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电镀微蚀去铜量分析试验

电镀工程师

2012-1-16一、浓度、温度、铜离子对微蚀速率的影响：1.微蚀速率随温度升高而增大,温度每升高1℃,微蚀速率约增大5-10%。2.微蚀速率随浓度升高而增大。NPS浓度每提高10g/L,微蚀速率约增加30~50%。3.建议产线控制参数为：NPS40~80g/L，温度为常温（温差变化≤5℃

）建议生产控制区域一、浓度、温度、铜离子对微蚀速率的影响：1.微蚀速率随温度升高而增大。2.微蚀速率随浓度升高而增大。3.在浓度小于2%，温度小于34℃时，微蚀速率小于1um/min.建议生产控制区域二、微蚀速率与时间的关系随着时间的增加，微蚀速率基本保持不变。即微蚀量（产品去铜量）跟时间成正比。三、微蚀速率与铜离子的关系铜离子浓度在1~10g/L范围内时，微蚀速率的变化小于0.1um/min。说明在电镀工序，铜离子对微蚀量的影响较小，可以忽略。五、现场微蚀制程的稳定性测量产线微蚀速率稳定性较不理想，与中值比偏差可达40%，但偏差绝对值较小,在0.1um以内，对产品实际去铜量影响不大。六、不同铜薄的微蚀量差异1.相同条件下，不同铜薄存在微蚀量差异：HA（0.6744UM）〈积德（0.8839um）〈奥林（0.9543um）〈苏州（1.006um）2.在相同条件下，微蚀量与铜薄微蚀次数无关。七、电镀现场微蚀速率与微蚀量控制NPS浓度g/L硫酸V/V%温度℃40~802~4%常温WT-50BV/V%WT-50SV/V%硫酸V/V%温度℃0.5~1.5%0.5~1.5%2~4%常温产线控制参数NPSWT-50微蚀速率um/min0.3~1.00.3~1.0微蚀去铜量um/次0.1~0.50.1~0.51.需区分微蚀速率与微蚀去铜铜量的差别，生产最终控制的是产品的

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