GB/T 26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则

ICS3702017180

;

N33..

中华人民共和国国家标准

GB/T26533—2011

俄歇电子能谱分析方法通则

GeneralrulesforAugerelectronspectroscopicanalysis

2011-05-12发布2011-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T26533—2011

目次

前言…………………………

Ⅲ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

术语和定义………………

31

方法原理…………………

41

仪器………………………

52

仪器组成……………

5.12

仪器性能……………

5.23

样品………………………

63

分析步骤…………………

74

能量标尺校正………………………

7.14

定性分析及操作步骤…………

7.2AES6

俄歇电子能谱的定量分析…………

7.36

深度剖析……………

7.47

元素化学态分析……………………

7.57

分析结果的表述…………………………

87

俄歇全谱……………

8.17

窄谱…………………

8.27

线扫描谱……………

8.37

深度剖析谱…………………………

8.47

多点显微对比分析…………………

8.58

样品表面元素分布图………………

8.6(Augermap)8

分析结果表述方式…………………

8.78

图俄歇跃迁………………………

1KL1L32

图俄歇电子能谱简图……………………

22

图和三个参考物质的直接谱和微分谱相对能量分辨率………

3Cu、AuAl(0.3%)5

表参考物质的俄歇电子动能参考值……………………

14

Ⅰ

GB/T26533—2011

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位清华大学化学系

:。

本标准主要起草人姚文清李展平曹立礼朱永法

:、、、。

Ⅲ

GB/T26533—2011

俄歇电子能谱分析方法通则

1范围

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱的一般表面

(AES,AugerElectronSpectroscopy)

分析方法

。

本标准适用于俄歇电子能谱仪

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

表面化学分析词汇

GB/T22461—2008

表面化学分析深度分析溅射深度的测量

ISO/TR15969:2001(SurfaceChemicalAnalysis—

DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)

表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南

ISO18116:2005(SurfaceChemicalAnal-

ysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)

表面化学分析和均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因

ISO18118:2002(E)AESXPS

子使用指南

(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensi-

tivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)

表面化学分析俄歇电子能谱化学信息来源

ISO/TR18394:2006(SurfaceChemical

Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)

表面化学分析俄歇电子能谱和射线光电子谱分析者对于横向分辨

ISO/TR19319:2003X

率分析范围和样品观察范围的测定

、(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandX-

rayPhotoelectronSpectroscopy—DeterminationofLateralResolution,AnalysisArea,andSample

AreaViewedbytheAnalyser)

表面分析中制样和装样的标准指南

ASTME1078—2002(StandsardGuideforSpecimenPrepa-

rationandMountinginSurfaceAnalysis)

表面分析前样品处理标准指南

ASTME1829—2002