KLA假缺陷类型总结及编程注意事项

KLA编程事项及相关的假缺陷类型PID/LIL背景介绍背景介绍问题背景：在线不同品种不同层次KLAREVIEW有假缺陷影响范围：39个程序58批次发现站点：不同层次KLA异常原因：编程不良 习惯关键词：假缺陷,EDITMAP,CAREAREA,缺陷图片1ISSUE在线反馈各品种各层次测试MAPREVIEW发现假缺陷较多,白白浪费人力机时,延长问题处理时间,严重影响作业效率,造成产能下降.针对这种情况,进行测试程序优化,以期减少假缺陷的发生,提升作业效率与产能.假缺陷的最大问题在于程序编制问题。为此首先确认了假缺陷的具体类型,其次针对各种类型具体分析,找出是哪些原因导致了程序的不良进而导致了假缺陷的产生。最后根据这些原因找出具体应对方法。

具体过程如下：2201011月在线确认因编程不良导致假缺陷的影响状况假缺陷类型编程原因影响程序影响批次平边打标假缺陷未做EDITMAP58边缘一处未曝光区假缺陷未做EDITMAP23插花假缺陷未做EDITMAP22未曝光区条状假缺陷未做EDITMAP22MAP偏移导致边缘假缺陷未做EDITMAP

色差假缺陷不适的LIGTBOX及FOCUS

AL填充不良不适的LIGTBOX及FOCUS

POLY粗糙假缺陷不适的LIGTBOX及FOCUS12划片槽假缺陷不适的CAREAREA11A：未做EDITMAPB：不适的LIGHTBOXFOCUSC：不适的CAREAREA3编程时一定要做EDITMAP

35界面38/39界面4

未做EDITMAP造成的假缺陷类型异常MAP异常图形1.平边打标假缺陷

52.边缘光刻曝光角未去除导致的边缘聚集状假缺陷异常MAP异常图形前层未做图形前层已做图形63.边缘光刻曝光角未去除造成的2138/39顶部水平条状假缺陷异常图形异常区域异常MAP74.套编时Die-org定义在BLOCK起始点有时会导致整体MAP偏移38/39偏移后的EDITMAP测量的异常MAP：（左侧未测到图形区域，右侧测出边缘去边图形）解决方法：发现MAP偏移，先保存前面步骤，再退片重新进片，EDITMAP即恢复正常。35偏移后EDITMAP不直观：要操纵杆移至边缘确认圆片边缘图形85.特殊产品的插花假缺陷(呈BLOCK效应)已做EDITMAP(抠除插花)异常MAP插花处图形9FOCUS要调至当前层图形及做SETFOCUS锁定聚焦35界面38/39界面101.AL填充不良假缺陷(MAP呈散点状)聚焦在前层A1图形FOCUS:0:00要求聚焦到当前A2图形FOCUS:-1.50AL填充不良假缺陷正常区域未调至当前层或未做SETFOCUS的假缺陷类型112.色差假缺陷要求聚焦到当前W1图形FOCUS:-2.00聚焦在前层GT图形FOCUS:0:00正常区域色差假缺陷123.POLY粗糙假缺陷要求聚焦到当前层FOCUS:-0.50聚焦到前层FOCUS:0.00POLY粗糙假缺陷13要选择合适的CAREAREA区域35界面38/39界面141.CAREAREA在DIE外造成的划片槽假缺陷DIE左上角DIE右下角正常区域异常区域划片槽假缺陷异常MAP不适的CAREAREA区域导致的假缺陷类型152.CAREAREA偏小造成未测出的真缺陷DIE左上角DIE右下角要求区域异常区域异常MAP正常MAP未测到的真缺陷16选择合适的LIGTBOX区域(疏密相间)35界面38/39界面17选择不合适的LIGHTBOX可能导致的假缺陷后选合适的LIGHTBOX原来不适的LIGHTBOX会导致AL填充不良,色差假缺陷(缺陷类型同前)18特殊:2138/39KC98_GT有插花的SAMPLAN异常MAP具体原因不明确正确编程操作方法：1。新编程序抠插花一定要在EDITMAP完成。2。套编时一定要确认SAMPLAN测试区域是否正常。19为修改假缺陷程序明确化，要求统一假缺陷描述,发现假缺陷输comment时须具体描述假缺陷类型，细节如下表：后续工作201。编程中必须要做EDITMAP：即操纵杆移至圆片四周及插花处确认图形区域。2。有插花的产品编程：扣除插花一定要在EDITMAP

完成，不能在SAMPPLAN完成。3。LIGHTBOX必须聚焦到当前层次，并点击SETFOCUS

锁定聚焦。4。LIGHTBOX要选择图形疏密叠加的区域。5。CAREAREA区域