GB/T 14602-2014电子工业用气体氯化氢

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T14602—2014

代替

GB/T14602—1993、GB/T24469—2009

电子工业用气体氯化氢

Gasesforelectronicindustry—Hydrogenchloride

2014-12-22发布2015-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T14602—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替电子工业用气体氯化氢电子工业用气体

GB/T14602—1993《》、GB/T24469—2009《5N

氯化氢与相比除编辑性修改外主要技术变化如下

》。GB/T14602—1993、GB/T24469—2009,:

修改了范围见第章年版的第章的第章

———(1,19931、GB/T24469—20091);

修改了规范性引用文件见第章年版的第章的第章

———(2,19932、GB/T24469—20092);

修改了技术要求见第章年版的第章的第章

———(3,19933、GB/T24469—20093);

修改了抽样判定见年版的第章的第章

———、(4.1,19935、GB/T24469—20095);

修改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳烃含量的测定方法见年版的

———+、、、、(4.3,19934.2、4.3、

的

GB/T24469—20094.3、4.5);

删除了氢含量的测定方法见年版的

———(19934.5);

修改了水分含量的测定方法见年版的的

———(4.4,19934.4、GB/T24469—20094.4);

修改了金属元素含量的测定方法见的

———(4.5,GB/T24469—20094.6);

修改了标志包装贮运及安全见第章年版的第章第章的

———、、(5,19936、7、GB/T24469—2009

第章第章第章

6、7、8)。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位北京华宇同方化工科技开发有限公司西南化工研究设计院有限公司佛山市华

:、、

特气体有限公司光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海仪盟科技有限

、、、

公司

。

本标准主要起草人张吉瑞孙福楠杜汉盛方华周鹏云杨任

:、、、、、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T14602—1993、GB/T24469—2009。

Ⅰ

GB/T14602—2014

电子工业用气体氯化氢

1范围

本标准规定了氯化氢的技术要求试验方法标志包装贮运及安全

、、、、。

本标准适用于以工业氯化氢为原料采用纯化制得的氯化氢产品该产品主要用于微电子工业中

,。

气相抛光外延和刻蚀工艺也可用于硬质合金玻璃表面处理医药中间体和精细化学品制造科学研

、,、、、

究等领域

。

分子式

:HCl。

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:36.458(2009)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB7144

液化气体气瓶充装规定

GB14193

化学品安全标签编写规定

GBl5258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726—2012

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2002)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

氯化氢的技术要求应符合表的要求

1。

表1技术指标

项目