场发射扫描式显微镜SEM资料

场发射扫描式显微镜－JEOLJSM-6700F－（FE-SEM）目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程JEOLJSM-6700FJEOLJSM-6700F１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程目录１．什么是FE-SEM？JEOLJSM-6700FFE-SEM

FieldEmission–ScanningElectronMicroscope（场放射扫描式电子显微镜）何为场放射（FE）？

是指SEM电子枪（电子线发生源）的种类。

在阴极施以高电压，使其产生电子光束，加速下方位置的第一阳极，将电子光束聚集于再下方的第二阳极，使光束照射在观察试料上。JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程２．什么场合下使用JEOLJSM-6700F・薄膜表面观察（细微的凹凸状况，成长状态）・薄膜断面观察（图形边缘形状，粒成长状态）・异物及缺陷部位的构造观察・组成分布观察・其他分散型形状的观察等

受电子光束照射易变形的，会放出气流的，及有流动性的试料如在观察前不做特别处理是无法观察的。另外铁等磁性体块状物体会吸住物镜，造成镜头破损，所以观察比较困难。JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程３．得到怎样的图像？JEOLJSM-6700F＜与光学显微镜的不同＞

■灰阶图像（白黒的图像）

■凹凸、或各种组成的对比

■高倍率观察，极小的区域也能清晰可见

■可倾斜，可立体观察

JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程４．图像信号的种类JEOLJSM-6700F■SEISecondaryElectronImage（二次电子图像）■LEILowerElectronImage（下方电子信号图像）

■BEIBackscatteredElectronImage（反射电子图像）

反射电子图像为COMPO（组成图像）与TOPO（凹凸图像）可按需进行MODE转换。

4-1．二次电子图像（SEI）JEOLJSM-6700F二次电子图像

根据照射电子束的不同，将样品表面显现出来的电子信号化之后形成图像，转换为二次电子图像，便能清晰看到样品表面的凹凸情况。SP-ITO（×50,000）4-2．下方电子信号图像（LEI）JEOLJSM-6700F下方电子信号图像

W.D.8mm以上时使用。同时检出二次电子、反射电子。适用于观察易带电的样品。AFM的硅制悬式探针前端

4-3．反射电子图像（COMPO/TOPO）JEOLJSM-6700F反射电子组成图像（COMPO）

观察区域的组成的差异形成对比性的图像。原子番号越大，形成的图像则越清晰明亮。反射电子凹凸图像（TOPO）

可以通过转化二次电子图像获取观察样品的凹凸图像，但解析度较差。异物的LEI（上）／COMPO像（下）JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程５．试料倾斜JEOLJSM-6700F将试料倾斜可观察到从上方无法观察到的，试料的立体构造。将试料倾斜有2个方法。・使用45°切割的试料台・在装置内将试料机械调整倾斜45°倾斜JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程６．滤光JEOLJSM-6700F当观察电介体（绝缘体）表面时，SEM的电子光束易停留在样品表面，产生异常对比。为了防止此类现象，需在表面成以数10Å程度的滤光膜。滤光需要用专用的装置，施以电阻加热，或喷溅，将具有导电性能的靶材材质成在样品表面。

滤光靶材・Au（金）・Pt（白金）・C（碳）

JEOLJSM-6700F目录１．什么是FE-SEM？２．什么场合使用？３．获得怎样的图像？４．图像信号4-1二次电子图像（SEI）4-2下方电子信号图像（LEI）4-3反射电子组成图像（COMPO/TOPO）5．试料倾斜6．滤光7．依赖～提出的流程７．依赖～提出的流程JEOLJSM