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ICS17.040.01N33中华人民共和国国家标准GB/T16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法MicrongradelenghtmeasurementbySEM1996-11-04发布1997-04-01实施国家技术监督局发布
CB/T16594-1996前本标准是一个测量方法标准,其量值可以湖源到长度基准。本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径本标准可与JG550—88扫描电子显微镜检定规程并列使用。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船崩总公司725研究所。本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华。
中华人民共和国国家标准微米级长度的扫描电镜测量方法GB/T16594-1996MicrongradelenghtmeasurementbySEM1范围本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量0.5~10m的长度,也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。2引用标准下列标准包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。JJG550-88扫描电子显微镜检定规程3基本原理这是一种比较测量方法。其基本原理是:先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺(以下简称标尺)的二次电子像,然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度(A)和样品图像中待测的两个特征点之间的长度(B)。样品中待测的实际长度(L)按式(1)计算、········(1)式中一·标尺分度的标定值4标准器和仪器设备4.1标尺:应经过法定计地机构标定、4.2扫描电镜:分辨力优于0.01gm.4.3比长仪:量程不小于60mm,误差不超过士5m:4.4光学显微镜:放大倍数不小于40倍。5试验方法5.1样品的准备5.1.1将待测样品置于样品柱上,用光学显微镜观测,将样品的工作面调整到与样品柱垂直,然后用导电胶将样品固定、5.1.2若样品不导电,应在样品表面喷镀厚度大约为10nm的金5.1.3将样品柱置于样品座上,并调整到标准高度5.1.4按5.1.1~5.1.3方法,将标尺于样品座上。5.1.5用光学显微镜观测,先将样品暨于视场中,调节光学显微镜,使样品工作面正焦5.1.6平移样品座,使标尺置
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