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文档简介

—概述GB/T19001-2008GB/T24001-2004；GB/T28001-2001；SEMISⅡ标准制造。二应用范围三产品工作描述显影单轴电机采用进流无刷伺服电机，保证旋转转速、加速度控制精度高，重复性、稳定性好；多一定强度的PP材料制成。排 排主轴防水设热与接触盘体为优质铝合金，外表面硬质阳极化处理，与盘体间真空吸附，受热更PID冷与接触盘体为优质铝合金，外表面硬质阳极化处理，与盘体间垫有0.1mm厚的陶控制软/项，ServiceManualConfigUtility1材质：223双臂、真空吸附T-R2265～+245mm（手除外）T-6.97rad/secR1-9.19radR2-9.19rad±0.1mm以内 4个（以下为每单元配置 6000 ±1rpm（50rpm～5000 2个N2压力罐（厂务 热盘单 热盘数量 150.1～180℃ 冷盘数量 18～28℃ 1

1 23/8≤-23/813/8≥2L/min1PCW（冷却循环水系统04-13/829、外形尺

L=1700；W=1700；H=2250 五主要软件接口（供参考单元工艺配六设备布置图（供参考七设备外形尺寸图（供参考八设备外观图及三视图（供参考1、设备性能验收标准 6000 45000 ±1℃，150.1～180℃±2℃ 18℃～28℃±0.2℃烘烤超警功能 运试 ；MTTR≤4h能70片次/小时(4寸)。右位置）,测量10片，采用4寸片源测量温度变化不得超过3℃，湿度变化不得超过5%）均匀性：负胶：4pad-fingerwaferin5%wafertowafer4寸片源pad-finger双影大小waferin≤10%wafertowafer≤10%正胶：withinwafer3%, wafertowafer3%

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