工艺经验交流分享

东区电池效率提升经验分享

东区电池制造2010.3.191电池转换效率大幅提升升0.55％升1.78％升1.02％降1.00％降0.23％升26.7％升8.23％降18.2％升3.69%工序标准化贡献~0.15％高阻贡献~0.17％88nm膜厚贡献~0.18％电性能提升：转换效率从开线时16.30％提高至目前16.80％;试验模型：

Case1高方阻工艺DOE－试验模型此模型应用到电池扩散，具体对应关系如下：输入：制绒后的硅片可控因子-：气流，温度，时间，压强噪声因子：时效，片源，机台输出：扩散质量，磷浓度分布曲线输出将直接决定转化效率因子选择与控制：

可控因子选择气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为keyfactor，以控制磷的掺杂总量和均匀性；温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为keyfactor；时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为keyfactor；压强：由于压强的波动相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小；

噪声因子控制片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；Case1高方阻工艺DOE－因子选择第一组试验：对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案---E3：第二组试验：根据第一组试验结果，进行第二组试验确定时间，试验方案为全因子设计，找出最佳方案---E6注：时间为淀积时间+推进时间，试验组别主反应温度(℃)POCL3流量(sccm)时间(m)E183075014+12E283095018+16E3830110022+20E485075018+16E585095022+20E6850110014+12E787075022+20E887095014+12E9870110018+16试验组别淀积时间(m)推进时间(m)POCL3流量(sccm)主反应温度(℃)E116141000830E216161000830E316181000830E418141000830E518161000830E618181000830E720141000830E820161000830E920181000830Case1高方阻工艺DOE－L9实验因子选择与控制：

可控因子选择：气流：流量比例影响薄膜成分组成；压强：影响膜的均匀性；膜厚：影响减反射效果；烧结温度：影响氢分布和钝化效果；

噪声因子控制：片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；Case2高膜厚工艺DOE-因子选择第一组试验：对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案Recipe7：第二组试验：根据第一组试验结果，进行第二组试验，添加后到烧结因素，找出最佳方案---recipe7Case2高膜厚工艺DOE-L9试验Case3丝网烧结DOE实验-因子选择8因子选择与控制：

可控因子选择：温度：烘干温度(DryerT1/T2/T3/T4)；烧结温度(FiringT1/T2/T3/T4/T5/T6),各温区对烧结起到特定的作用,烧结区T4/T5/T6为影响烧结效果的主要因子,气流：温场控制气流,排风,冷却气流(确保温场无波动,调节后反应滞后-小于2℃,设定)冷却水:确保冷却效果,设定时间：烧结炉经过时间(决定产量,设定速度230inch/min)

噪声因子控制：片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；环境:环境温度,冷却水温度,外围排风Case3丝网烧结DOE实验-L9试验9选取主烧结温度T4/T5/T6进行田口设计,生成L9试验方案,得到最佳温度组合Recipe5根据第一组试验结果,重新设计第二组试验方案,得到最佳温度组合Recipe5据第2组实验结果,进行T4/T5/T6的部分因子优化,得到各机台的最佳烧结温度第一组试验：第二组试验：Case4前后清洗DOE-因子选择10因子选择与控制：

可控因子选择：HNO3：主要起氧化作用，起浓度直接决定氧化的速度，作为keyfactor；HF：主要起剥离氧化产物的作用，进而形成绒面，作为keyfactor；DI：直接影响HNO3和HF的浓度，作为keyfactor；

过程变量控制：温度：保持恒定；滚轮速度：保持恒定；流量：保持恒定；

Case4前后清清洗DOE-混酸设设计对以上上可控控因子子进行行混酸酸设计计：固定温温度，，滚轮轮速度度，流流量11Case4前后清清洗DOE-试验结结果12最优配配比为为HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(现用配配比为为HF-0.22,HNO3-0.43,H2O-0.35）考虑到到现用用配比比落在在<21区域内内，而而最优优拟合合值输输出结结果为为20.565，与目目前反反射率率平均均值21差异较较小，，因此此配比不不做调调整。相关性性趋势势图－－下一一步提提效方方向13降低Rs将对效效率有有显著著提升升下一步步改善善应想想办法法降降低Rs：网网版设设计浆浆料试试验PERS流程通过应应用PERS流程,对所有有主机机台的的制程程能力力指标标进行行验收收,确保东东区电电池顺顺利开开线,主要分分为两两部分分:申请部部分此部分分主要要是确确定QualLot阶段和和RiskRun阶段的的评估估项目目,方法,规模,合格基基准以以及评评价者者;示例:评估部部分此部分分主要要是根根据开开线时时收集集整理理的相相关数数据,提交报报告判判定申申请部部分的的评估估项目目是否否可以以验收收;示例:SPC管控SPC管控体体系：：SPC报表正常工工艺高方阻阻工艺艺对生产产过程程中的的各种种影响响因素素进行行预防防性的的质量量管理理，确保保制程程状况况处于于稳定定，制制程控控制能能力逐逐渐提提高SPCControlTableSPC相关SOP工序标标准化化GoldenTool选择Phase1进行及及结束束后(6条线),选取各各道工工序的的GoldenTool,所有设设备的的参照照GoldenTool进行优化,进行初初次标标准化化工序设设备匹匹配性性验证证因C3采取非非对线线跑片片,所以各各机台台之间间的兼兼容性性必须须考虑虑(扩散与与烧结结的匹匹配性性尤为为重要要),所有工工序初步标标准化化已完完成.扩散在在丝网网烧结结机台台无明明显效效率差差异,下图为为一周周扩散散对丝丝网的的效率率趋势势图16心得体体会17实验未未动，，设计计先行行制程稳稳定，，循序序渐进进志同道道合，，方法法争鸣鸣各司其其职，，各得得其所所部门交交流，，他山山之玉玉开放思思维，，挑战战教条条耻为人人后，，力争争上游游9、静静夜夜四四无无邻邻，，荒荒居居旧旧业业贫贫。。。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、雨中中黄叶叶树，，灯下下白头头人。。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、以我独沈沈久，愧君君相见频。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、故人江海别别，几度隔山山川。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、乍乍见见翻翻疑疑梦梦，，相相悲悲各各问问年年。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、他乡生生白发，，旧国见见青山。。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、比不不了得得就不不比，，得不不到的的就不不要。。。。十二月月229:03下下午午12月月-2221:03December28,202216、行动动出成成果，，工作作出财财富。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、做前，能能够环视四四周；做时时，你只能能或者最好好沿着以脚脚为起点的的射线向前前。。9:03:07下下午9:03下下午21:03:0712月-229、没没有有失失败败，，只只有有暂暂时时停停止止成成功功！！。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、很多事情努努力了未必有有结果，但是是不努力却什什么改变也没没有。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、成功就是是日复一日日那一点点点小小努力力的积累。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、世间成成事，不不求其绝绝对圆满满，留一一份不足足，可得得无限完完美。。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、不不知知香香积积寺寺，，数数里里入入云云峰峰。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、意志坚坚强的人人能把世世界放在在手中像像泥块一一样任意意揉捏。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、楚塞三湘湘接，荆门门九派通。。。。十二月229:03下下午12月-2221:03December28,202216、少少年年十十五五二二十十时时，，步步行行夺夺得得胡胡马马骑骑。。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、空山新雨后后，天气晚来来秋。。9:03:07下午9:03下下午21:03:0712月-229、杨柳散散和风，，青山澹澹吾虑。。。12月-2212月-22Wednesday,December28,202210、阅读一切好好书如同和过过去最杰出的的人谈话。21:03:0821:03:0821:0312/28/20229:03:08PM11、越是是没有有本领领的就就越加加自命命不凡凡。12月月-2221:03:0821:03Dec-2228-Dec-2212、越越是是无无能能的的人人，，越越喜喜欢欢挑挑剔剔别别人人的的错错儿儿。。21:03:0821:03:0821:03Wednesday,December28,202213、知人人者智智，自自知者者明。。胜人人者有有力，，自胜胜者强强。12月月-2212月月-2221:03:0821:03:08December28,202214、意志