氟醴名供愿方式N2ColdEVA/N2PlantArColdO2Cold(Manifold)※氟瓶檀之必要部份工棠安全规定每一檀只能放雨支瓶。11.重氟控制.(Manifold)※氟瓶檀之必要部份工棠安全规定每一檀只能放雨支瓶。11.重氟控制.配管.消防.濯水15.警幸艮H2Gastank/gasdleProcessgas---gasroomGardle/ManifoldGeneralgasCDACompressor/Airtank/Filter/DryerICACompressor/Airtank/Filter/DryerBCACompressor/Airtank/Filter/Dryer氟醴供鹰系统：氟醴供鹰系统：A.一般氟醴主要供鹰系统、中畿军元及二次配管N2gasValvestandVPDPVMB特殊氟醴(Specialgas)VMB(^^瓶)氟瓶檀也必须具儒Purge之功能.H2氢氟罩元：爆炸性氟醴，需加防爆精舆通凰一工棠安全规定。必须使用防爆性檄具。，尤其是建篥死角。必须使用防爆性檄具。，尤其是建篥死角。.O2舆H2大同小昊(液熊供雁)。.He罐装、大小^瓶120or130。VMBToProcessVMBToProcess.Ar同上B.裂程特殊氟醴供鹰系统:ABCB.裂程特殊氟醴供鹰系统:ABC※曼套管式,1.夕卜力口2.内勰配管注意事项:.必须了解物性，如有爆炸性。.管材、配件，如Valve、Regulator、ilter..等材^之逗撵及判别。.氟醴输送至裂程或使用黑占的距离隹考量。.使用黑占之需求量。.^留^充黑占之押估及安全性考量。（15%之子直留量）Ex.a.二次测使用屋力卷10Psi日寺管件可逗撵30Psi。※瞬^屡力（^月月日寺）b」吏用屋力卷50Psi,表面最好使用100Psi表豆直屋力三2x使用屋力。X氟醴管路^言十理念:一、管路^言十:了解氯醴的特性（物性级化性）。管材、管件及Valve、Regulator、ilter..等材^、规格的正石霍逗撵。氟醴输送距离隹的考量。氟醴使用黑占之考量。未来^充之押估及安全性之考量。

二、理想的流速^言十基聿一般氟醴<20M/Sec可燃性氟醴<10M/Sec特殊氟醴<8M/Sec(Q=AV)注流速大於15M/Sec日寺^於高屋系统，即大於10Kg/cm2。三、圆十量力禁浮化之要求：滞留黑占之减少：儒管探用璟路配管、BulkValve、Purge檄情等。臂'曲黑占之减少：儒管探用BlockValve，,幺逢管。焊接黑占之减少配管路彳型之璟境之逗撵：避免〉整度大、温度高、震勤..等璟境。接豆直之减少安全性：如二重配管之探用等。^充性：^留^充黑占及管端虑理.等。操作性：操作月月之位置、屋力言十、流量言十以及Purge之排列。X管材之槿^及逗撵:管材虑理等级(JIS0601管材虑理等级(JIS0601<M)虑理方式粗糙度pm

Rmax_20〜5010〜203〜80.5〜10.3〜0.8A.把引管(素管)AP(未^^理)B.化擘虑理管CT(Chemicaltreatment)C.光务隼^葩BA(BrightAnnealTreatment)D.化阜研磨虑理CP(ChemicalPolish)E.重解研磨虑理EP(ElectroPolish)(材^有SUS304、SUS316、SUS316L)X管路配置之品^要求：.管路不可羟生Particle。.管材所含之不'幺屯物要少。.管路必须整膂、美觐。.焊道必须符合要求，尤其不可氧化。.管壁吸附之水分要求要容易清除。.管路不得力曳漏。.Particle及水份排除。.氟醴滞留展之防止。X配管人具的技彳后要求：.尺寸之量测技彳后。.焊接技衙、以及焊道德判断能力舆知尚戢。.工具之使用、^^的操作技街。.空打萦浮室的言忍言戢。.管架的架^技街。X氟醴管路的旗情式：.耐屋旗情式：以N20rAr加屋旗情式日寺^a.瞬^屋力就瞬以使用屋力之1.5倍，持屋30分女童。b.24小日寺屋力旗帽式，以使用屋力卷型。.氟密就瞬：使用HeLeakDetector真空官式瞬。才票*310-9atm.cc/sec.水分旗帽式：使用HeLeakDetector真空旗情式。票型：3-80℃.微粉鹿旗情式：使用ParticleCountero票型：31EA/ft3at0.1pmEA/ft3at0.05pm5.微氧旗帽式:02Meter*一次测配管只做1.票第310PPb*二次测配管只做1.、2.*Bulkgas只做2.、3.、5.*Hookup只做1.、2.、4.2.流速基型：a.一般氟醴＜20M/Secb.可燃性氟醴＜10M/Secc.特殊氟醴＜8M/SecMax流速15M/S〜10M/S*15M/S＞卷高屋系统以屋力表示10kg/cm2以上卷高屋10kg/cm2以下卷低屋，（如CPA）言十算式：Q=60xAxV需求量=60Sx管断面稹（M2）xM/S=M3/Min（分）管之分、幺及：Sch510204080DIN、ISO、JIS、ASTM（英制有Pipe也有Tube，一般使用Tube）美烷、欧烷、日烷、厚度不同。Tube是指Sch5在ASTM公耦卷1,1/4,..Pipe是指Sch5在JIS公耦卷10A,15A,20A,..*在半醇醴只用Sch5,10。氟醴配管只用Sch5。X配管施工注意黑占：滞流黑占之减少，如Tee、Valve..等。臂'曲黑占之减少，EP管和BA管其^度不同。曲度卷直彳型之1.5，3，4.5，6，12，18，24倍焊接黑占之减少XValve之^言十，允有午15,000次之^同曷勤作。※二重管之配管：.真空二重管.普通二重管管件之虞理有化擘虑理（CT）、光耀^葩（抛光虑理）、