GB/T 21287-2021电子特气三氟化氮

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T21287—2021

代替GB/T21287—2007

电子特气三氟化氮

Electronicspecialtygas—Nitrogentrifluoride

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T21287—2021

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体三氟化氮与相比除结

GB/T21287—2007《》,GB/T21287—2007,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了三氟化氮应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20073);

更改了抽样判定和复验的要求见年版的

———、(5.1,20074.1);

更改了采样的要求见年版的

———(5.2,20074.1.6);

增加了尾气处理的要求见

———(5.3);

增加了试验方法的一般规定见

———(6.1);

更改了纯度计算方法见年版的

———(6.2,20074.2);

更改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳四氟化碳氧化亚氮六氟化硫含量的测定方法见

———+、、、、、、(

年版的

6.3,20074.3、4.4);

更改了水分含量的测定方法见年版的

———(6.4,20074.6);

更改了可水解氟化物的测定方法见年版的

———(6.5,20074.5);

更改了标志包装运输及贮存见第章年版的第章

———、、(7,20075);

更改了安全信息见年版的附录

———(7.3,2007D)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司西南化工研究设计

:、()、

院有限公司广东华特气体股份有限公司天津绿菱气体有限公司福建久策气体股份有限公司海宁市

、、、、

英德赛电子有限公司江西华特电子化学品有限公司浙江省化工研究院有限公司昊华气体有限公司

、、、

西南分公司苏州金宏气体股份有限公司杭州市消费者权益保护委员会秘书处杭州国家电子商务产

、、(

品质量监测处置中心上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有

)、、、

限公司上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资上海有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司浙江

、、()、、

东开半导体科技有限公司和立气体上海有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研

、()、、

究设计院有限公司武汉分公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

、。

本文件主要起草人王娟付梦月王少波孟祥军傅铸红陈艳珊马建修何经余曹素英

:、、、、、、、、、

宋富财苏子杰丁高松裴友宏韦杰广史婉君张建君王新喜孙猛鬲春利张琦炎吕博文陈洁

、、、、、、、、、、、、、

吴靓方华依俊廷何波杨康黄辉宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静马昌宁

、、、、、、、、、、、、、、

唐霞梅李光辉周鹏云黄超

、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2007GB/T21287—2007;

本次为第一次修订

———。

Ⅰ

GB/T21287—2021

电子特气三氟化氮

1范围

本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求检验规则试验方法标志包装运输贮存及安全信息

、、、、、

的要求

。

本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟

,

化氮

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

分析实